Multi-beam microcolumns based on arrayed SCM and WCM

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 45, Issue 5 II, 2004, Pages 1214-1217

  Kim, Ho Seob ^a   Kim, Dae Wook ^a   Ahn, Seungjoon ^a   Park, Sung Soon ^a   Seol, Myeong Heon ^a   Klm, Young Chul ^a   Choi, Sang Kook ^b   Kim, Dae Yong ^b  

^a SunMoon University   (South Korea)

^b Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI)   (South Korea)

Author keywords

Microcolumn; Monolithic column module; Single column modules; Wafer scale column module

Indexed keywords

EID: 10444276519     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (8)

1. E. Kratschmer, H. S. Kim, M. G. R. Thomson, K. Y. Lee, S. A. Rishton, M. L. Yu, S. Zolgharnain, B. W. Hussey and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3792 (1996).
2. T. H. P. Chang, M. G. R. Thomson, E. Kratschmer, H. S. Kim, M. L. Yu, K. Y. Lee, S. A. Rishton, B. W. Hussey and S. Zolgharnain, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3774 (1996).
3. L. P. Muray, J. P. Spallas, C. Stebler, K. Lee, M. Mankos, Y. Hsu, M. Gmur and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 3099 (2000).
4. T. H. P. Chang, M. Mankos, K. Y. Lee and L. P. Muray, Microelectron. Eng. 57-58, 117 (2001).
5. H. S. Kim, D. W. Kim, S. J. Ahn, Y. C. Kim, S. S. Park, S. K. Choi and D. Y. Kim, J. Korean Phys. Soc. 43, 831 (2003).
6. D. W. Kim, Y. S. Kim, Y. G. Kim, H .S. Kim, S. J. Ahn, Y. Y. Park and D. W. Kim, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 3842 (2003).
7. Y. Lee, W. Lee and K. Chun, J. Korean Phys. Soc. 40, 720 (2002).
8. B. J. Lin, MNC 2002 Conference Proceedings (Kenkosha Printing, Tokyo, 2002), p. 28.