The Assembly of a Fully Functional Microcolumn and Its STEM-Mode Operation

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 43, Issue 5 II, 2003, Pages 831-835

  Kim, H S ^a   Kim, D W ^a   Ahn, S J ^a   Kim, Y C ^a   Park, S S ^a   Choi, S K ^b   Kim, D Y ^b  

^a SunMoon University   (South Korea)

^b Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI)   (South Korea)

Author keywords

Electron beam; Electron optics; Micro lens; Microcolumn; Semiconductor fabrication

Indexed keywords

EID: 0344982800     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.43.831     Document Type: Article

References (10)

1. E. Kratschmer, H. S. Kim, M. G. R. Thomson, K. Y. Lee, S. A. Rishton, M. L. Yu, S. Zolgharnain, B. W. Hussey, and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3792 (1996).
2. E. Kratschmer, H. S. Kim, M. G. R. Thomson, K. Y. Lee, S. A. Rishton, M. L. Yu and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2498 (1995).
3. C. Stebler, T. Pfeffer, U. Staufer and N. F. de Rooji, Microelectronic Eng. 46, 401 (1999).
4. Jeong-Young Park, Jared D. Lera, M. A. Yakshin, S. S. Choi, Y. Lee, K. J. Chun, J. D. Lee, D. Jeon and Young Kuk, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2749 (1997).
5. Y. J. Lee, S. H. Kang, D. H. Kim, J. Y. Park, H. H. Choi, Y. Kuk and K. Chun, Microelectronic Eng. 41/42, 485 (1999).
6. J. Y. Park, J. D. Lera, H. J. Choi, G. H. Buh, C. J. Kang, J. H. Jung, S. S. Choi, D. Jeon and Y. Kuk, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 826 (1998).
7. Y. Lee, W. Lee and K. Chun, J. Korean Phys. Soc. 40, 720 (2002).
8. S. Y. Lee, H. J. Kim, J. Ahn, I. Y. Kang and Y.-C. Chung, J. Korean Phys. Soc. 41, 427 (2002).
9. B. J. Lin, MNC 2002 Conference Proceedings (Tokyo, Nov., 2002), p. 28.
10. H. S. Kim, M. L. Yu, U. Staufer, L. P. Muray, D. P. Kern and T. H. P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 2327 (1993).