Fabrication of enclosed nanochannels using silica nanoparticles

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 23, Issue 6, 2005, Pages 2694-2699

  Xia, Deying ^a   Brueck, S R J ^a  

^a University of New Mexico   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

NANOCHANNELS; SILICA NANOPARTICLES; SPIN-COATING;

CALCINATION; INTERFEROMETRY; LITHOGRAPHY; MULTILAYERS; PHOTORESISTORS; SILICA;

NANOSTRUCTURED MATERIALS;

EID: 29044440132     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2130358     Document Type: Article

References (26)

1. A. Blanco, E. Chomski, S. Grabtchak, M. Ibisate, S. John, S. W. Lenard, C. Lopez, F. Meseguer, H. Miguez, J. P. Mondia, G. A. Ozin, O. Toader, and H. M. Driel, Nature (London) 405, 437 (2000).
2. R. W. J. Scott, S. M. Yang, G. A. Ozin, and D. E. Williams, Adv. Funct. Mater. 13, 225 (2003).
3. M. A. Al-Daous and A. Stein, Chem. Mater. 15, 2638 (2003).
4. R. Moller, A. Csaki, J. M. Kohler, and W. Fritzsche, Langmuir 17, 5426 (2001).
5. Y. Yin, Y. Lu, B. Gates, and Y. Xia, J. Am. Chem. Soc. 123, 8718 (2001).
6. G. A. Ozin and S. M. Yang, Adv. Funct. Mater. 11, 95 (2001).
7. D. Xia, A. Biswas, D. Li, and S. R. J. Brueck, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 16, 1427 (2004).
8. A. van Blaaderen, R. Ruel, and P. Wiltzius, Nature (London) 385, 321 (1997).
9. S. M. Yang, H. Miguez, and G. A. Ozin, Adv. Funct. Mater. 12, 425 (2002).
10. D. Xia and S. R. J. Brueck, Nano Lett. 4, 1295 (2004).
11. D. Xia and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 3415 (2004).
12. K. P. Velikov, C. G. Christova, R. P. A. Dullens, and A. van Blaaderen, Science 296, 106 (2002).
13. D. Wang and H. Mohwald, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 16, 244 (2004).
14. O. D. Velev, P. M. Tessier, A. M. Lenhoff, and E. W. Kaler, Nature (London) 401, 548 (1999).
15. P. Jiang, J. F. Bertone, and V. A. Colvin, Science 291, 453 (2001).
16. F. Li, J. He, W. Zhou, and J. B. Wiley, J. Am. Chem. Soc. 125, 16116 (2003).
17. M. Lahav, T. Sehayek, A. Vaskevich, and I. Rubinstein, Angew. Chem., Int. Ed. 42, 5576 (2003).
18. Q. Li and J. A. Lewis, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 15, 1639 (2004).
19. J. H. Moon, S. Kim, G. R. Yi, Y. H. Lee, and S. M. Yang, Langmuir 20, 2033 (2004).
20. C. Lee, E. H. Yang, N. V. Myung, and T. A. George, Nano Lett. 3, 1339 (2003).
21. J. O'Brien II, P. Bisong, L. K. Ista, E. M. Rabinovich, A. L. Garcia, S. S. Sibbett, G. P. Lopez, and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2941 (2003).
22. W. Li, J. O. Tegenfeldt, L. Chen, R. H. Austin, S. Y. Chou, P. A. Kohl, J. Krotine, and J. C. Sturm, Nanotechnology 14, 578 (2003).
23. X. Chen, S. H. Zaidi, S. R. J. Brueck, and D. Devine, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3339 (1996).
24. M. Morita, T. Koga, H. Otsuka, and A. Takahara, Langmuir 21, 911 (2005).
25. A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 3459 (2004).
26. N. Rosi, C. S. Thaxton, and C. A. Mirkinand, Angew. Chem., Int. Ed. 43, 5500 (2004).