Infiltration and inversion of holographically defined polymer photonic crystal templates by atomic layer deposition

Advanced Materials

Volumn 18, Issue 12, 2006, Pages 1561-1565

  King, Jeffrey S ^a,c   Graugnard, Elton ^a   Roche, Olivia M ^b   Sharp, David N ^b   Scrimgeour, Jan ^b   Denning, Robert G ^b   Turberfield, Andrew J ^b   Summers, Christopher J ^a  

^a Georgia Institute of Technology   (United States)

^b UNIVERSITY OF OXFORD   (United Kingdom)

^c Stanford University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRYSTAL STRUCTURE; INTERFEROMETERS; LASER BEAMS; MICROSTRUCTURE; PHOTOLITHOGRAPHY; PHOTORESISTORS; POLYMERS;

ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD); INFILTRATION TECHNIQUE; POLYMER PHOTONIC CRYSTAL TEMPLATES; TWO-PHOTON ABSORPTION;

CRYSTALS;

EID: 33745545894     PISSN: 09359648     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.200502287     Document Type: Article

References (38)

1. M. Soljacic, J. D. Joannopoulos, Nat. Mater. 2004, 3, 211.
2. J. Scrimgeour, D. N. Sharp, C. F. Blanford, O. M. Roche, R. G. Denning, A. J. Turberfield, Adv. Mater. 2006, 18, 1557.
3. M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, A. J. Turberfield, Nature 2000, 404, 53.
4. B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, J. W. Perry, Nature 1999, 398, 51.
5. H.-B. Sun, S. Matsuo, H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 1999, 74, 786.
6. M. Deubel, G. von Freymann, M. Wegener, S. Pereira, K. Busch, C. M. Soukoulis, Nat. Mater. 2004, 3, 444.
7. S. Kawata, H.-B. Sun, T. Tanaka, K. Takada, Nature 2001, 412, 697.
8. H.-B. Sun, A. Nakamura, K. Kaneko, S. Shoji, S. Kawata, Opt. Lett. 2005, 30, 881.
9. E. Yablonovitch, T. J. Gmitter, R. D. Meade, A. M. Rappe, K. D. Brommer, J. D. Joannopoulos, Phys. Rev. Lett. 1991, 67, 3380.
10. C. T. Chan, K. M. Ho, C. M. Soukoulis, Europhys. Lett. 1991, 16, 563.
11. M. Maldovan, A. M. Urbas, N. Yufa, W. C. Carter, E. L. Thomas, Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2002, 65, 165 123.
12. D. N. Sharp, A. J. Turberfield, R. G. Denning, Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2003, 68, 205 102.
13. Y. A. Vlasov, X.-Z. Bo, J. C. Sturm, D. J. Norris, Nature 2001, 414, 289.
14. A. Blanco, E. Chomski, S. Grabtchak, M. Ibisate, S. John, S. W. Leonard, C. López, F. Meseguer, H. Míguez, J. P. Mondia, G. A. Ozin, O. Toader, H. M. van Driel, Nature 2000, 405, 437.
15. H. Míguez, N. Tétreault, B. Hatton, S. M. Yang, D. Perovic, G. A. Ozin, Chem. Commun. 2002, 2736.
16. H. Míguez, N. Tétreault, S. M. Yang, V. Kitaev, G. A. Ozin, Adv. Mater. 2003, 15, 597.
17. a) J. E. G. J. Wijnhoven, W. L. Vos, Science 1998, 281, 802.
18. b) J. E. G. J. Wijnhoven, L. Bechger, W. L. Vos, Chem. Mater. 2001, 13, 4486.
19. G. Subramanian, V. N. Manoharan, J. D. Thorne, D. J. Pine, Adv. Mater. 1999, 11, 1261.
20. a) M. Ritala, M. Leskelä, in Handbook of Thin Film Materials, Vol. I (Ed: H. S. Nalwa), Harcourt Academic, London, UK 2002, Ch. 2.
21. b) M. Ritala, Appl. Surf. Sci. 1997, 112, 223.
22. J. S. King, E. Graugnard, C. J. Summers, Adv. Mater. 2005, 17, 1010.
23. J. S. King, D. Heineman, E. Graugnard, C. J. Summers, Appl. Surf. Sci. 2005, 244, 511.
24. A. Rugge, J. S. Becker, R. G. Gordon, S. H. Tolbert, Nano Lett. 2003, 3, 1293.
25. J. S. King, C. W. Neff, C. J. Summers, W. Park, S. Blomquist, E. Forsythe, D. Morton, Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 2566.
26. M. Scharrer, X. Wu, A. Yamilov, H. Cao, R. P. H. Chang, Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 151 113.
27. R. G. Gordon, D. Hausmann, E. Kim, J. Shepard, Chem. Vap. Deposition 2003, 9, 73.
28. a) J. Aarik, A. Aidla, T. Uustare, V. Sammelselg, J. Cryst. Growth 1995, 148, 268.
29. b) M. Ritala, M. Leskela, E. Nykanen, P. Soininen, L. Niinisto, Thin Solid Films 1993, 225, 288.
30. J. D. Ferguson, A. W. Weimer, S. M. George, Chem. Mater. 2004, 16, 5602.
31. D. Heineman, M. S. Thesis, Georgia Institute of Technology 2004 (http://etd.gatech.edu/theses/available/etd-05142004-143254/).
32. E. R. Dedman, D. N. Sharp, A. J. Turberfield, C. F. Blanford, R. G. Denning, unpublished.
33. J. F. Bertone, P. Jiang, K. S. Hwang, D. M. Mittleman, V. L. Colvin, Phys. Rev. Lett. 1999, 83, 300.
34. R. C. Rumpf, E. G. Johnson, J. Opt. Soc. Am. A 2004, 21, 1703.
35. M. S. Thijssen, R. Sprik, J. E. G. J. Wijnhoven, M. Megens, T. Narayanan, A. Lagendijk, W. L. Vos, Phys. Rev. Lett. 1999, 83, 2730.
36. C. Weisbuch, H. Benisty, Solid State Commun. 2005, 135, 627.
37. Roadmap on Photonic Crystals (Eds: S. Noda, T. Baba), Springer, Berlin, Germany 2003.
38. S. G. Johnson, J. D. Joannopoulos, Opt. Express 2001, 8, 173.