Smart Fabrication Process of an Ir-IrOx Top-Electrode on a PZT Film for Reliable FeRAM

Journal of the Electrochemical Society

Volumn 151, Issue 2, 2004, Pages

  Inoue, Naoya ^a   Hayashi, Yoshihiro ^a  

^a NEC CORPORATION   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CAPACITORS; FABRICATION; FERROELECTRIC DEVICES; FREE RADICALS; IRIDIUM COMPOUNDS; LEAD COMPOUNDS; OXYGEN; PHASE COMPOSITION; RANDOM ACCESS STORAGE; SPUTTERING;

ELECTRODE MATERIALS; REMANENT POLARIZATION;

ELECTRODES;

EID: 1242264913     PISSN: 00134651     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1149/1.1640634     Document Type: Article

References (30)

1. J. Evans and R. Womack, IEEE J. Solid-State Circuits, 23, 1171 (1988).
2. B. G. Jeon, M. K. Choi, Y. Song, S. K. Oh, Y. Chung, K. D. Suh, and K. Kim, IEEE J. Solid-State Circuits, 35, 1690 (2000).
3. Y. Chung, B. G. Jeon, and K. D. Suh, IEEE J. Solid-State Circuits, 35, 697 (2000).
4. R. Ogiwara, S. Tanaka, Y. Itoh, T. Miyakawa, Y. Takeuchi, S. M. Doumae, H. Takenaka, Y. Kunishima, S. Shuto, O. Hidaka, S. Ohtsuki, and S. Tanaka, IEEE J. Solid-State Circuits, 35, 545 (2000).
5. T. Yamazaki, K. Inoue, H. Miyazawa, M. Nakamura, N. Sashida, R. Satomi, A. Kerry, Y. Katoh, H. Noshiro, K. Takai, R. Shinohara, C. Ohno, T. Nakajima, Y. Furumura, and S. Kawamura, Tech. Dig. - Int. Electron Devices Meet., 1997, 613.
6. J. Yamada, T. Miwa, H. Koike, H. Toyoshima, K. Amanuma, S. Kobayashi, T. Tatsumi, Y. Maejima, H. Hada, H. Mori, S. Takahashi, H. Takeuchi, and T. Kunio, in International Solid State Circuits Conference, 2000, 270.
7. R. Ramesh, W. K. Chan, B. Wilkens, H. Gilchrist, T. Sands, J. M. Tarascon, D. K. Fork, J. Lee, and A. Safari, Appl. Phys. Lett., 61, 1537 (1992).
8. J. Lee, L. Johnson, A. Safari, R. Ramesh, T. Sands, H. Gilchrist, and V. G. Keramidas, Appl. Phys. Lett., 63, 27 (1993).
9. R. Ramesh, J. Lee, T. Sands, V. J. Keramidas, and O. Auciello, Appl. Phys. Lett., 64, 2511 (1994).
10. R. Dat, D. J. Lichtenwalner, O. Auciello, and A. I. Kingon, Appl. Phys. Lett., 64, 2673 (1994).
11. O. Auciello, K. D. Gifford, and A. I. Kingon, Appl. Phys. Lett., 64, 2873 (1994).
12. T. Nakamura, Y. Nakao, A. Kamisawa, and H. Takasu, Appl. Phys. Lett., 65, 1522 (1994).
13. T. Nakamura, Y. Nakao, A. Kamisawa, and H. Takasu, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1, 33, 5207 (1994).
14. L. M. Schiavone, W. C. Dautremont-Smith, G. Beni, and J. L. Shay, Appl. Phys. Lett., 35, 823 (1979).
15. J. D. Klein, S. L. Clauson, and S. F. Cogan, J. Vac. Sci. Technol. A, 7, 3043 (1989).
16. J. D. Klein, S. L. Clauson, and S. F. Cogan, J. Mater. Res., 4, 1505 (1989).
17. H. J. Cho, H. Horii, C. S. Hwang, J. W. Kim, C. S. Kang, B. T. Lee, S. I. Lee, Y. B. Koh, and M. Y. Lee, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1, 36, 1722 (1997).
18. M. Shimizu, H. Fujisawa, S. Hyodo, S. Nakashima, and H. Niu, J. Korean Phys. Soc., 32, S1349 (1998).
19. R. H. Horng, D. S. Wuu, L. H. Wu, and M. K. Lee, Thin Solid Films, 373, 231 (2000).
20. C. U. Pinnow, I. Kasko, C. Dehm, B. Jobst, M. Seibt, and U. Geyer, J. Vac. Sci. Technol. B, 19, 1857 (2001).
21. C. U. Pinnow, I. Kasko, N. Nagel, T. Mikolajick, C. Dehm, F. Jahnel, M. Seibt, U. Geyer, and K. Samwer, J. Appl. Phys., 91, 1707 (2002).
22. C. U. Pinnow, I. Kasko, N. Nagel, S. Poppa, T. Mikolajick, C. Dehm, W. Hosler, F. Bleyl, F. Jahnel, M. Seibt, U. Geyer, and K. Samwer, J. Appl. Phys., 91, 9591 (2002).
23. N. Inoue, Y. Maejima, and Y. Hayashi, Tech. Dig. - Int. Electron Devices Meet., 1997, 605.
24. C. B. Sawyer and C. H. Tower, Phys. Rev., 35, 269 (1930).
25. N. Inoue, T. Nakura, and Y. Hayashi, IEEE Trans. Electron Devices, 50, 2081 (2003).
26. G. Lemperiere and M. Poitevin, Thin Solid Films, 111, 339 (1984).
27. S. Berg, T. Larsson, C. Nender, and H.-O. Blom, J. Appl. Phys., 63, 887 (1988).
28. M. Kawamura, Y. Abe, H. Yanagisawa, and K. Sasaki, Thin Solid Films, 287, 115 (1996).
29. N. Inoue, T. Takeuchi, and Y. Hayashi, IEEE Trans. Electron Devices, 49, 1572 (2002).
30. K. Amanuma, T. Mori, T. Hase, T. Sakuma, A. Ochi, and Y. Miyasaka, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1, 32, 4150 (1993).