Effects of coexistent pores and paramagnetic defects on positron annihilation in silicon oxide thin films

Journal of Applied Physics

Volumn 93, Issue 6, 2003, Pages 3340-3344

  Yu, R S ^a   Ito, K ^a   Hirata, K ^a   Zheng, W ^a   Kobayashi, Y ^a  

^a NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY AIST   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ARGON; DEFECTS; DOPPLER EFFECT; POROSITY; POSITRON ANNIHILATION SPECTROSCOPY; PROBABILITY; SILICA; SPUTTER DEPOSITION;

SPIN EXCHANGE;

THIN FILMS;

EID: 0037444940     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1555698     Document Type: Article

References (24)

1. W. Zheng, Y. Kobayashi, K. Hirata, T. Miura, T. Kobayashi, M. Iwaki, T. Oka, and Y. Hama, J. Appl. Polym. Sci. 83, 186 (2002).
2. N. Koshizaki, K. Yasumoto, and S. Terauchi, Jpn. J. Appl. Phys., Suppl. 34-1 34, 119 (1995).
3. L. C. Kimerling, K. D. Kolenbrander, J. Michel, and J. Palm, Solid State Phys. 50, 333 (1996).
4. R. D. Miller, Science 286, 421 (1999).
5. P. Asoka-Kumar. K. O. Lynn, and D. O. Welch, J. Appl. Phys. 76, 4935 (1994).
6. M. P. Petkov, M. H. Weber, K. G. Lynn, and K. P. Rodbell, Appl. Phys. Lett. 79, 3884 (2002).
7. J. N. Sun, D. W. Gidley, Y. F. Hu, W. E. Frieze, and E. T. Ryan, Appl. Phys. Lett. 81, 1447 (2002).
8. K. Hirata, H. Arai, A. Kawasuso, T. Sekiguchi, Y. Kobayashi, and S. Okada, J. Appl. Phys. 90, 237 (2001).
9. T. Izumi, K. Sato, M. Iwase, O. Butsuri, and H. Morisaki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 70, 852 (2001) (in Japanese).
10. Y. Kobayashi, W. Zheng, T. B. Chang, K. Hirata, T. Ohdaira, and K. Ito, J. Appl. Phys. 91, 1704 (2002).
11. Y. Kobayashi, I. Kojima, S. Hishita, T. Suzuki, E. Asari, and M. Kitajima, Phys. Rev. B 52, 823 (1995).
12. M. Eldrup, A. Vehanen, P. J. Schultz, and K. G. Lynn, Phys. Rev. B 32, 7048 (1985).
13. S. Valkealahti and R. M. Nieminen, Appl. Phys. A: Solids Surf. 32, 95 (1983).
14. J. Xu, J. Moxom, S. Yang, R. Suzuki, and T. Ohdaira, Chem. Phys. Lett. 364, 309 (2002).
15. W. Brandt and R. Paulin, Phys. Rev. B 5, 2430 (1972).
16. P. J. Schultz and K. G. Lynn, Rev. Mod. Phys. 60, 701 (1988).
17. H. B. Kim, T. G. Kim, J. H. Son, C. N. Whang, K. H. Chae, W. S. Lee, S. Im, and J. H. Song, J. Appl. Phys. 88, 1851 (2000).
18. Y. Nishi, Jpn. J. Appl. Phys. 10, 52 (1971).
19. A. Stesmans, J. Braet, J. Witters, and R. F. Dekeersmaecker, Surf. Sci. 141, 255 (1984).
20. H. Imai, K. Arai, J. Isoya, H. Hosono, Y. Abe, and H. Imagawa, Phys. Rev. B 48, 3116 (1993).
21. M. Fujinami and N. B. Chilton, Appl. Phys. Lett. 62, 1131 (1993).
22. G. Ghislotti, B. Nielsen, P. Asoka-Kumar, K. G. Lynn, L. F. Di Mauro, F. Comi, and R. Tonini, Appl. Phys. Lett. 70, 496 (1997).
23. R. Suzuki, Y. Kobayashi, T. Mikado, A. Matsuda, P. J. McElheny, S. Mashima, H. Ohgaki, M. Chiwaki, T. Yamazaki, and T. Tomimasu, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 30, 2438 (1991).
24. Y. J. He, M. Hasegawa, R. Lee, S. Berko, D. Adler, and A. L. Jung, Phys. Rev. B 33, 5924 (1986).