Cleaning thin-film diamond surfaces for device fabrication: An Auger electron spectroscopic study

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 14, Issue 4, 1996, Pages 2303-2307

  Baral, Bhaswar ^a   Chan, Simon S M ^a   Jackman, Richard B ^a  

^a UNIVERSITY COLLEGE LONDON   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0030506552     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.580063     Document Type: Article

References (21)

1. Diamond Films '94, edited by P. K. Bachmann, I. M. Buckley-Golder, I. T. Glass, and M. Kamo (Elsevier, New York, 1995).
2. B. A. Fox, M. L. Hartsell, D. M. Malta, H. A. Wynands, C. T. Kao, L. S. Plano, G. J. Tessmer, R. B. Henard, J. S. Holmes, A. J. Tessmer, and D. L. Dreifus, Diamond Relat. Mater. 4, 622 (1995).
3. M. A. Plano, S. Zhao, C. F. Gardinier, M. I. Landstrass, D. R. Kania, H. Kagan, K. K. Gan, R. Kass, L. S. Pan, S. Han, S. Schnetzer, and R. Stone, Appl. Phys. Lett. 64, 193 (1994).
4. T. Sugino, Y. Muto, J. Shirafuji, and K. Kobashi, Diamond Relat. Mater. 2, 797 (1993).
5. S. A. Grot, G. Sh. Gildenblat, C. W. Hatfield, C. R. Wronski, A. R. Badzian, T. Badzian, and R. Messier, IEEE Trans. Electron Device Lett. EDL-11, 100 (1990).
6. M. W. Geis, D. D. Rathman, D. J. Ehrlich, R. A. Murphy, and W. T. Lindley, IEEE Trans. Electron Device Lett. EDL-8, 341 (1987).
7. R. D. McKeag, S. S. M. Chan, C. Johnston, P. R. Chalker, and R. B. Jackman, Mater. Sci. Eng. B 29, 223 (1995).
8. S. S. M. Chan, C. Peucheret, R. D. McKeag, C. Johnston, P. R. Chalker, and R. B. Jackman, J. Appl. Phys. 78, 2877 (1995).
9. B. B. Pate, Surf. Sci. 165, 83 (1986).
10. D. S. Knight and W. B. White, J. Mater. Res. 4, 385 (1989).
11. L. E. Davis, N. C. MacDonald, P. W. Palmberg, G. E. Riach, and R. E. Weber, Handbook of Auger Spectroscopy (Perkin-Elmer, Eden Prairie, MN, 1976).
12. P. G. Lurie and J. M. Wilson, Surf. Sci. 65, 476 (1977).
13. Y. Mitsuda, T. Yamada, T. J. Chuang, H. Seki, R. P. Chin, J. Y. Huang, and Y. R. Shen, Surf. Sci. Lett. 257, L633 (1991).
14. Q. S. Chia, C. M. Younes, P. G. Partridge, G. C. Allen, P. W. May, and C. A. Rego, J. Mater, Sci. 29, 6397 (1994).
15. O. P. Bugaets, A. A. Smekhnov, and S. P. Kuzenkov, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 68, 713 (1994).
16. A. Huffman, Diamond Relat. Mater. 3, 691 (1994).
17. H. F. Steffan, C. D. Roux, D. Marton, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. B 44, 3981 (1991).
18. M. E. Schrader, Surf. Sci. 78, L227 (1978).
19. B. E. Williams and J. T. Glass, J. Mater. Res. 4, 373 (1989).
20. R. E. Thomas, R. A. Rudder, and R. J. Markunas, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 2451 (1992).
21. Y. Mori, H. Kawarada, and A. Hiraki, Appl. Phys. Lett., 58, 940 (1991).