Scanning transmission electron microscopy study of Au/Zn/Au/Cr/Au and Au/Ti/Pt/Au/Cr/Au contacts to p-type InGaAs/InP

Journal of Applied Physics

Volumn 93, Issue 9, 2003, Pages 5196-5200

  Huang, J S ^a,c   Vartuli, C B ^b  

^a Agere Systems   (United States)

^b AGERE SYSTEMS   (United States)

^c Emcore Corporation   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

INTERDIFFUSION (SOLIDS); MORPHOLOGY; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; SEMICONDUCTING INDIUM GALLIUM ARSENIDE; SEMICONDUCTING INDIUM PHOSPHIDE; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

INTERFACIAL LAYERS;

SURFACE REACTIONS;

EID: 0037648913     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1565187     Document Type: Article

References (17)

1. E. Kupal, Solid-State Electron, 24, 69 (1981).
2. N. S. Fatemi and V. O. Weizer, J. Appl. Phys. 77, 5241 (1995).
3. C. L. Cheng, L. A. Goldren, B. I. Miller, J. A. Rentschler, and C. C. Shen, Electron. Lett. 18, 755 (1982).
4. K. Tabatabaie-Alavi, A. N. M. M. Choudhury, N. J. Slater, and C. G. Fonstad, Appl. Phys. Lett. 40, 398 (1982).
5. A. Katz, P. M. Thomas, S. N. G. Chu, W. C. Dautremont-Smith, R. G. Sobers, and S. G. Napholtz, J. Appl. Phys. 67, 884 (1990).
6. T. Clausen and O. Leistiko, Microelectron. Eng. 18, 305 (1992).
7. N. S. Fatemi and V. G. Weizer, J. Appl. Phys. 74, 6740 (1993).
8. J. S. Huang, H. K. Liou, and K. N. Tu, Phys. Rev. Lett, 76, 2346 (1996).
9. J. S. Huang, C. B. Vartuli, T. Nguyen, N. Bar-Chaim, J. Shearer, C. Fisher, and S. Anderson, J. Mater. Res. 17, 2929 (2002).
10. J. S. Huang, K. N. Tu, S. W. Bedell, W. A. Lanford, S. L. Cheng, J. B. Lai, and L. J. Chen, J. Appl. Phys. 82, 2370 (1997).
11. W. C. Huang, T. F. Lei, and C. L. Lee, J. Appl. Phys. 79, 9200 (1996).
12. J. S. Huang, P. Thai, A. Konkar, M. Geva, L. Cote, C. B. Vartuli, R. B. Irwin, and T. Clark, in Compound Semiconductor Manufacturing Expo (Institute of Physics, San Jose, CA, 2002), p. 14.
13. K. Kurishima, T. Kobayashi, H. Ito, and U. Gosele, J. Appl. Phys. 79, 4017 (1996).
14. D. Franke, F. W. Reier, and N. Grote, J. Cryst. Growth 195, 112 (1998).
15. C. B. Vartuli, F. A. Stevie, L. A. Giannuzzi, T. L. Shofner, B. M. Purcell, R. B. Irwin, J. M. MCKinley, and R. J. Wesson, in Microscopy and Microanalysis 2000 Proceedings (Springer, New York, 2000), p. 536.
16. J. S. Huang, C. Chen, C. C. Yeh, K. N. Tu, T. L. Shofner, J. L. Drown, R. B. Irwin, and C. B. Vartuli, J. Mater. Res. 15, 2387 (2000).
17. L. A. Giannuzzi, J. L. Drown, S. R. Brown, R. B. Irwin, and F. A. Stevie, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 480, 19 (1997).