Dissolution kinetics of boron-interstitial clusters in silicon

Applied Physics Letters

Volumn 83, Issue 4, 2003, Pages 680-682

  Mirabella, S ^a   Bruno, E ^a   Priolo, F ^a   De Salvador, D ^b   Napolitani, E ^b   Drigo, A V ^b   Carnera, A ^b  

^a UNIVERSITY OF CATANIA   (Italy)

^b UNIVERSITY OF PADOVA   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ACTIVATION ENERGY; ANNEALING; BORON; DISSOLUTION; REACTION KINETICS;

CLUSTERS;

SILICON;

EID: 0041511968     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1594264     Document Type: Article

References (18)

1. A. E. Michel, W. Rausch, P. A. Ronsheim, and R. H. Kasti, Appl. Phys. Lett. 50, 416 (1987).
2. S. Solmi, F. Barrufaldi, and R. Canteri, J. Appl. Phys. 69, 2135 (1991).
3. P. A. Stolk, J. H.-J. Gossmann, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, C. S. Rafferty, G. H. Gilmer, M. Jaraìz, J. M. Poate, H. S. Luftman, and T. E. Haynes, J. Appl. Phys. 81, 6031 (1997), and references therein.
4. L. Pelaz, G. H. Gilmer, H.-J. Gossmann, C. S. Rafferty, M. Jaraìz, and J. Barbolla, Appl. Phys. Lett. 74, 3657 (1999).
5. E. Schroer, V. Privitera, F. Priolo, E. Napolitani, and A. Carnera, Appl. Phys. Lett. 74, 3996 (1999).
6. G. Mannino, N. E. B. Cowern, F. Roozeboom, and J. G. M. van Berkum, Appl. Phys. Lett. 76, 855 (2000).
7. T.-S. Wang, A. G. Cullis, E. J. H. Collart, A. J. Murrell, and M. A. Foad, Appl. Phys. Lett. 77, 3586 (2000).
8. S. Solmi, L. Mancini, S. Milita, M. Servidori, G. Mannino, and M. Bersani, Appl. Phys. Lett. 79, 1103 (2001).
9. W. Luo and P. Clancy, J. Appl. Phys. 89, 1596 (2001).
10. S. C. Jain, W. Schoenmaker, R. Lindsay, P. A. Stolk, S. Decoutere, M. Willander, and H. E. Maes, J. Appl. Phys. 91, 8919 (2002), and references therein.
11. N. E. B. Cowern, G. Mannino, P. A. Stolk, F. Roozeboom, H. G. A. Huizing, J. G. M. van Berkum, F. Cristiano, A. Claverie, and M. Jaraìz, Phys. Rev. Lett. 82, 4460 (1999).
12. L. Radic, A. D. Lilak, and M. E. Law, Appl. Phys. Lett. 81, 826 (2002).
13. R. Kalyanaraman, V. C. Venezia, L. Pelaz, T. E. Haynes, H. J. Gossman, and C. S. Rafferty, Appl. Phys. Lett. 82, 215 (2003).
14. A. D. Lilak, M. E. Law, L. Radic, K. S. Jones, and M. Clark, Appl. Phys. Lett. 81, 2244 (2002).
15. J. P. Biersack and L. G. Haggmark, Nucl. Instrum. Methods 174, 257 (1980).
16. D. De Salvador, A. Mattoni, E. Napolitani, A. Drigo, S. Mirabella, and F. Priolo, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 717, C5.6.1 (2002).
17. S. Mirabella, A. Coati, D. De Salvador, E. Napolitani, A. Mattoni, G. Bisognin, M. Berti, Carnera, A. V. Drigo, S. Scalese, S. Pulvirenti, A. Terrasi, and F. Priolo, Phys. Rev. B 65, 045209 (2002).
18. N. E. B. Cowern, G. F. A. van de Walle, D. J. Gravesteijn, and C. J. Vriezema, Phys. Rev. Lett. 67, 212 (1991).