Opto-tactile Sensor for 2D- and 3D Measurement of Small Structures on Coordinate-Measuring Machines;Opto-taktiler Sensor zur 2D- und 3D-Messung kleiner Strukturen mit Koordinatenmeßgeräten

Technisches Messen

Volumn 66, Issue 12, 1999, Pages 485-489

  Schwenke, Heinrich ^a   Weiskirch, Christian ^a   Kunzmann, Horst ^a  

^a PHYSIKALISCH TECHNISCHE BUNDESANSTALT   (Germany)

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3-D MEASUREMENT; DIMENSIONAL MEASUREMENTS; MEASUREMENT UNCERTAINTY; SUBMICRON; TACTILE PROBING SYSTEMS;

MEASUREMENTS; SENSORS; UNCERTAINTY ANALYSIS;

THREE DIMENSIONAL;

EID: 0006143294     PISSN: 01718096     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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5. Abbildung mit freundlicher Genehmigung der Werth Messtechnik GmbH, Gießen