Gas phase chemomechanical modification of silicon

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 24, Issue 2, 2006, Pages 750-755

  Lee, Michael V ^a   Richards, Jody L ^a   Linford, Matthew R ^a   Casey, Sean M ^b  

^a Brigham Young University   (United States)

^b UNIVERSITY OF NEVADA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMOMECHANICAL MODIFICATION; LIQUID PHASE MODIFICATIONS; THERMAL DESORPTION SPECTROSCOPY;

ACETYLENE; CHEMICAL MODIFICATION; ETHYLENE; MASS SPECTROMETRY; PHASE EQUILIBRIA; SURFACE TREATMENT; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

SILICON;

EID: 33645510582     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2178369     Document Type: Article

References (28)

1. T. L. Niederhauser, G. Jiang, Y.-Y. Lua, M. J. Dorff, A. T. Woolley, M. C. Asplund, D. A. Berges, and M. R. Linford, Langmuir 17, 5889 (2001).
2. T. L. Niederhauser, Y.-Y. Lua, G. Jiang, S. D. Davis, R. Matheson, D. A. Hess, T. A. Mowat, and M. R. Linford, Angew. Chem., Int. Ed. 13, 2353 (2002).
3. T. L. Niederhauser, Y.-Y. Lua, Y. Sun, G. Jiang, G. S. Strossman, P. Pianetta, and M. R. Linford, Chem. Mater. 14, 27 (2002).
4. Y.-Y. Lua, M. V. Lee, W. J. J. Fillmore, R. Matheson, A. Sathyapalan, M. C. Asplund, S. A. Fleming, and M. R. Linford, Angew. Chem., Int. Ed. 42, 4046 (2003).
5. Y.-Y. Lua, W. J. J. Fillmore, and M. R. Linford, Appl. Surf. Sci. 231/232, 323 (2004).
6. Y.-Y. Lua, W. J. J. Fillmore, L. Yang, M. V. Lee, P. B. Savage, M. C. Asplund, and M. R. Linford, Langmuir 21, 2093 (2005).
7. G. Jiang, T. L. Niederhauser, S. A. Fleming, M. C. Asplund, and M. R. Linford, Langmuir 20, 1772 (2004).
8. R. J. Hamers and Y. Wang, Chem. Rev. (Washington, D.C.) 96, 1261 (1996).
9. J. M. Buriak, Chem. Commun. (Cambridge) 12, 1051 (1999).
10. J. M. Buriak, Chem. Rev. (Washington, D.C.) 102, 1271 (2002).
11. S. F. Bent, J. Phys. Chem. B 106, 2830 (2002).
12. S. F. Bent, Surf. Sci. 500, 879 (2002).
13. B. R. Cannon, T. D. Lillian, S. P. Magleby, L. L. Howell, T. L. Niederhauser, and M. R. Linford, Precis. Eng. 29, 86-94 (2005).
14. R. G. Brereton, Chemometrics: Data Analsis for the Laboratory and Chemical Plant (Wiley, Chichester, 2003).
15. C. P. A. Mulcahy, A. J. Carman, and S. M. Casey, Surf. Sci. 459, 1 (2000).
16. L. Zhang, A. J. Carman, and S. M. Casey, J. Phys. Chem. B 107, 8424 (2003).
17. M. C. Flowers, N. B. H. Jonathan, A. Morris, and S. Wright, Surf. Sci. 351, 87 (1996).
18. M. J. Dresser, P. A. Taylor, R. M. Wallace, W. J. Choyke, and J. T. Yates, Jr., Surf. Sci. 218, 75 (1989).
19. P. A. Taylor, R. M. Wallace, C.-C. Cheng, W. H. Weinberg, M. J. Dresser, W. J. Choyke, and J. T. Yates, Jr., J. Am. Chem. Soc. 114, 6754 (1992).
20. M. Kiskinova and J. T. Yates, Jr., Surf. Sci. 325, 1 (1995).
21. L. Clemen, R. M. Wallace, P. A. Taylor, M. J. Dresser, W. J. Choyke, W. H. Weinberg, and J. T. Yates, Jr., Surf. Sci. 268, 205 (1992).
22. M. Niwano, M. Terashi, and J. Kuge, Surf. Sci. 420, 6 (1999).
23. S. M. Gates, R. R. Kunz, and C. M. Greenlief, Surf. Sci. 207, 364 (1989).
24. G. Schulze and M. Henzler, Surf. Sci. 124, 336 (1983).
25. J. Farjas, D. Das, J. Fort, P. Roura, and E. Bertran, Phys. Rev. B 65, 115403 (2002).
26. P. Martin, J. F. Fernandez, and C. R. Sanchez, Phys. Status Solidi A 182, 255 (2000).
27. P. Martin, J. F. Fernandez, and C. Sanchez, Mater. Sci. Eng., B B108, 166 (2004).
28. K. M. Bulanin, A. G. Shah, D. R. Fitzgerald, D. J. Doren, and A. V. Teplyakov, J. Phys. Chem. B 106, 7286 (2002).