Unique polymers via radical diene cyclization: Polyspironorbornanes and their application to 193 nm microlithography

Chemical Communications

Volumn , Issue 16, 1999, Pages 1587-1588

  Meagley, Robert P ^a   Pasini, Dario ^a   Park, Linus Y ^a   Fréchet, Jean M J ^a  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALKADIENE; CAMPHOR DERIVATIVE; POLYMER; POLYSPIRONORBORNANE; RADICAL; UNCLASSIFIED DRUG;

ARTICLE; CYCLIZATION; IMAGING; LITHOGRAPHY;

EID: 0033592107     PISSN: 13597345     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/a902405k     Document Type: Article

References (21)

1. Semiconductor Industry Association (SIA), The National Technology Roadmap for Semiconductors, San Jose, CA, 1997.
2. J. M. J. Fréchet, E. Eichler, H. Ito and C. G. Willson, Polymer, 1983, 24, 995; H. Ito, C. G. Willson and J. M. J. Fréchet, US Pat. 4,491,628, 1985; C. G. Willson, H. Ito, J. M. J. Fréchet, T. G. Tessier and F. M. Houlihan, J. Electrochem. Soc., 1986, 133, 181.
3. J. M. J. Fréchet, E. Eichler, H. Ito and C. G. Willson, Polymer, 1983, 24, 995; H. Ito, C. G. Willson and J. M. J. Fréchet, US Pat. 4,491,628, 1985; C. G. Willson, H. Ito, J. M. J. Fréchet, T. G. Tessier and F. M. Houlihan, J. Electrochem. Soc., 1986, 133, 181.
4. J. M. J. Fréchet, E. Eichler, H. Ito and C. G. Willson, Polymer, 1983, 24, 995; H. Ito, C. G. Willson and J. M. J. Fréchet, US Pat. 4,491,628, 1985; C. G. Willson, H. Ito, J. M. J. Fréchet, T. G. Tessier and F. M. Houlihan, J. Electrochem. Soc., 1986, 133, 181.
5. S. A. MacDonald, C. G. Willson and J. M. J. Fréchet, Acc. Chem. Res., 1994, 27, 151.
6. R. R. Kunz, R. D. Allen, W. D. Hinsberg and G. M. Wallraff, Proc. SPIE, 1993, 1925, 167; R. D. Allen, G. M. Wallraff, W. D. Hinsberg, W. E. Conley and R. R. Kunz J. Photopolym. Sci. Technol., 1993, 6, 575; R. R. Kunz, S. C. Palmateer, A. R. Forte, R. D. Allen, G. M. Wallraff, R. A. DiPietro and D. C. Hofer, Proc. SPIE, 1996, 2724, 365.
7. R. R. Kunz, R. D. Allen, W. D. Hinsberg and G. M. Wallraff, Proc. SPIE, 1993, 1925, 167; R. D. Allen, G. M. Wallraff, W. D. Hinsberg, W. E. Conley and R. R. Kunz J. Photopolym. Sci. Technol., 1993, 6, 575; R. R. Kunz, S. C. Palmateer, A. R. Forte, R. D. Allen, G. M. Wallraff, R. A. DiPietro and D. C. Hofer, Proc. SPIE, 1996, 2724, 365.
8. R. R. Kunz, R. D. Allen, W. D. Hinsberg and G. M. Wallraff, Proc. SPIE, 1993, 1925, 167; R. D. Allen, G. M. Wallraff, W. D. Hinsberg, W. E. Conley and R. R. Kunz J. Photopolym. Sci. Technol., 1993, 6, 575; R. R. Kunz, S. C. Palmateer, A. R. Forte, R. D. Allen, G. M. Wallraff, R. A. DiPietro and D. C. Hofer, Proc. SPIE, 1996, 2724, 365.
9. H. Gokan, S. Esho and Y. Ohnishi, J. Electrochem. Soc., 1983, 130, 143.
10. F. M. Houlihan, T. I. Wallow, O. Nalamasu and E. Reichmanis, Macromolecules, 1997, 30, 6517; S.-J. Choi, Y. Kang, D.-W. Jung, C.-G. Park and J.-T. Moon, Proc. SPIE, 1997, 3049, 104; U. Okoroanyanwu, T. Shimokawa, J. Byers and C. G. Willson, Chem. Mater., 1998, 10, 3319; U. Okoroanyanwu, J. Byers, T. Shimokawa and C. G. Willson, Chem. Mater., 1998, 10, 3328.
11. F. M. Houlihan, T. I. Wallow, O. Nalamasu and E. Reichmanis, Macromolecules, 1997, 30, 6517; S.-J. Choi, Y. Kang, D.-W. Jung, C.-G. Park and J.-T. Moon, Proc. SPIE, 1997, 3049, 104; U. Okoroanyanwu, T. Shimokawa, J. Byers and C. G. Willson, Chem. Mater., 1998, 10, 3319; U. Okoroanyanwu, J. Byers, T. Shimokawa and C. G. Willson, Chem. Mater., 1998, 10, 3328.
12. F. M. Houlihan, T. I. Wallow, O. Nalamasu and E. Reichmanis, Macromolecules, 1997, 30, 6517; S.-J. Choi, Y. Kang, D.-W. Jung, C.-G. Park and J.-T. Moon, Proc. SPIE, 1997, 3049, 104; U. Okoroanyanwu, T. Shimokawa, J. Byers and C. G. Willson, Chem. Mater., 1998, 10, 3319; U. Okoroanyanwu, J. Byers, T. Shimokawa and C. G. Willson, Chem. Mater., 1998, 10, 3328.
13. F. M. Houlihan, T. I. Wallow, O. Nalamasu and E. Reichmanis, Macromolecules, 1997, 30, 6517; S.-J. Choi, Y. Kang, D.-W. Jung, C.-G. Park and J.-T. Moon, Proc. SPIE, 1997, 3049, 104; U. Okoroanyanwu, T. Shimokawa, J. Byers and C. G. Willson, Chem. Mater., 1998, 10, 3319; U. Okoroanyanwu, J. Byers, T. Shimokawa and C. G. Willson, Chem. Mater., 1998, 10, 3328.
14. Q. J. Niu and J. M. J. Fréchet, Angew. Chem., Int. Ed., 1998, 37, 667.
15. G. B. Butler, Encyclopedia of Polymer Science and Engineering, ed. J. I. Kroschwitz, Wiley, New York, 1986, vol. 4, p. 543.
16. C. S. Marvel and R. D. West, J. Am. Chem. Soc., 1957, 79, 5771.
17. L. J. Mathias, Trends Polym. Sci., 1996, 10, 330; L. J. Mathias, R. M. Warren and S. Huang, Macromolecules, 1991, 24, 2036; T. Tsuda and L. J. Mathias, Macromolecules, 1993, 26, 6359.
18. L. J. Mathias, Trends Polym. Sci., 1996, 10, 330; L. J. Mathias, R. M. Warren and S. Huang, Macromolecules, 1991, 24, 2036; T. Tsuda and L. J. Mathias, Macromolecules, 1993, 26, 6359.
19. L. J. Mathias, Trends Polym. Sci., 1996, 10, 330; L. J. Mathias, R. M. Warren and S. Huang, Macromolecules, 1991, 24, 2036; T. Tsuda and L. J. Mathias, Macromolecules, 1993, 26, 6359.
20. F. Jahanzad, M. Kazemi, S. Sajjadi and F. Taromi, Polymer, 1993, 34, 3542.
21. 2).