Temporal and spatially resolved laser-scattering plasma diagnostics for the characterization of a ms-pulsed glow discharge

Journal of Analytical Atomic Spectrometry

Volumn 21, Issue 3, 2006, Pages 350-359

  Gamez, Gerardo ^a   Bogaerts, Annemie ^b   Hieftje, Gary M ^a  

^a INDIANA UNIVERSITY   (United States)

^b UNIVERSITY OF ANTWERP   (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ARGON; ELECTRIC PROPERTIES; ELECTRONS; LASER BEAM EFFECTS; PHOTONS; PLASMA DIAGNOSTICS;

GAS-KINETIC TEMPERATURE; SPATIAL POSITIONS; THERMALIZED ELECTRONS;

GLOW DISCHARGES;

EID: 33644627187     PISSN: 02679477     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/b511764j     Document Type: Article

References (61)

1. R. Payling, D. G. Jones and A. Bengtson, Glow Discharge Optical Emission Spectrometry, John Wiley & Sons Ltd., Chichester, 1997
2. T. Nelis and R. Payling, Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy: A Practical Guide, Royal Society of Chemistry, Cambridge, 2003
3. R. K. Marcus and J. A. C. Broekaert, Glow Discharge Plasmas in Analytical Spectroscopy, John Wiley & Sons Ltd., Chichester, 2003
4. A. Bogaerts R. Gijbels J. Anal. At. Spectrom. 2004 19 1206 1212
5. M. Kasik C. Michellon L. C. Pitchford J. Anal. At. Spectrom. 2002 17 1398 1399
6. G. J. M. Hagelaar L. C. Pitchford J. Anal. At. Spectrom. 2002 17 1408 1410
7. W. W. Harrison J. Anal. At. Spectrom. 1998 13 1051 1056
8. W. W. Harrison W. Hang X. Yan K. Ingeneri C. Schilling J. Anal. At. Spectrom. 1997 12 891 896
9. W. W. Harrison C. Yang E. Oxley Anal. Chem. 2001 73 480A 487A
10. C. L. Lewis E. S. Oxley C. K. Pan R. E. Steiner F. L. King Anal. Chem. 1999 71 230 234
11. C. L. Lewis M. A. Moser D. E. Dale Jr. W. Hang C. Hassell F. L. King V. Majidi Anal. Chem. 2003 75 1983 1996
12. V. Majidi M. Moser C. Lewis W. Hang F. L. King J. Anal. At. Spectrom. 2000 15 19 25
13. C. L. Lewis M. A. Moser W. Hang D. E. Dale Jr. D. C. Hassell V. Majidi J. Anal. At. Spectrom. 2003 18 629 636
14. R. E. Steiner C. L. Lewis V. Majidi J. Anal. At. Spectrom. 1999 14 1537 1541
15. D. Fliegel R. Waddell V. Majidi D. Guenther C. L. Lewis Anal. Chem. 2005 77 1847 1852
16. J. A. Strauss N. P. Ferreira H. G. C. Human Spectrochim. Acta, Part B 1982 37 947 954
17. J. A. Klingler C. M. Barshick W. W. Harrison Anal. Chem. 1991 63 2571 2576
18. C. L. Lewis L. Li J. T. Millay S. Downey J. Warrick F. L. King J. Anal. At. Spectrom. 2003 18 527 532
19. G. P. Jackson F. L. King Spectrochim. Acta, Part B 2003 58 185 209
20. G. P. Jackson C. L. Lewis S. K. Doorn V. Majidi F. L. King Spectrochim. Acta, Part B 2001 56 2449 2464
21. C. Pan F. L. King J. Am. Soc. Mass Spectrom. 1993 4 727 732
22. A. Bogaerts R. Gijbels G. P. Jackson J. Anal. At. Spectrom. 2003 18 533 548
23. A. Bogaerts R. Gijbels J. Anal. At. Spectrom. 2001 16 239 249
24. C. L. Lewis G. P. Jackson S. K. Doorn V. Majidi F. L. King Spectrochim. Acta, Part B 2001 56 487 501
25. L. Li J. T. Millay J. P. Turner F. L. King J. Am. Soc. Mass Spectrom. 2004 15 87 102
26. F. Richter T. Welzel T. Dunger H. Kupfer Surf. Coat. Technol. 2004 188-189 384 391
27. R. Hugon G. Henrion M. Fabry Surf. Coat. Technol. 1993 59 82 85
28. R. Hugon G. Henrion M. Fabry Plasma Sources Sci. Technol. 1996 5 553 559
29. D. Pollmann K. Ingeneri W. W. Harrison J. Anal. At. Spectrom. 1996 11 849 853
30. I. H. Hutchinson, Principles of Plasma Diagnostics, Cambridge University Press, Cambridge, 2002
31. A. Bogaerts A. Quentmeier N. Jakubowski R. Gijbels Spectrochim. Acta, Part B 1995 50 1337 1349
32. M. Huang G. M. Hieftje Spectrochim. Acta, Part B 1985 40 1387 1400
33. G. M. Hieftje Spectrochim. Acta, Part B 1992 47 3 25
34. M. Katsunori U. Kiichiro B. Mark M. Mitsuo Purazuma, Kaku Yugo Gakkaishi 2000 76 7 18
35. K. Warner G. M. Hieftje Spectrochim. Acta, Part B 2002 57 201 241
36. K. Muraoka K. Uchino Y. Yamagata Y. Noguchi M. Mansour P. Suanpoot S. Narishige M. Noguchi Plasma Sources Sci. Technol. 2002 11 A143 A149
37. G. Gamez M. Huang S. A. Lehn G. M. Hieftje J. Anal. At. Spectrom. 2003 18 680 684
38. G. Gamez A. Bogaerts F. Andrade G. M. Hieftje Spectrochim. Acta, Part B 2004 59 435 447
39. A. Bogaerts R. Gijbels G. Gamez G. M. Hieftje Spectrochim. Acta, Part B 2004 59 449 460
40. J. van der Mullen G. Boidin M. van de Sandea Spectrochim. Acta, Part B 2004 59 929 940
41. A. Kono K. Nakatani Rev. Sci. Instrum. 2000 71 2716 2721
42. S. A. Moshkalyov C. Thompson T. Morrow W. G. Graham J. Vac. Sci. Technol., A 2000 18 1395 1400
43. N. N. Sesi D. S. Hanselman P. Galley J. Horner M. Huang G. M. Hieftje Spectrochim. Acta, Part B 1997 52 83 102
44. K. Suhling G. Hungerford R. W. Airey B. L. Morgan Meas. Sci. Technol. 2001 12 131 141
45. X. Tian B. Tang P. K. Chu J. Appl. Phys. 1999 86 3567 3570
46. M. J. Goeckner and C. E. Van Wagoner, Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc., USA, Application: WO, 2001
47. A. Bogaerts R. Gijbels V. V. Serikov J. Appl. Phys. 2000 87 8334 8344
48. S. K. Ohorodnik W. W. Harrison J. Anal. At. Spectrom. 1994 9 991 996
49. D. Fang R. K. Marcus Spectrochim. Acta, Part B 1990 45 1053 1074
50. M. A. Biondi Phys. Rev. 1952 88 660 665
51. M. A. Biondi Rev. Sci. Instrum. 1951 22 500 502
52. K. E. Greenberg G. A. Hebner J. Appl. Phys. 1993 73 8126 8133
53. L. J. Overzet J. Kleber Plasma Sources Sci. Technol. 1998 7 512 523
54. M. A. Biondi T. Holstein Phys. Rev. 1951 82 962 963
55. M. A. Biondi Phys. Rev. 1951 83 1078 1080
56. M. A. Biondi Phys. Rev. 1963 129 1181 1188
57. W. A. Rogers M. A. Biondi Phys. Rev. 1964 134 1215 1225
58. R. S. Mason P. D. Miller I. P. Mortimer Phys. Rev. E: Stat. Phys., Plasmas, Fluids, Relat. Interdiscip. Top. 1997 55 7462 7472
59. R. S. Mason P. D. Miller I. Mortimer D. J. Mitchell N. A. Dash Phys. Rev. E: Stat., Nonlinear, Soft Matter Phys. 2003 68 016408/016401 016408/016414
60. K. Newman R. S. Mason D. R. Williams I. P. Mortimer J. Anal. At. Spectrom. 2004 19 1192 1198
61. R. S. Mason D. R. Williams I. P. Mortimer D. J. Mitchell K. Newman J. Anal. At. Spectrom. 2004 19 1177 1185