Incorporation-related structural issues for beryllium doping during growth of GaN by rf-plasma molecular-beam epitaxy

Applied Physics Letters

Volumn 79, Issue 27, 2001, Pages 4524-4526

  Ptak, A J ^a   Wang, Lijun ^a   Giles, N C ^a   Myers, T H ^a   Romano, L T ^b   Tian, C ^c   Hockett, R A ^c   Mitha, S ^c   Van Lierde, P ^c  

^a WEST VIRGINIA UNIVERSITY   (United States)

^b PALO ALTO RESEARCH CENTER   (United States)

^c CHARLES EVANS AND ASSOCIATES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035981058     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1429290     Document Type: Article

References (15)

1. M. A. Sanchez-Garcia, E. Calleja, F. J. Sanchez, F. Calle, E. Monroy, D. Basak, E. Munoz, C. Villar, A. Sanz-Hervas, M. Aguilar, J. J. Serrano, and J. M. Blanco, J. Electron. Mater. 27, 276 (1998).
2. D. J. Dewsnip, A. V. Andrianov, I. Harrison, J. W. Orton, D. E. Lacklison, G. B. Ren, S. E. Hooper, T. S. Cheng, and C. T. Foxon, Semicond. Sci. Technol. 13, 500 (1998).
3. K. H. Ploog and O. Brandt, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1609 (1998).
4. A. Salvador, W. Kim, O. Atkas, A. Botchkarev, Z. Fan, and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 69, 2692 (1996).
5. T. H. Myers, A. J. Ptak, Lijun Wang, and N. C. Giles, Inst. Pure Appli. Phys. Conf. Series 1, 451 (2000).
6. Z. Yu, S. L. Buczkowski, N. C. Giles, T. H. Myers, and M. R. Richards-Babb, Appl. Phys. Lett. 69, 2731 (1996).
7. L. T. Romano, J. E. Northrup, and M. A. O'Keefe, Appl. Phys. Lett. 69, 2394 (1996).
8. A. J. Ptak, M. R. Millecchia, T. H. Myers, K. S. Ziemer, and C. D. Stinespring, Appl. Phys. Lett. 74, 3836 (1999).
9. A. J. Ptak, T. H. Myers, L. T. Romano, C. G. Van de Walle, and J. E. Northrup, Appl. Phys. Lett. 78, 285 (2001).
10. C. G. Van de Walle, S. Limpijumnong, and J. Neugebauer, Phys. Rev. B 63, 245205 (2001).
11. B. L. VanMil, A. J. Ptak, N. C. Giles, T. H. Myers, P. J. Treado, M. P. Nelson, J. M. Ribar, and R. D. Smith, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2295 (2000).
12. V. Ramachandran, R. M. Feenstra, W. L. Sarney, L. Salamanca-Riba, J. E. Northrup, L. T. Romano, and D. W. Greve, Appl. Phys. Lett. 75, 808 (1999).
13. V. Yu. Davydov, N. S. Averkiev, I. N. Goncharuk, D. K. Nelson, I. P. Nikitina, A. S. Polkovnikov, A. N. Smirnov, and M. A. Jacobson, J. Appl. Phys. 82, 5097 (1997).
14. L. T. Romano, C. G. Van de Walle, J. W. Ager III, W. Gotz, and R. S. Kern, J. Appl. Phys. 87, 7745 (2000).
15. L. T. Romano, J. E. Northrup, A. J. Ptak, and T. H. Myers, Appl. Phys. Lett. 77, 2479 (2000).