Enhancement of EUV Reflective Multilayer Properties by the Insertion of a Ru Barrier Layer

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 43, Issue 5 II, 2003, Pages 826-830

  Lee, Seung Yoon ^a   Kim, Tae Geun ^a   Ahn, Jinho ^a  

^a Hanyang University   (South Korea)

Author keywords

Barrier layer; EUVL; Mo Si; Multilayer; Reflectivity

Indexed keywords

EID: 0344982802     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.43.826     Document Type: Article

References (10)

1. C. Montcalm, S. Bajt, P. B. Mirkarimi, E. Spiller, F. J. Weber and J. A. Folta, Proc. SPIE 3331, 42 (1998).
2. K. S. Kim, S. Y. Lee, C. M. Park and J. Ahn, J. Korean Phys. Soc. 37, 1067 (2000).
3. C. M. Park, T. H. Lee, J. N. Cheon, S. Y. Lee, Y. D. Kim and J. Ahn, J. Korea Phys. Soc. 40, 156 (2002).
4. Y. J. Lee, W. J. Lee and K. J. Chun, J. Korean Phys. Soc. 40, 720 (2002).
5. J. P. Silverman, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2117 (1997).
6. S. D. Berger, J. M. Gibson, R. M. Camarda, R. C. Farrow, H. A. Huggins, J. S. Kraus and J. A. Liddle, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 2996 (1991).
7. L. R. Harriot, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2130 (1997).
8. St. Braun, H. Mai, M. Moss, R. Scholz and A. Leson, Jpn. J. Appl. Phys. 41, 4074 (2002).
9. B. T. Lee, E. Hoshino and M. Takahashi, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 6998 (2001).
10. S. Y. Lee, S. M. Hur, H. J. Kim, C. S. Yoon, Y. T. Lee, I. Y. Kang, Y.-C. Chung, M. Yi, C. K. Ok, O. Kim and J. Ahn, Jpn. J. Appl. Phys. 41, 4086 (2002).