Polarization state-dependent stress effect on the dielectric properties of lead zirconate titanite thin films

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 17, 2006, Pages

  Kang, H D ^a   Song, W H ^a   Sohn, S H ^a   Jin, H J ^a   Lee, S E ^a   Chung, Y K ^a  

^a Samsung Electro Mechanics   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DIELECTRIC PROPERTIES; ELECTRIC FIELD EFFECTS; FERROELECTRIC MATERIALS; POLARIZATION; STRESS ANALYSIS;

CHEMICAL SOLUTION DEPOSITION; LEAD ZIRCONATE TITANITE; PROMOTER; PZT FILM;

THIN FILMS;

EID: 33646407601     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2198801     Document Type: Article

References (15)

1. O. Auciello, J. F. Scott, and R. Ramesh, Phys. Today 51, 22 (1998).
2. P. Ramos, R. Jiḿnez, C. Alemany, M. L. Calzada, A. González, C. E. Alonso, and J. Mendiola, Integr. Ferroelectr. 60, 33 (2004).
3. V. S. Dharmadhikari and W. W. Grannemann, J. Vac. Sci. Technol. A 1, 483 (1983).
4. J. W. Jang, S. J. Chung, W. J. Cho, T. S. Hahn, and S. S. Choi, J. Appl. Phys. 81, 6322 (1997).
5. G. A. C. M. Spierings, G. J. M. Dormans, W. G. J. Moors, M. J. E. Ulenaers, and P. K. Larsen, J. Appl. Phys. 78, 1926 (1995).
6. A. Gruvermann, B. J. Rodriguez, A. I. Kingon, R. J. Nemanich, A. K. Tagantsev, J. S. Cross, and M. Tsukada, Appl. Phys. Lett. 83, 728 (2003).
7. T. Kumazawa, Y. Kumagai, H. Miura, M. Kitano, and K. Kushida, Appl. Phys. Lett. 72, 608 (1998).
8. T. R. Taylor, P. J. Hansen, B. Acikel, N. Pernez, R. A. York, S. K. Striffer, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 80, 1978 (2002).
9. N. A. Pertsev, A. G. Zembilgotov, and A. K. Tagantsev, Phys. Rev. Lett. 80, 1988 (1998).
10. W. Chang, S. W. Kirchoefer, J. M. Pond, J. A. Bellotti, S. B. Qadri, J. H. Haeni, and D. G. Schlom, J. Appl. Phys. 96, 6629 (2004).
11. S. K. Striffer, C. Basceri, C. B. Parker, S. E. Lash, and A. I. Kingon, J. Appl. Phys. 86, 4565 (1999).
12. J. Lu, D. O. Klenov, and S. Stemmer, Appl. Phys. Lett. 84, 957 (2004).
13. H. Maiwa, S.-H. Kim, and N. Ichinose, Appl. Phys. Lett. 83, 4396 (2003).
14. Q.-M. Wang, Y. Ding, Q. Chen, M. Zhao, and J. Cheng, Appl. Phys. Lett. 86, 162903 (2005).
15. T. M. Shaw, Z. Suo, M. Huang, E. Liniger, R. B. Laibowitz, and Baniecki, Appl. Phys. Lett. 75, 2129 (1999).