Monitoring of HyGaNx and Ga in OMCVD of GaN, using molecular beam quadrupole and REMPI-TOF mass spectrometry

Chemical Physics Letters

Volumn 300, Issue 1-2, 1999, Pages 152-156

  Schäfer, Jörg ^a   Wolfrum, Jürgen ^a   Fischer, Roland A ^b   Sussek, Harald ^b  

^a UNIVERSITY OF HEIDELBERG   (Germany)

^b RUHR UNIVERSITY BOCHUM   (Germany)

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EID: 0040942662     PISSN: 00092614     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0009-2614(98)01319-0     Document Type: Article

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