M -plane GaN layers grown by rf-plasma assisted molecular beam epitaxy with varying GaN flux ratios on m -plane 4H-SiC substrates

Journal of Applied Physics

Volumn 101, Issue 3, 2007, Pages

  Armitage, R ^a,b   Horita, M ^a   Suda, J ^a   Kimoto, T ^a  

^a KYOTO UNIVERSITY   (Japan)

^b PANASONIC CORPORATION   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

FLUXES; GROWTH (MATERIALS); MOLECULAR BEAM EPITAXY; SILICON CARBIDE; SUBSTRATES; X RAY ANALYSIS;

BEAM-EQUIVALENT PRESSURE (BEP); FILM COALESCENCE;

GALLIUM NITRIDE;

EID: 33847094173     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2435806     Document Type: Article

References (20)

1. S. F. Chichibu, Appl. Phys. Lett. 73, 2006 (1998).
2. P. Waltereit, O. Brandt, A. Trampert, H. T. Grahn, J. Menniger, M. Ramsteiner, M. Reiche, and K. H. Ploog, Nature (London) 406, 865 (2000).
3. M. McLaurin, T. E. Mates, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 86, 262104 (2005).
4. N. F. Gardner, J. C. Kim, J. J. Wierer, Y. C. Chen, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 86, 111101 (2005).
5. K. Omae, T. Flisskowski, P. Misra, O. Brandt, H. T. Grahn, K. Kojima, and Y. Kawakami, Appl. Phys. Lett. 86, 191909 (2005).
6. A. Chakraborty, B. A. Haskell, S. Keller, J. S. Speck, S. P. DenBaars, S. Nakamura, and U. K. Mishra, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 44, L173 (2005).
7. O. Brandt, Y. J. Sun, L. Däweritz, and K. H. Ploog, Physica E (Amsterdam) 23, 339 (2004).
8. C. D. Lee, R. M. Feenstra, J. E. Northrup, L. Lymperakis, and J. Neugebauer, Appl. Phys. Lett. 82, 1793 (2003).
9. C. Q. Chen, Appl. Phys. Lett. 81, 3194 (2002).
10. R. Armitage, J. Suda, and T. Kimoto, Appl. Phys. Lett. 88, 011908 (2006).
11. C. Adelmann, J. Brault, D. Jalabert, P. Gentile, H. Mariette, G. Mula, and B. Daudin, J. Appl. Phys. 91, 9638 (2002).
12. B. A. Haskell, A. Chakraborty, F. Wu, H. Sasano, P. T. Fini, S. P. DenBaars, J. S. Speck, and S. Nakamura, J. Electron. Mater. 34, 357 (2005).
13. V. S. Harutyunyan, A. P. Aivazyan, E. R. Weber, Y. Kim, Y. Park, and S. G. Subramanya, J. Phys. D 34, A35 (2001).
14. E. J. Tarsa, B. Heying, X. H. Wu, P. Fini, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, J. Appl. Phys. 82, 5472 (1997).
15. J. Menniger, U. Jahn, O. Brandt, H. Yang, and K. Ploog, Phys. Rev. B 53, 1881 (1996).
16. Y. J. Sun, O. Brandt, and K. H. Ploog, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 1350 (2003).
17. M. D. Craven, F. Wu, A. Chakraborty, B. Imer, U. K. Mishra, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 84, 1281 (2004).
18. B. A. Haskell, T. J. Baker, M. B. McLaurin, F. Wu, P. T. Fini, S. P. DenBaars, J. S. Speck, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 86, 111917 (2005).
19. E. Bellet-Amalric, C. Adelmann, E. Sarigiannidou, J. L. Rouvìre, G. Feuillet, E. Monroy, and B. Daudin, J. Appl. Phys. 95, 1127 (2004).
20. T. Y. Liu, A. Trampert, Y. J. Sun, O. Brandt, and K. H. Ploog, Philos. Mag. Lett. 84, 435 (2004).