The optically active center and its activation process in Er-doped Si thin film produced by laser ablation

Journal of Applied Physics

Volumn 85, Issue 8 I, 1999, Pages 4024-4031

  Ishii, Masashi ^a   Ishikawa, Tetsuya ^a,e   Ueki, Tatzuo ^a   Komuro, Shuji ^b   Morikawa, Takitaro ^b   Aoyagi, Yoshinobu ^c   Oyanagi, Hiroyuki ^d  

^a JAPAN SYNCHROTRON RADIATION RESEARCH INSTITUTE   (Japan)

^b TOYO UNIVERSITY   (Japan)

^c RIKEN   (Japan)

^d ELECTROTECHNICAL LABORATORY   (Japan)

^e RIKEN HARIMA INSTITUTE   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; CRYSTAL GROWTH FROM MELT; CRYSTAL SYMMETRY; DOPING (ADDITIVES); ERBIUM; LASER ABLATION; PHOTOLUMINESCENCE; PROBABILITY; SEMICONDUCTING SILICON; THIN FILMS; X RAY ANALYSIS;

EXTENDED X RAY ABSORPTION FINE STRUCTURE (EXAFS) ANALYSIS; MULTIPLE SCATTERING THEORY; X RAY ABSORPTION NEAR-EDGE STRUCTURE (XANES);

SEMICONDUCTING FILMS;

EID: 0032615229     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.370306     Document Type: Article

References (44)

1. Y. H. Xie, E. A. Fitzgerald, and Y. J. Mii, J. Appl. Phys. 70, 3223 (1991).
2. B. Zheng, J. Michel, F. Y. G. Ren, and L. C. Kimerling, Appl. Phys. Lett. 64, 2842 (1994).
3. G. S. Pomrenke, J. Appl. Phys. 59, 601 (1985).
4. H. Ennen, J. Wagner, H. D. Muller, and R. S. Smith, J. Appl. Phys. 61, 4877 (1987).
5. R. S. Smith, H. D. Muller, H. Ennen, P. Wennekers, and M. Maier, Appl. Phys. Lett. 50, 49 (1987).
6. J. E. Colon, D. W. Elsaesser, Y. K. Yeo, R. L. Hengehold, and G. S. Pomrenke, Appl. Phys. Lett. 63, 216 (1993).
7. R. G. Wilson, R. N. Schwartz, C. R. Abernathy, S. J. Pearton, N. Newman, M. Rubin, T. Fu, and J. M. Zavada, Appl. Phys. Lett. 65, 992 (1994).
8. W. J. Choyke, R. P. Devaty, L. L. Clemen, M. Yoganathan, G. Pensl, and C. Hassler, Appl. Phys. Lett. 65, 1668 (1994).
9. L. Kou, D. C. Hall, and H. Wu, Appl. Phys. Lett. 72, 3411 (1998).
10. A. Polman, A. Lidgard, D. C. Jacobson, P. C. Becker, R. C. Kistler, G. E. Blonder, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 57, 2859 (1990).
11. K. Takahei and A. Taguchi, J. Appl. Phys. 74, 1979 (1993).
12. J. S. Custer, A. Polman, and H. M. van Pinxteren, J. Appl. Phys. 75, 2809 (1994).
13. M. S. Bresler, O. B. Gusev, V. K. Kudoyarova, A. N. Kuznetsov, P. E. Park, E. I. Terukov, I. N. Yassievich, and B. P. Zakharchenya, Appl. Phys. Lett. 67, 3599 (1995).
14. H. Przybylinska, W. Jantsch, Y. Suprun-Belevitch, M. Stepikhova, L. Palmetshofer, G. Hendorfer, A. Kozanecki, R. J. Wilson, and B. J. Sealy, Phys. Rev. B54, 2532 (1996).
15. S. Coffa, G. Franzo, F. Priolo, A. Polman, and R. Serna, Phys. Rev. B 49, 16313 (1994).
16. J. H. Shin, G. N. van den Hovan, and A. Polman, Appl. Phys. Lett. 67, 377 (1995).
17. J. Palm, F. Gan, B. Zheng, J. Michel, and L. C. Kimerling, Phys. Rev. B 54, 17603 (1996).
18. M. Fujii, M. Yoshida, Y. Kanzawa, S. Hayashi, and K. Yamamoto, Appl. Phys. Lett. 71, 1198 (1997).
19. P. N. Favennec, Electron. Lett. 25, 718 (1989).
20. T. Oestereich, C. Swiatkowski, and I. Broser, Appl. Phys. Lett. 56, 446 (1990).
21. A. R. Zanatta and L. A. O. Nunes, Appl. Phys. Lett. 71, 3679 (1997).
22. T. Kimura, A. Yokoi, H. Horiguchi, R. Saito, T. Ikoma, and A. Sato, Appl. Phys. Lett. 65, 983 (1994).
23. X. W. Zhao, S. Olaf, S. Komuro, Y. Aoyagi, and T. Sugano, Phys. Rev. B 50, 18654 (1994).
24. S. Komuro, T. Kato, T. Morikawa, P. O'keeffe, and Y. Aoyagi, Appl. Phys. Lett. 68, 949 (1996).
25. S. Komuro, Y. Aoyagi, T. Morikwa, and S. Namba, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 27, L34 (1988).
26. P. O'Keeffe, S. Komuro, S. Den, T. Morikawa, and Y. Aoyagi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 30, L834 (1991).
27. S. Komuro, T. Katsumata, T. Morikawa, X. Zhao, H. Isshiki, and Y. Aoyagi, Appl. Phys. Lett. 74, 377 (1999).
28. P. N. Favennec, H. L'Haridon, D. Moutonnet, M. Salvi, and M. Gauneau, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 29, L524 (1990).
29. K. Takahei and A. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 709 (1994).
30. D. L. Adler, D. C. Jacobson, D. J. Eaglesham, M. A. Marcus, J. L. Benton, J. M. Poate, and P. H. Citrin, Appl. Phys. Lett. 61, 2181 (1992).
31. P. M. Peters and S. N. Houde-Walter, Appl. Phys. Lett. 70, 541 (1997).
32. A. Terrasi, G. Franzo, S. Coffa, F. Priolo, F. D'Acapito, and S. Mabillo, Appl. Phys. Lett. 70, 1712 (1997).
33. S. Komuro, S. Maruyama, T. Morikawa, X. Zao, H. Isshiki, and Y. Aoyagi, Appl. Phys. Lett. 69, 3896 (1996).
34. H. Kitamura, Rev. Sci. Instrum. 66, 2007 (1994).
35. I. Watanabe, H. Tanida, and S. Kawauchi, J. Am. Chem. Soc. 119, 12018 (1997).
36. H. Maeda, J. Phys. Soc. Jpn. 56, 2777 (1987).
37. A. G. McKale, B. W. Veal, A. P. Paulikas, S.-K. Chan, and G. S. Knapp, J. Am. Chem. Soc. 110, 3763 (1988).
38. T. Fujikawa, J. Phys. Soc. Jpn. 52, 4001 (1983).
39. T. Fujikawa, J. Phys. Soc. Jpn. 55, 3244 (1986).
40. T. Fujikawa and N. Yiwata, Surf. Sci. 357,358, 60 (1996).
41. V. F. Masterov, F. S. Nasredinov, P. P. Seregin, V. K. Kudoyarova, A. N. Kuznetsov, and E. I. Terukov, Appl. Phys. Lett. 72, 728 (1998).
42. K. Hafidi, Y. Ijdiyaou, M. Azizan, E. L. Ameziane, A. Outzourhit, T. A. Nguyen, and M. Brunel, Appl. Surf. Sci. 108, 251 (1997).
43. R. S. Roth and S. J. Schneider, J. Res. Natl. Bur. Stand., Sect. A 64, 309 (1960).
44. T. Yamamoto, T. Tanaka, T. Matsuyama, T. Funabiki, and S. Yoshida (to be published).