Characterization of electron and negative ion densities in fluorocarbon containing inductively driven plasmas

Journal of Applied Physics

Volumn 90, Issue 10, 2001, Pages 4929-4937

  Hebner, G A ^a   Abraham, I C ^a  

^a SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035890951     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1410896     Document Type: Article

References (23)

1. A. Kono and K. Kato, Appl. Phys. Lett. 77, 495 (2000).
2. A. Kono and Y. Ohya, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 39, 1365 (2000).
3. M. Shindo, Y. Ueda, S. Kawakami, N. Ishii, and Y. Kawai, Vacuum 59, 708 (2000).
4. M. Shindo, S. Hiejima, Y. Ueda, S. Kawahami, N. Ishii, and Y. Kawai, Surf. Coat. Technol. 116-119, 1065 (1999).
5. M. Bacal, Rev. Sci. Instrum. 71, 3981 (2000).
6. E. Quandt, H. F. Dobele, and W. G. Graham, Appl. Phys. Lett. 72, 2394 (1998).
7. E. Quandt, I. Kraemer, and H. F. Dobele, Europhys. Lett. 45, 32 (1999).
8. G. A. Hebner and P. A. Miller, J. Appl. Phys. 87, 7660 (2000).
9. G. A. Hebner, M. G. Blain, T. W. Hamilton, C. A. Nichols, and R. L. Jarecki, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 3172 (1999).
10. P. A. Miller, G. A. Hebner, K. E. Greenberg, P. D. Pochan, and B. P. Aragon, J. Res. Natl. Insl. Stand. Technol. 100, 427 (1995).
11. P. J. Hargis, Jr., K. E. Greenberg, P. A. Miller, J. B. Gerardo, J. R. Torczynski, M. E. Riley, G. A. Hebner, J. R. Roberts, J. K. Olthoff, J. R. Whetstone, R. J. Van Brunt, M. A. Sobolewski, H. M. Anderson, M. P. Splichal, J. L. Mock, P. Bletzinger, A. Garscadden, R. A. Gottscho, G. Selwyn, M. Dalvie, J. E. Heidenreich, J. W. Butterbaugh, M. L. Brake, M. L. Passow, J. Pender, A. Lujan, M. E. Elta, D. B. Graves, H. H. Sawin, M. J. Kushner, J. T. Verdeyen, R. Horwath, and T. R Turner, Rev. Sci. Instrum. 65, 140 (1994).
12. G. A. Hebner, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2158 (1996).
13. C. B. Fleddermann and G. A. Hebner, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 1955 (1996).
14. A. Mandl, Phys. Rev. A 3, 251 (1971).
15. S. Vacquie, A. Gleizes, and M. Sabsabi, Phys. Rev. A 35, 1615 (1987).
16. M. Haverlag, A. Kono, D. Passchier, G. M. Kroesen, W. J. Goedheer, and F. J. de Hoog, J. Appl. Phys. 70, 3472 (1991).
17. L. G. Cristophorou, J. K. Olthoff, and M. V. V. S. Rao, J. Phys. Chem. Ref. Data 26, 1 (1997).
18. L. G. Cristophorou and J. K. Olthoff, J. Phys. Chem. Ref. Data 27, 1 (1998).
19. L. G. Cristophorou and J. K. Olthoff, J. Phys. Chem. Ref. Data 28, 967 (1999).
20. R. L. Stenzel. Rev. Sci. Instrum. 45, 626 (1974).
21. H. Hotop and W. C. Lineberger, J. Phys. Chem. Ref. Data 4, 539 (1975).
22. J. H. Richardson, L. M. Stephenson, and J. I. Brauman, Chem. Phys. Lett. 30, 17 (1975).
23. G. A. Hebner, J. Appl. Phys. 89, 900 (2001).