Nanomechanical hydrogen sensing

Applied Physics Letters

Volumn 86, Issue 14, 2005, Pages 1-3

  Huang, X M H ^a   Manolidis, M ^a   Jun, Seong Chan ^a   Hone, J ^a  

^a Columbia University ^*  (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL SENSORS; DISSOCIATION; ETCHING; NANOSTRUCTURED MATERIALS; RESONATORS; SATURABLE CORE REACTORS; TEMPERATURE MEASUREMENT; TENSILE STRESS;

HYDROGEN SENSING; MAGNETOMOTIVE TRANSDUCTION; NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS (NEMS); SENSITIVE DETECTORS;

HYDROGEN;

EID: 17444392803     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1897445     Document Type: Article

References (22)

1. H. G. Craighead, Science 0036-8075 10.1126/science.290.5496.1532 290, 1532 (2000); M. L. Roukes, Sci. Am. 0036-8733 285, 48 (2001); M. L. Roukes, Phys. World 14, 25 (2001).
2. H. G. Craighead, Science 0036-8075 10.1126/science.290.5496.1532 290, 1532 (2000); M. L. Roukes, Sci. Am. 0036-8733 285, 48 (2001); M. L. Roukes, Phys. World 14, 25 (2001).
3. H. G. Craighead, Science 0036-8075 10.1126/science.290.5496.1532 290, 1532 (2000); M. L. Roukes, Sci. Am. 0036-8733 285, 48 (2001); M. L. Roukes, Phys. World 14, 25 (2001).
4. T. Thundat, E. Finot, Z. Hu, R. H. Ritchie, G. Wu, and A. Majumdar, Appl. Phys. Lett. 77, 4061 (2000).
5. F. Favier, E. C. Walter, M. P. Zach, T. Benter, and R. M. Penner, Science 293, 2227 (2001).
6. C. A. Grimes, K. G. Ong, O. K. Varghese, X. P. Yang, G. Mor, M. Paulose, E. C. Dickey, C. M. Ruan, M. V. Pishko, J. W. Kendig, and A. J. Mason, Sensors 3, 69 (2003).
7. Y. M. Wong, W. P. Kang, J. L. Davidson, A. Wisitsora-at, and K. L. Soh, Sens. Actuators B 93, 327 (2003).
8. G. J. Kroes, Prog. Surf. Sci. 60, 1 (1999).
9. A. N. Cleland and M. L. Roukes, Nature (London) 0028-0836 10.1038/32373 392, 160 (1998); X. M. H. Huang, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature (London) 421, 496 (2003).
10. A. N. Cleland and M. L. Roukes, Nature (London) 0028-0836 10.1038/32373 392, 160 (1998); X. M. H. Huang, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature (London) 421, 496 (2003).
11. K. L. Ekinci, Y. T. Yang, X. M. H. Huang, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 81, 2253 (2002).
12. K. L. Ekinci, Y. T. Yang, and M. L. Roukes, J. Appl. Phys. 95, 2682 (2004).
13. N. V. Lavrik and P. G. Datskos, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1569050 82, 2697 (2003); B. Ilic, H. G. Craighead, S. Krylov, W. Senaratne, C. Ober, and P. Neuzil, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.1650542 95, 3694 (2004); K. L. Ekinci, X. M. H. Huang, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 84, 4469 (2004).
14. N. V. Lavrik and P. G. Datskos, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1569050 82, 2697 (2003); B. Ilic, H. G. Craighead, S. Krylov, W. Senaratne, C. Ober, and P. Neuzil, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.1650542 95, 3694 (2004); K. L. Ekinci, X. M. H. Huang, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 84, 4469 (2004).
15. N. V. Lavrik and P. G. Datskos, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1569050 82, 2697 (2003); B. Ilic, H. G. Craighead, S. Krylov, W. Senaratne, C. Ober, and P. Neuzil, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.1650542 95, 3694 (2004); K. L. Ekinci, X. M. H. Huang, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 84, 4469 (2004).
16. A. Bokaian, J. Sound Vib. 142, 481 (1990).
17. A. Maeland and T. B. Flanagan, J. Phys. Chem. 0022-3654 69, 3575 (1965); Y. Sakamoto, K. Yuwasa, and K. Hirayama, J. Less-Common Met. 88, 115 (1982).
18. A. Maeland and T. B. Flanagan, J. Phys. Chem. 0022-3654 69, 3575 (1965); Y. Sakamoto, K. Yuwasa, and K. Hirayama, J. Less-Common Met. 88, 115 (1982).
19. R. J. Wolf, M. W. Lee, R. C. Davis, P. J. Fay, and J. R. Ray, Phys. Rev. B 48, 12415 (1993).
20. R. J. Wolf, M. W. Lee, and J. R. Ray, Phys. Rev. Lett. 73, 557 (1994).
21. L. Sekaric, M. Zalalutdinov, R. B. Bhiladvala, A. T. Zehnder, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, Appl. Phys. Lett. 81, 2641 (2002).
22. M. L. Roukes, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, X. M. H. Huang, H. X. Tang, D. A. Harrington, J. Casey, and J. L. Arlett, Patent No. WO2004041998-A2; AU2003299484-A1 (2004).