Highly selective etching of silicon nitride over silicon and silicon dioxide

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 17, Issue 6, 1999, Pages 3179-3184

  Kastenmeier, B E E ^a   Matsuo, P J ^a   Oehrlein, G S ^a  

^a STATE UNIVERSITY OF NEW YORK   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0033444157     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.582097     Document Type: Article

References (16)

1. N. Hayasaka, H. Okano, and Y. Horiike, Solid State Technol. 31, 127 (1988).
2. B. E. E. Kastenmeier, P. J. Matsuo, J. J. Beulens, and G. S. Oehrlein, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2802 (1996).
3. M. G. Blain, T. L. Meisenheimer, and J. E. Stevens, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2151 (1996).
4. P. J. Matsuo, B. E. E. Kastenmeier, J. J. Beulens, and G. S. Oehrlein, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 1801 (1997).
5. B. E. E. Kastenmeier, P. J. Matsuo, G. S. Oehrlein, and J. G. Langan, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 2047 (1998).
6. C. J. Mogab, A. C. Adams, and D. L. Flamm, J. Appl. Phys. 49, 3796 (1978).
7. P. J. Matsuo, B. E. E. Kastenmeier, G. S. Oehrlein, and J. G. Langan, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2431 (1999).
8. R. A. Gottscho, C. W. Jurgensen, and D. J. Vitkavage, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2133 (1992).
9. J. A. Barkanic, D. M. Reynolds, R. J. Jaccodine, H. G. Stenger, J. Parks, and H. Vedage, Solid State Technol. 32, 109 (1989).
10. N. J. Ianno, K. E. Greenberg, and J. T. Verdeyen, J. Electrochem. Soc. 128, 2174 (1981).
11. R. M. Reese and V. H. Dibeler, J. Chem. Phys. 24, 1175 (1956).
12. J. C. J. Thynne, J. Phys. Chem. 63, 1586 (1969).
13. L. G. Christophorou, A. J. K. Olthoff, and M. V. V. S. Rao, J. Phys. Chem. Ref. Data 25, 1341 (1996).
14. B. E. E. Kastenmeier, P. J. Matsuo, G. S. Oehrlein, and J. G. Langan (unpublished).
15. V. M. Donnelly, D. L. Flamm, W. C. Dautremont-Smith, and D. J. Werder, J. Appl. Phys. 55, 242 (1984).
16. R. E. Walkup, K. L. Saenger, and G. S. Selwyn, J. Chem. Phys. 84, 2668 (1986).