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Volumn 14, Issue 11-12, 2005, Pages 1835-1838

Influence of technological conditions on mechanical stresses inside diamond-like carbon films

Author keywords

DLC; Mechanical stress; Optical methods

Indexed keywords

HYDROGEN; INTERFEROMETRY; PROFILOMETRY; STRESS ANALYSIS;

FILM STRESSES; OPTICAL METHODS; OPTICAL PROFILOMETRY;

DIAMOND LIKE CARBON FILMS;

EID: 27744578686 PISSN: 09259635 EISSN: None Source Type: Journal
DOI: 10.1016/j.diamond.2005.08.048 Document Type: Conference Paper

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.