Gas-phase reactions between silane and water: A theoretical study

Journal of Physical Chemistry A

Volumn 108, Issue 8, 2004, Pages 1448-1459

  Hu, Shao Wen ^a   Wang, Yi ^a   Wang, Xiang Yun ^a   Chu, Tai Wei ^a   Liu, Xin Qi ^a  

^a PEKING UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL BONDS; COMPUTER SIMULATION; DISSOCIATION; ENERGY GAP; PHASE DIAGRAMS; PHASE EQUILIBRIA; PHASE TRANSITIONS; POTENTIAL ENERGY; SILANES; WATER;

ENERGY BARRIERS; GAS PHASE REACTIONS; SYNCHRONOUS TRANSIT GUIDED QUASI-NEWTON METHODS;

CHEMICAL REACTIONS;

EID: 1542544776     PISSN: 10895639     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp036836g     Document Type: Article

References (42)

1. Dominguez, C.; Rodriguez, J. A.; Riera, M.; Llobera, A.; Diaz, B. J. Appl. Phys. 2003, 93, 5125.
2. Gougousi, T.; Kelly, M. J.; Parsons, G. N. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 4419.
3. Haraguchi, T.; Sugiura, O. Jpn. J. Appl. Phys. 1996, 2 35, L1290.
4. Ceiler, M. F.; Kohl, P. A.; Bidstrup, S. A. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 2067.
5. Niwano, M.; Terashi, M.; Shinohara, M.; Shoji, D.; Miyamoto, N. Surf. Sci. 1998, 401, 364.
6. Weldon, M. K.; Queeney, K. T.; Chabal, Y. J.; Stefanov, B. B.; Raghavachari, K. J. Vac. Sci. Technol. B 1999, 17, 1795.
7. Henderson, M. A. Surf. Sci. Rep. 2002, 46, 5.
8. Esteve, A.; Chabal, Y. J.; Raghavachari, K.; Weldon, M. K.; Queeney, K. T.; Rouhani, M. D. J. Appl. Phys. 2001, 90, 6000.
9. Klemm, E.; Seitz, M.; Scheidat, H.; Emig, G. J. Catal. 1998, 173, 177.
10. Ohki, A.; Ohmi, T.; Date, J.; Kijima, T. J. Electrochem. Soc. 1998, 145, 3560.
11. Moore, J. F.; Strongin, D. R. Thin Solid Films 1996, 280, 101.
12. Krasnoslobodtsev, A. V.; Smirnov, S. N. Langmuir 2002, 18, 3181.
13. Fung, C. A. F. K.; Burke, M. F. J. Chromatogr. A 1996, 752, 41.
14. Wovchko, E. A.; Camp, J. C.; Glass, J. A.; Yates, J. T. Langmuir 1995, 11, 2592.
15. Shimojima, A.; Umeda, N.; Kuroda, K. Chem. Mater. 2001, 13, 3610.
16. Wen, J. Y.; Wilkes, G. L. Chem. Mater. 1996, 8, 1667.
17. Ingall, M. D. K.; Honeyman, C. H.; Mercure, J. V.; Bianconi, P. A.; Kunz, R. R. J. Am. Chem. Soc. 1999, 121, 3607.
18. Parikh, A. N.; Schivley, M. A.; Koo, E.; Seshadri, K.; Aurentz, D.; Mueller, K.; Allara, D. L. J. Am. Chem. Soc. 1997, 119, 3135.
19. Peters, M. A.; Belu, A. M.; Linton, R. W.; Dupray, L.; Meyer, T. J.; Desimone, J. M. J. Am. Chem. Soc. 1995, 117, 3380.
20. Boutevin, B.; GuidaPietrasanta, F.; Ratsimihety, A.; Caporiccio, G. Main Group Met. Chem. 1997, 20, 133.
21. Akamatsu, Y.; Makita, K.; Inaba, H.; Minami, T. Thin Solid Films 2001, 389, 138.
22. Perch, N. S.; Kisanga, P.; Widenhoefer, R. A. Organometallics 2000, 19, 2541.
23. Pellerite, M. J.; Wood, E. J.; Jones, V. W. J. Phys. Chem. B 2002, 106, 4746.
24. Okumoto, S.; Fujita, N.; Yamabe, S. J. Phys. Chem. A 1998, 102, 3991.
25. Kudo, T.; Gordon, M. S. J. Am. Chem. Soc. 1998, 12, 11432.
26. Ignatov, S. K.; Sennikov, P. G.; Ault, B. S.; Bagatur'yants, A. A.; Simdyanov, I. V.; Razuvaev, A. G.; Klimov, E. J.; Gropen, O. J. Phys. Chem. A 1999, 103, 8328.
27. Ignatyev, I. S.; Schaefer, H. F. Organometallics 2001, 20, 3113.
28. Peng, C. Y.; Ayala, P. Y.; Schlegel, H. B.; Frisch, M. J. J. Comp. Chem. 1996, 17, 49.
29. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A,.; Cheeseman, J. R.; Zakrzewski, V. G.; Montgomery, J. A. Jr.; Stratmann, R. E.; Burant, J. C.; Dapprich, S.; Millam, J. M.; Daniels, A. D.; Kudin, K. N.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Tomasi, J.; Barone, V.; Cossi, M.; Cammi, R.; Mennucci, B.; Pomelli, C.; Adamo, C.; Clifford, S.; Ochterski, J.; Petersson, G. A.; Ayala, P. Y.; Cui, Q.; Morokuma, K.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Cioslowski, J.; Ortiz, J. V.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Gomperts, R.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Gonzalez, C.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B. G.; Chen, W.; Wong, M. W.; Andres, J. L.; Head-Gordon, M.; Replogle, E. S.; Pople, J. A. Gaussian 98, revision A.7; Gaussian, Inc.: Pittsburgh, PA, 1998.
30. Jasinski, J. M.; Becerra, R.; Walsh, R. Chem. Rev. 1995, 95, 1203.
31. Hu, S. W.; Wang, Y.; Wang, X. Y. Chu, T. W. Liu, X. Q. J. Phys. Chem. A 2003, 107, 2954.
32. Zhang, M.; Ciocan, E.; Bando, Y.; Wada, K.; Cheng, L. L.; Pirouz, P. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 491.
33. Chang, H. J.; Chen, Y. F.; Lin, H. P.; Mou, C. Y. Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 3791.
34. Gole, J. L.; Dixon, D. A. Phys. Rev. B 1998, 57, 12002.
35. Yao, B. D.; Shi, H. Z.; Zhang, X. Y.; Zhang, L. D. Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 174.
36. Zhou, F. L.; Head, J. D. J. Phys. Chem. B 2000, 104, 9981.
37. Gole, J. L.; Dudel, F. P.; Grantier, D.; Dixon, D. A. Phys. Rev. B 1997, 56, 2137.
38. Seals, L.; Dudel, F.; Grantier, D.; Gole, J. L.; Bottomley, L. A. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 8860.
39. Martin, J. M. L. J. Phys. Chem. A 1998, 102, 1394.
40. Izuha, M.; Yamamoto, S.; Saito, S. J. Mol. Struct. 1997, 413, 527.
41. Koput, J. J. Phys. Chem. A 2002, 106, 12067.
42. Yamaguchi, Y.; Xie, Y. M.; Kim, S. J.; Schaefer, H. F. J. Chem. Phys. 1996, 105, 1951.