Effect of CF4 addition to Cl2/Ar on the etching of ferroelectric YMnO3

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 41, Issue 6, 2002, Pages 993-997

  Park, Jae Hwa ^a   Kim, Kyoung Tae ^a   Kim, Chang Il ^a   Chang, Eui Goo ^a  

^a Chung Ang University   (South Korea)

Author keywords

Etch; ICP; Surface passivant; YMnO3

Indexed keywords

EID: 0036946588     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (19)

1. J. F. Scott and C. A. Araujo, Science 246, 140 (1989).
2. L. Parker and A. Tasch, IEEE Circ. Dev. Mag. 17, 6 (1990).
3. T. Toshimura, N. Fujimura and D. Ito, J. Appl. Phys. 87, 3444 (2000).
4. Y. S. Yang, I. K. You, W. J. Lee, B. G. You and K. I. Cho, J. Korean Phys. Soc. 40, 701 (2002).
5. S. M. Yoon, E. Tokumitsu and H. Ishiwara, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 2289 (1999).
6. K. H. Kim, IEEE Electron Dev. Lett. 19, 204 (1998).
7. J. D. Park and T. S. Oh, J. Korean Phys. Soc. 37, 1072 (2000).
8. I. S. Choi, K. S. Park, J. S. Hut and I. H. Choi, J. Korean Phys. Soc. 39, 228 (2001).
9. D. Mou, C. S. Petterson, J. Linnros and K. V. Rao, Appl. Phys. Lett. 73, 1532 (1998).
10. S. Imada, T. Kuraoka, E. Tokumitsu and H. Ishiwara, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 666 (2001).
11. H. Kitahara, K. Tadanaga, T. Minami, N. Fujiura and T. Ito, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 5448 (1999).
12. D. C. Yoo, J. Y. Lee, I. S. Kim and Y. T. Kim, J. Crystal Growth 233, 243 (2001).
13. H. N. Lee, I. S. Kim, Y. T. Kim, S. H. Choh, W. S. Kim and H. H. Park, J. Korean Phys. Soc. 35, 1260 (1999).
14. S. H. Cho, J. H. Song, K. B. Lee and Y. H. Jeong, J. Korean Phys. Soc. 35, 1251 (1999).
15. B. J. Min, C. I. Kim and Y. T. Kim, J. Vac. Sci. Tech. A 19, 1289 (2001).
16. J. K. Jung and W. J. Lee, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1408 (2001).
17. C. T. Gabriel, J. Zheng and S. C. Abraham, J. Vac. Sci. Tech. A 15, 697 (1977).
18. C. W. Jurgensen, R. R. Kola, A. E. Novembre, W. W. Tai, J. Frackoviak, L. E. Trimble and G. K. Celler, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3280 (1991).
19. Handbook of Chemistry and Physics, edited by D. R. Lide (CRC Press, Boca Raton, 1998).