Laserinterferometrische Nanomeßmaschinen

VDI Berichte

Volumn , Issue 1530, 2000, Pages 271-278

  Jager G ^a   Manske, E ^a   Hausotte, T ^a   Buchner H J ^a  

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EID: 0013060007     PISSN: 00835560     EISSN: None     Source Type: Book Series    
DOI: None     Document Type: Article

References (4)

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