Diamond photodetector response to deep UV excimer laser excitation

Diamond and Related Materials

Volumn 12, Issue 3-7, 2003, Pages 677-681

  Lansley, S P ^a   McKeag, R D ^b   Whitfield, M D ^c   Rizvi, N ^c   Jackman, R B ^a  

^a UNIVERSITY COLLEGE LONDON   (United Kingdom)

^b Centronic Limited   (United Kingdom)

^c Exitech Ltd   (United Kingdom)

Author keywords

Detectors; Diamond film; Laser materials; Optoelectronic properties

Indexed keywords

EXCIMER LASERS; LASER PULSES; PHOTODETECTORS; ULTRAVIOLET RADIATION;

DIAMOND PHOTODETECTORS;

DIAMONDS;

DIAMOND;

EID: 0037508853     PISSN: 09259635     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0925-9635(03)00064-5     Document Type: Article

References (29)

1. Landstrass, M. I., Plano, M. A., & Moreno, M. A. (1993). Diam. Relat. Mater.. 2 1033.
2. McKeag, R. D., Chan, S. S., & Jackman, R. B. (1995). Appl. Phys. Lett.. 67 2117.
3. Whitfield, M. D., McKeag, R. D., Pang, L. Y., Chan, S. S., & Jackman, R. B. (1996). Diamond Relat. Mater.. 5 829.
4. McKeag, R. D., & Jackman, R. B. (1998). Diamond Relat. Mater.. 7 513.
5. Bharadwaj, P. K., Code, R. F., van Driel, H. M., & Walentynowicz, E. (1983). Appl. Phys. Lett.. 43 207.
6. Glinski, J., Gu, X. -J, Code, R. F., & van Driel, H. M. (1984). Appl. Phys. Lett.. 45 260.
7. Huo, Y. S., Gu, X. J., Code, R. F., & Fuh, Y. G. (1986). J. Appl. Phys.. 59 2060.
8. Pan, L. S., Kania, D. R., Pianetta, P., & Landen, O. L. (1990). Appl. Phys. Lett.. 57 623.
9. P. Gluche, O. Kohn, M. Binder, et al., Proceedings of the IEEE Cornell Conference on Advanced Concepts in High Speed Semiconductor Devices and Circuits, VII-4 (1997) 314
10. Foulon, F., Bergonzo, P., & Borel, C. (1998). J. Appl. Phys.. 84 5331.
11. Ho, P. -T, Lee, C. H., Stephenson, J. C., & Cavanagh, R. R. (1983). Opt. Commun.. 46 202.
12. Pan, L. S., Kania, D. R., & Han, S. (1992). Science. 255 830.
13. Salvatori, S., Rossi, M. C., & Galluzzi, F. (1999). Carbon. 37 811.
14. Whitfield, M. D., Lansley, S. P., Gaudin, O., McKeag, R. D., Rizvi, N., & Jackman, R. B. (2000). Phys. Stat. Sol. (a). 181 121.
15. Whitfield, M. D., Lansley, S. P., Gaudin, O., McKeag, R. D., Rizvi, N., & Jackman, R. B. (2001). Diamond Relat. Mater.. 10 650.
16. Whitfield, M. D., Lansley, S. P., Gaudin, O., McKeag, R. D., Rizvi, N., & Jackman, R. B. (2001). Phys. Stat. Sol. (a). 185 99.
17. Whitfield, M. D., Lansley, S. P., Gaudin, O., McKeag, R. D., Rizvi, N., & Jackman, R. B. (2001). Proc. SPIE. 4274 40.
18. Whitfield, M. D., Lansley, S. P., Gaudin, O., McKeag, R. D., Rizvi, N., & Jackman, R. B. (2001). Diamond Relat. Mater.. 10 693.
19. Foulon, F., Bergonzo, P., Jany, C., Gicquel, A., & Pochet, T. (1996). Diamond Relat. Mater.. 5 732.
20. Foulon, F., Bergonzo, P., Jany, C., Gicquel, A., & Pochet, T. (1996). Nucl. Instrum. Methods A. 380 42.
21. Marshall, J. M., & Walters, A. S. (1999). Diamond Relat. Mater.. 8 2118.
22. Salvatori, S., Rossi, M. C., Galluzzi, F., Riedel, D., & Castex, M. C. (1999). Diamond Relat. Mater.. 8 871.
23. Available from http://public.itrs.net/Files/2001ITRS/Litho.pdf
24. R. Harbison, Proceedings of the First International Symposium on 157 nm Lithography, May 8-11, Dana Point, CA, USA, 1 (2000) 9-33
25. N. Rizvi, Report by Exitech Ltd., part of Dti/EPSRC LINK project 'INDDUV', London, UK, 2000
26. Gonon, P., Prawer, S., & Jamieson, D. (1996). Appl. Phys. Lett.. 68 1238.
27. Gaudin, O., Watson, S., Lansley, S. P., Looi, H. J., Whitfield, M. D., & Jackman, R. B. (1999). Diamond Relat. Mater.. 8 886.
28. Looi, H. J., Jackman, R. B., & Foord, J. S. (1998). Appl. Phys. Lett.. 72 353.
29. Baral, B., Chan, S. S., & Jackman, R. B. (1996). J. Vac. Sci. Tech. A. 14 2303.