Nanoindentation investigation of Ti/TiN multilayers films

Journal of Applied Physics

Volumn 87, Issue 11, 2000, Pages 7753-7757

  Daia, M Ben ^a   Aubert, P ^a   Labdi, S ^a   Sant, C ^a   Sadi, F A ^a   Houdy, Ph ^a   Bozet, J L ^b  

^a UNIVERSITÉ D EVRY VAL D ESSONNE   (France)

^b UNIVERSITY OF LIÈGE   (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0009909056     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.373450     Document Type: Article

References (31)

1. W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res. 7, 1564 (1992).
2. S. Veprek, S. Reiprich, and L. Shizhi, Appl. Phys. Lett. 66, 2640 (1995).
3. M. Shinn, L. Hultman, and S. A. Barnett, J. Mater. Res. 7, 901 (1992).
4. A. Misra, H. Kung, T. E. Mitchell, T. R. Jervis, and M. Nastasi, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 505, 583 (1998).
5. E. Krzanowski, Scr. Metall. Mater. 25, 1465 (1991).
6. J. S. Koehler, Phys. Rev. B 2, 547 (1970).
7. S. L. Lehoczky, Phys. Rev. Lett. 41, 1814 (1978).
8. X. Chu and S. A. Barnett, J. Appl. Phys. 77, 4403 (1995).
9. K. K. Shih and D. B. Dove, Appl. Phys. Lett. 61, 656 (1992).
10. E. O. Hall, Proc. Phys. Soc. London, Sect. B 64, 747 (1951).
11. S. J. Bull and A.M. Jones, Surf. Coat. Technol. 78, 173 (1996).
12. M. C. Simmonds, H. Van Swygeenhoven, E. Pfüger, A. Savan, R. Hauert, L. Knoblauch, and S. Mikhailov, Surf. Coat. Technol. 94-95, 490 (1997).
13. A. J. Craven, C. P. Scott, M. MacKenzie, P. Hatto, and C. Davies, Surf. Coat. Technol. 108-109, 217 (1998).
14. S. Labdi, Ph. Houdy, P. Psyllaki, and M. Jeandin, Thin Solid Films 275, 213 (1996).
15. N. X. Randall, C. Julia-Schmutz, J. M. Soro, J. von Stebut, and G. Zacharie, Thin Solid Films 308-309, 297 (1997).
16. T. W. Scharf and J. A. Barnard, Thin Solid Films 308-309, 340 (1997).
17. M. Bromark, M. Larsson, P. Hedenqvist, and S. Hogmark, Surf. Coat. Technol. 90, 217 (1997).
18. X. Chu, M. S. Wong, W. D. Sproul, and S. A. Barnett, J. Mater. Res. 14, 2500 (1999).
19. X. Chu, M. S. Wong, W. D. Sproul, and S. A. Barnett, Surf. Coat. Technol. 61, 251 (1993).
20. A. Karimi, O. R. Shojaei, T. Kruml, and J. L. Martin, Thin Solid Films 308-309, 334 (1997).
21. P. B. Mirkarimi, S. A. Barnett, K. M. Hubbard, T. R. Jervis, and L. Hultman, J. Mater. Res. 9, 1456 (1994).
22. H. Gleisler, K. O. Schweitz, J. Chevallier, J. Bottiger, and K. Samwer, Philos. Mag. A 79, 485 (1999).
23. A. Madan, Y.-y. Wang, S. A. Barnett, C. Engström, H. Ljungcrantz, L. Hultman, and M. Grimsditch, J. Appl. Phys. 84, 776 (1998).
24. E. Kusano, M. Kitagawa, H. Nanto, and A. Kinbara, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 505, 577 (1998).
25. W. M. C. Yang, T. Tsakalakos, and J. E. Hilliard, J. Appl. Phys. 48, 876 (1977).
26. U. Helmersson, S. Torodova, S. A. Barnett, J. E. Sundgren, L. C. Markert, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. 62, 481 (1987).
27. M. K. Small, B. J. Daniels, B. M. Clemens, and W. D. Nix, Appl. Phys. Lett. 64, 61 (1994).
28. N. J. Fetch, J. Iron Steel Inst., London 174, 25 (1953).
29. A. Kelly, Philos. Trans. R. Soc. London, Ser. A 322, 409 (1987).
30. J. Lépinoux, Solid State Phenom. 59-60, 115 (1998).
31. P. M. Anderson, T. Foecke, and P. M. Hazzledine, MRS Bull. 24, 27 (1999).