Low-temperature-grown GaAs enhanced wet thermal oxidation of Al0.98Ga0.02As

Applied Physics Letters

Volumn 73, Issue 18, 1998, Pages 2624-2626

  Reese, H ^a   Chiu, Y J ^a   Hu, E ^a  

^a University of California   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0009765322     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.122526     Document Type: Article

References (11)

1. K. D. Choquette, K. M. Geib, H. C. Hui, B. E. Hammons, H. Q. Hou, and T. J. Drummond, Appl. Phys. Lett. 69, 1375 (1996).
2. K. D. Choquette, K. M. Geib, C. I. H. Ashby, R. D. Twesten, O. Blum, H. Q. Hou, D. M. Follstaedt, B. E. Hammons, D. Mathes, and R. Hull, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 3, 916 (1997).
3. J. H. Kim, D. H. Lim, K. S. Kim, G. M. Yang, K. Y. Lim, and H. J. Lee, Appl. Phys. Lett. 69, 3357 (1996).
4. R. L. Naone and L. A. Coldren, J. Appl. Phys. 82, 2277 (1997).
5. F. A. Kish, S. A. Maranowski, G. E. Hofler, N. Holonyak, Jr., S. J. Caracci, J. M. Dallesasse, and K. C. Hsieh, Appl. Phys. Lett. 60, 3165 (1992).
6. O. Blum, C. I. H. Ashby, and H. Q. Hou, Appl. Phys. Lett. 70, 2870 (1997).
7. C. H. Chen, E. L. Hu, U. K. Mishra, and J. P. Ibbetson, Appl. Phys. Lett. 69, 1728 (1996).
8. T. W. Fan, J. B. Liang, H. J. Deng, R. G. Li, Z. G. Wang, and W. Gen, J. Cryst. Growth 143, 354 (1994).
9. K. Mahalingam, N. Otsuka, M. Melloch, J. Woodall, and A. Warren, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 2328 (1991).
10. J. S. Tsang, C. P. Lee, K. L. Tsai, C. M. Tsai, and J. C. Fan, J. Appl. Phys. 79, 664 (1996).
11. P. Parikh, Doctoral thesis, University of California at Santa Barbara, 1998, Chs. 4 and 5.