Dimensional Metrology for Components of Microsystem Technology;Taktile dimensionelle Messtechnik für Komponenten der Mikrosystemtechnik

Technisches Messen

Volumn 69, Issue 12, 2002, Pages 542-549

  Brand, Uwe ^a,b   Büttgenbach, Stephanus ^c  

^a CC UPOB ^*  (Germany)

^b CC UPOB   (Germany)

^c Langer Kamp 8   (Germany)

Author keywords

3d micro measuring device; 3d micro probe; Fibre probe; Micro force metrology; Micro structures; Microsystem technology

Indexed keywords

PROBES;

FIBRE PROBE; MEASURING DEVICE; MICRO-PROBES; MICRO-SYSTEM TECHNOLOGIES; MICROFORCES;

MICROSYSTEMS;

EID: 0041414813     PISSN: 01718096     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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