Barrier-layer-thickness control of selective wet oxidation of AlGaAs for embedded optical elements

Applied Physics Letters

Volumn 70, Issue 21, 1997, Pages 2870-2872

  Blum, O ^a   Ashby, C I H ^a   Hou, H Q ^a  

^a SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0006633729     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.119028     Document Type: Article

References (9)

1. J. M. Dallesasse, N. Holonyak, Jr., A. R. Sugg, T. A. Richard, and N. El-Zein, Appl. Phys. Lett. 57, 2844 (1990).
2. D. L. Huffaker, D. G. Deppe, K. Kumar, and T. J. Rogers, Appl. Phys. Lett. 65, 97 (1994).
3. O. Blum, K. L. Lear, H. Q. Hou, and M. E. Warren, Electron. Lett. 32, 1406 (1996).
4. O. Blum, S. P. Kilcoyne, M. E. Warren, T. C. Du, K. L. Lear, R. P. Schneider, Jr., and R. F. Carson, Electron. Lett. 31, 44 (1995).
5. K. D. Choquette, R. P. Schneider, Jr., K. L. Lear, and K. M. Geib, Electron. Lett. 30, 2043 (1994).
6. E. R. Hegblom, D. I. Babic, B. J. Thibeault, and L. A. Coldren, Appl. Phys. Lett. 68, 1757 (1996).
7. R. D. Twesten, D. M. Follstaedt, K. D. Choquette, and R. P. Schneider, Jr., Appl. Phys. Lett. 69, 19 (1996).
8. A. Rim and R. Beserman, J. Appl. Phys. 74, 897 (1993).
9. S. Yu, U. M. Gosele, and T. Y. Tan, J. Appl. Phys. 66, 2952 (1989).