Erbium implanted thin film photonic materials

Journal of Applied Physics

Volumn 82, Issue 1, 1997, Pages 1-39

  Polman, A ^a  

^a FOM INSTITUTE AMOLF   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0006412205     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.366265     Document Type: Article

References (166)

1. S. Hüfner, Optical Spectra of Transparent Rare-earth Compounds (Academie, New York, 1978).
2. P. J. Mears, L. Reekie, I. M. Jauncey, and D. N. Payne, Electron. Lett. 23, 1026 (1987).
3. E. Desurvire, R. J. Simpson, and P. C. Becker, Opt. Lett. 12, 888 (1987).
4. E. Desurvire, Sci. Am. (Int. Ed.) 266, 96 (1992).
5. A. M. Glass, Phys. Today 46, 34 (1993).
6. E. Desurvire, Phys. Today 47, 20 (1994).
7. R. E. Tench, presented at the OSA Conference on Optical Amplifiers and their Applications, Monterey, CA, 1996.
8. N. Bergano, Optical Amplifiers and their Applications, 1996 Technical Digest Vol. 11 (Optical Society of America, Washington, DC, 1996), p. 6.
9. Recent new results may be found on the following Internet site: http:// www.amolf.nl
10. S. Coffa, Mat. Sci. Eng. Rep. (to be published).
11. Rare Earth Doped Semiconductors II, edited by S. Coffa, A. Polman, and R. N. Schwartz, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 422, (1996).
12. A. Polman, D. C. Jacobson, D. J. Eaglesham, R. C. Kistler, and J. M. Poate, J. Appl. Phys. 70, 3778 (1991).
13. J. P. Biersack and L. J. Haggmark, Nucl. Instrum. Methods 174, 257 (1980).
14. E. Radius, Ms. thesis, FOM-Institute for Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, 1994.
15. A. Polman, D. C. Jacobson, D. J. Eaglesham. R. C. Kistler, and J. M. Poate, J. Appl. Phys. 70, 3778 (1991).
16. E. Snoeks, T. Weber, A. Cacciato, and A. Polman, J. Appl. Phys. 78, 4723 (1995).
17. C. Shi, M. Tan, T. A. Tombrello, J. Non-Cryst. Solids 104, 85 (1988).
18. U. Katenkamp, H. Karge, and R. Prager, Radiat. Eff. 48, 31 (1980).
19. G. W. Arnold and P. Mazzoldi, in Ion Beam Modification of Insulators, edited by P. Mazzoldi and G. W. Arnold (Elsevier, Amsterdam, 1987), Chap. 5.
20. A. Polman, D. C. Jacobson, A. Lidgard, J. M. Poate, and G. W. Arnold, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 59/60, 1313 (1991).
21. A. Polman and J. M. Poate, J. Appl. Phys. 73, 1669 (1993).
22. E. P. Eernisse and C. B. Norris, J. Appl. Phys. 45, 5196 (1974).
23. S. Chengru, M. Tan, and T. A. Tombrello, J. Non-Cryst. Solids 104, 85 (1988).
24. R. A. B. Devine, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 46, 244 (1990).
25. M. Antonini, P. Camagni, P. N. Gibson, and A. Manara, Radiat. Eff. 65, 41 (1982).
26. W. Primak and R. Kampwirth, J. Appl. Phys. 39, 5651 (1968).
27. H. Matzke, in Ref. 19, p. 501.
28. D. L. Griscom and E. J. Friebele, Radiat. Eff. 65, 63 (1982).
29. S. Karasawa, N. Horiuchi, and T. Takada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 47, 404 (1990).
30. H. Bock, J. Siehs, and N. Vana, Radiat. Eff. 65, 75 (1982).
31. C. H. Henry, G. E. Blonder, and R. F. Kazarinov, J. Lightwave Technol. 7, 1530 (1989).
32. R. V. Ramaswamy and R. Srivastava, J. Lightwave Technol. 6, 984 (1988).
33. E. Snoeks, G. N. van den Hoven, and A. Polman, J. Appl. Phys. 73, 8179 (1993).
34. E. Snoeks, Ph.D. thesis, FOM-Institute for Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, 1995.
35. W. J. Miniscalco, J. Lightwave Technol. 9, 234 (1991).
36. J. C. Wright, in Radiationless Processes in Molecules and Condensed Phases, edited by F. K. Fong (Springer, Heidelberg, 1976), Chap. 4.
37. F. P. Auzel, in Radiationless Processes, edited by B. DiBartolo (Plenum, New York, 1980).
38. E. Snoeks, P. G. Kik, and A. Polman, Opt. Mater. 5, 159 (1996).
39. Y. Yan, A. J. Faber, and H. de Waal, J. Non-Cryst. Solids 181, 283 (1995).
40. A. J. Bruce, W. A. Reed, A. E. Neeves, L. R. Copeland, W. H. Grodkiewicz, and A. Lidgard, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 244, 157 (1992).
41. F. F. Morehead and B. L. Crowder, Radiat. Eff. 6, 27 (1970).
42. D. L. Griscom, G. H. Sigel, Jr., and G. L. Ginther, J. Appl. Phys. 47, 960 (1976).
43. M. A. Marcus and A. Polman, J. Non-Cryst. Solids 136, 260 (1991).
44. E. Snoeks, G. N. van den Hoven, A. Polman, B. Hendriksen, M. B. J. Diemeer, and F. Priolo, J. Opt. Soc. Am. B 12, 1470 (1995).
45. N. H. G. Baken, M. B. S. Diemeer, J. M. van Splunter, and H. Blok, J. Lightwave Technol. 8, 576 (1990).
46. L. Cognolato, D. de Bernardi, M. Ferraris, A. Gnazzo, S. Morasca, and D. Scarano, CSELT Tech. Rep. XIX, 277 (1991); W. J. Miniscalco, J. Lightwave Technol. 9, 234 (1991).
47. L. Cognolato, D. de Bernardi, M. Ferraris, A. Gnazzo, S. Morasca, and D. Scarano, CSELT Tech. Rep. XIX, 277 (1991); W. J. Miniscalco, J. Lightwave Technol. 9, 234 (1991).
48. J. J. G. M. van der Toi, J. W. Verhoof, M. B. J. Diemeer, and E. C. M. Pennings, Electron. Lett. 27, 379 (1991).
49. A. M. Vredenberg (private communication).
50. J. Nilsson, P. Blixt, B. Jaskorzynska, and J. Babonas, J. Lightwave Technol. 13, 341 (1995).
51. J. E. Roman, M. Hempstead, C. C. Ye, P. Camy, P. Laborde, and C. Lerminiaux, Appl. Phys. Lett. 67, 470 (1995).
52. E. Snoeks, G. N. van den Hoven, and A. Polman, IEEE J. Quantum Electron. 32, 1680 (1996).
53. M. J. F. Digonnet, IEEE J. Quantum Electron. 26, 1788 (1990).
54. E. Snoeks, A. Lagendijk, and A. Polman, Phys. Rev. Lett. 74, 2459 (1995).
55. M. K. Smit, Ph.D. thesis, Delft University of Technology, The Netherlands, 1991.
56. E. C. M. Pennings, G. H. Manhoudt, and M. K. Smit, Electron. Lett. 24, 998 (1998).
57. C. W. White, C. J. McHargue, P. S. Sklad, L. A. Boatner, and G. C. Farlow, Mater. Sci. Rep. 4, 41 (1989).
58. Y. Chen, M. M. Abraham, and D. F. Pedraza, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 59/60, 1163 (1991),
59. M. K. Smit, G. A. Acket, and C. J. van der Laan, Thin Solid Films, Electron. Opt. 138, 171 (1986).
60. G. N. van den Hoven, E. Snoeks, A. Polman, C. van Dam, J. W. M. van Uffelen, and M. K. Smit, Appl. Phys. Lett. 62, 3065 (1993).
61. G. N. van den Hoven, Ph.D. thesis, FOM-Institute for Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, 1996.
62. D. E. McCumber, Phys. Rev. A 136, 954 (1964).
63. W. J. Miniscalco and R. S. Quimby, Opt. Lett. 16, 258 (1991).
64. G. N. van den Hoven, J. A. van der Elsken, A. Polman, C. van Dam, J. W. M. van Uffelen, and M. K. Smit, Appl. Opt. (in press).
65. W. L. Barnes, R. I. Laming, E. J. Tarbox, and P. R. Morkel, IEEE J. Quantum Electron. 27, 1004 (1991).
66. G. N. van den Hoven, E. Snoeks, A. Polman, C. van Dam, J. W. M. van Uffelen, and M. K. Smit, J. Appl. Phys. 79, 1258 (1995).
67. H. Schober, D. Strauch, and B. Dorner, Z. Phys. B 92, 273 (1993).
68. S. A. Pollack and D. B. Chang, J. Appl. Phys. 64, 2885 (1988).
69. T. H. Hoekstra, P. V. Lambeck, H. Albers, and Th. J. A. Popma, Electron. Lett. 29, 581 (1993).
70. T. H. Hoekstra, Ph.D. thesis, University of Twente, The Netherlands, 1994.
71. W. F. Krupke, Phys. Rev. 145, 325 (1966).
72. H. Schober, D. Strauch, and B. Dorner, Z. Phys. B 92, 273 (1993).
73. A. J. Silversmith, W. Lenth, and R. M. Macfarlane, Appl. Phys. Lett. 51, 1977 (1987).
74. S. A. Pollack and D. B. Chang, J. Appl. Phys. 64, 2885 (1988).
75. D. C. Yeh, W. A. Sibley, I. Schneider, R. S. Afzal, and I. Aggarwal, J. Appl. Phys. 69, 1648 (1991).
76. P. Xie and S. C. Rand, Opt. Lett. 17, 1198 (1992).
77. M. P. Hehlen, G. Frei, and H. U. Güdel, Phys. Rev. B 50, 16 264 (1994).
78. A. C. Trapper, J. N. Carter, R. D. T. Lauder, D. C. Hanna, S. T. Davey, and D. Szebesta, J. Opt. Soc. Am. B 11, 886 (1994).
79. M. Lui, R. A. Macfarlane, D. Yap, and D. Lederman, Electron. Lett. 29, 172 (1993).
80. L. Zhang, P. D. Townsend, P. J. Chandler, and A. J. Silversmith, Electron. Lett. 30, 1063 (1994).
81. G. N. van den Hoven, A. Polman, C. van Dam, J. W. M. van Uffelen, and M. K. Smit, Appl. Phys. Lett. 68, 1886 (1996).
82. L. B. Soldano and E. C. M. Pennings, J. Lightwave Technol. 13, 615 (1995), and references therein.
83. G. N. van den Hoven, A. Polman, C. van Dam, J. W. M. van Uffelen, and M. K. Smit, Opt. Lett. 21, 577 (1996).
84. G. Nykolak, M. Haner, P. C. Becker, J. Shmulovich, and Y. H. Wong, IEEE Photonics Technol. Lett. 5, 1185 (1993).
85. K. Hattori, T. Kitagawa, M. Oguma, Y. Ohmori, and M. Horiguchi, Electron. Lett. 30, 856 (1994).
86. M. Hempstead, J. E. Román, C. C. Ye, J. S. Wilkinson, P. Camy, P. Laborde, and C. Lerminiaux, Proceedings of the 7th European Conference on Integrated Optics, Delft, April 1995, p. 233.
87. D. Barbier, P. Gastaldo, B. Hyde, J. M. Jouanno, and A. Kevorkian, in Ref. 85, p. 241.
88. E. C. M. Pennings, R. J. Den, A. Scherer, R. Bhat, T. R. Hayes, N. C. Andreadakis, M. K. Smit, L. B. Soldano, and R. J. Hawkins, Appl. Phys. Lett. 59, 1926 (1991).
89. R. Adar, C. H. Henry, R. F. Kazarinov, R. C. Kistler, and G. R. Weber, J. Lightwave Technol. 10, 46 (1992).
90. R. M. Jenkins, J. M. Heaton, D. R. Wight, J. T. Parker, J. C. H. Birbeck, G. W. Smith, and K. P. Hilton, Appl. Phys. Lett. 64, 684 (1994).
91. M. Bachmann, P. A. Besse, and H. Melchior, Appl. Opt. 33, 3905 (1994).
92. E. Yablonovitch, J. Opt. Soc. Am. B 11, 283 (1993).
93. R. Brinkmann, W. Sohler, and H. Suche, Electron. Lett. 27, 415 (1991).
94. P. Becker, R. Brinkmann, M. Dinand, W. Sohler, and H. Suche, Appl. Phys. Lett. 61, 1257 (1992).
95. M. Fleuster, Ch. Buchal, E. Snoeks, and A. Polman, Appl. Phys. Lett. 65, 225 (1994).
96. M. Fleuster, Ch. Buchal, E. Snoeks, and A. Polman, J. Appl. Phys. 75, 173 (1994).
97. M. Fleuster, Ph.D. thesis, Forschungszentrum Jülich, Jülien, Germany, 1994.
98. L. Rebouta, M. F. da Silva, J. C. Soares, J. A. Sanz-Garcia, E. Dieguez, and F. Augullo-Lopez, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 64, 189 (1992).
99. T. Gog, M. Griebenow, and G. Materlik, Phys. Lett. A 181, 417 (1993).
100. Y.-H. Xie, E. A. Fitzgerald, and Y. J. Mu, J. Appl. Phys. 70, 3223 (1991).
101. A. Polman, J. S. Custer, E. Snoeks, and G. N. van den Hoven, Appl. Phys. Lett. 62, 507 (1993).
102. J. S. Custer, A. Polman, and H. M. van Pinxteren, J. Appl. Phys. 75, 2809 (1994).
103. A. Polman, J. S. Custer, P. M. Zagwijn, A. M. Molenbroek, and P. F. A. Alkemade, J. Appl. Phys. 81, 150 (1997).
104. S. Coffa, F. Priolo, G. Franzò, V. Bellani, A. Camera, and C. Spinella, Phys. Rev. B. 11, 782 (1993).
105. D. L. Adler, D. C. Jacobson, D. J. Eaglesham, M. A. Marcus, J. L. Benton, J. M. Poate, and P. H. Citrin, Appl. Phys. Lett. 61, 2181 (1992).
106. J. S. Custer, A. Polman, E. Snoeks, and G. N. van den Hoven, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 101 (1993).
107. A. Polman, G. N. van den Hoven, J. S. Custer, J. H. Shin, R. Serna, and P. F. A. Alkemade, J. Appl. Phys. 77, 1256 (1995).
108. G. Davies, Phys. Rep. 176, 83 (1989).
109. S. Coffa, G. Franzò, F. Priolo, A. Polman, and R. Serna, Phys. Rev. B 49, 16313 (1994).
110. D. J. Eaglesham, J. Michel, E. A. Fitzgerald, D. C. Jacobson, J. M. Poate, J. L. Benton, A. Polman, Y.-H. Xie, and L. C. Kimerling, Appl. Phys. Lett. 58, 2797 (1991).
111. P. N. Favennec, H. L'Haridon, D. Moutonnet, M. Salvi, and M. Gauneau, J. Appl. Phys. 29, L524 (1990).
112. J. Michel, J. L. Benton, R. F. Ferrante, D. C. Jacobson, D. J. Eaglesham, E. A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J. M. Poate, and L. C. Kimerling, J. Appl. Phys. 70, 2672 (1991).
113. J. L. Benton, J. Michel, L. C. Kimerling, D. C. Jacobson, Y.-H. Xie, D. J. Eaglesham, E. A. Fitzgerald, and J. M. Poate, J. Appl. Phys. 70, 2667 (1991).
114. F. Priolo, S. Coffa, G. Franzò, C. Spinella, A. Carnera, and V. Bellani, J. Appl. Phys. 74, 4936 (1993).
115. J. B. Goedkoop and A. Polman (unpublished).
116. S. Libertino, S. Coffa, G. Franzò, and F. Priolo, J. Appl. Phys. 78, 3867 (1995).
117. P. G. Kik, M. J. A. de Dood, K. Kikoin, and A. Polman, Appl. Phys. Lett. 70, 1721 (1997).
118. F. Priolo, G. Franzò, S. Coffa, A. Polman, S. Libertino, R. Barklie, and D. Carey, J. Appl. Phys. 78, 3874 (1995).
119. M. J. Keevers, F. W. Saris, G. C. Zhang, J. Zhao, M. A. Green, and R. Elliman, Proceedings of the 13th European Photovoltaic Solar Energy Conference, Nice, October 1995, p. 1215.
120. A. Wang, J. Zhao, and M. A. Green, Appl. Phys. Lett. 57, 602 (1990).
121. G. Franzò, F. Priolo, S. Coffa, A. Polman, and A. Camera, Appl. Phys. Lett. 64, 2235 (1994).
122. J. S. Custer, E. Snoeks, and A. Polman, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 235, 51 (1992).
123. G. N. van den Hoven, Jung H. Shin, A. Polman, S. Lombardo, and S. U. Campisano, J. Appl. Phys. 78, 2642 (1995).
124. G. Compagnini, S. Lombardo, R. Reitano, and S. U. Campisano, J. Mater. Res. 10, 885 (1995).
125. J. H. Shin, R. Serna, G. N. van den Hoven, A. Polman, W. G. J. H. M. van Sark, and A. M. Vredenberg, Appl. Phys. Lett. 68, 997 (1996).
126. P. N. Favennec, H. L'Haridon, D. Moutonnet, M. Salvi, and M. Ganneau, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 181 (1993).
127. L. T. Canham, Appl. Phys. Lett. 57, 1046 (1990).
128. F. Namavar, III-V Rev. 7, 10 (1994).
129. T. Kimura, A. Yokoi, H. Horiguchi, R. Saito, T. Ikoma, and A. Sato, Appl. Phys. Lett. 65, 983 (1994).
130. J. H. Shin, G. N. van den Hoven, and A. Polman, Appl. Phys. Lett. 66, 2379 (1995).
131. S. Lombardo, S. U. Campisano, G. N. van den Hoven, and A. Polman, J. Appl. Phys. 77, 6504 (1995).
132. L. H. Slooff, Ms. thesis, FOM-Institute for Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, 1996.
133. Ch. Buchal, R. Brinkmann, W. Sohler, and H. Suche, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 201, 307 (1991).
134. Ch. Buchal and S. Mohr, J. Mater. Res. 6, 134 (1991).
135. M. G. Tenner, Y. A. R. R. Kessener and M. H. F. Overwijk, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 80/81, 1185 (1993).
136. N. Can, P. D. Townsend, D. E. Hole, and C. N. Afonso, J. Appl. Phys. 78, 6737 (1995).
137. O. Lumholt, G. Grand, H. Bernas, J. Chaumont, and S. Valette, Proceedings of the European Conference on Optical Communication, September 1992.
138. A. V. Chelnokov, J.-M. Lourtioz, Ph. Boucard, H. Bernas, J. Chaumont, and T. Plowman, Electron. Lett. 31, 636 (1995).
139. A. M. Vredenberg, N. E. J. Hunt, E. F. Schubert, D. C. Jacobson, J. M. Poate, and G. J. Zydzik, Phys. Rev. Lett. 71, 517 (1993).
140. E. F. Schubert, A. M. Vredenberg, N. E. J. Hunt, Y. H. Wong, P. C. Becker, J. M. Poate, D. C. Jacobson, L. C. Feldman, and G. J. Zydzik, Appl. Phys. Lett. 61, 1381 (1992).
141. P. D. Townsend, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 65, 243 (1992).
142. S. J. Field, D. C. Hanna, D. P. Shephard, A. C. Tropper, P. J. Chandler, P. D. Townsend, and L. Zhang, IEEE J. Quantum Electron. 27, 428 (1991).
143. See for example, P. D. Townsend, Optical Effects of Ion Implantation (Cambridge University Press, Cambridge, 1994).
144. H. Ennen, J. Schneider, G. Pomrenke, and A. Axmann, Appl. Phys. Lett. 43, 943 (1983).
145. H. Ennen, G. Pomrenke, A. Axmann, K. Eisele, W. Haydl, and J. Schneider, Appl. Phys. Lett. 46, 381 (1985).
146. J. Michel, F. Y. G. Ren, B. Zheng, D. C. Jacobson, J. M. Poate, and L. C. Kimerling, Mater. Sci. Forum 143-147, 707 (1994).
147. F. Y. G. Ren, J. Michel, Q. Sun-Paduano, B. Zheng, H. Kitigawa, C. C. Jacobson, J. M. Poate, and L. C. Kimerling, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 87 (1996).
148. J. Palm, F. Gan, B. Zheng, J. Michel, and L. C. Kimerling, Phys. Rev. B 54, 17603 (1996).
149. B. Zheng, J. Michel, F. Y. G. Ren, L. C. Kimerling, D. C. Jacobson, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 64, 2842 (1994).
150. J. Michel, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 422, 317 (1996).
151. S. Libertino, S. Coffa, F. Priolo, and G. Franzò, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 422, 113 (1996).
152. S. Coffa, G. Franzò, and F. Priolo, Appl. Phys. Lett. 69, 2077 (1996).
153. H. Przybylinska, G. Hendorfer, M. Bruckner, L. Palmetshofer, and W. Jantsch, Appl. Phys. Lett. 66, 490 (1995).
154. W. Jantsch, C. Skierbiszewski, and L. Palmetshofer, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 422, 101 (1996).
155. F. Fortuna, P. Nédellec, M. O. Ruault, H. Bernas, X. W. Lin, and P. Boucaud, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 106, 206 (1995).
156. P. Liu, J. P. Zhang, R. J. Wilson, G. Curello, S. S. Rao, and P. L. F. Hemment, Appl. Phys. Lett. 66, 3158 (1995).
157. A. J. Kenyon, P. F. Trwoga, M. Federighi, and C. W. Pitt, J. Phys., Condens. Matter. 6, L319 (1994).
158. T. Gregorkiewicz, I. Tsimperides, and C. A. J. Ammerlaan, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 422, 207 (1996).
159. S. Schmitt-Rink, C. M. Varma, and A. F. J. Levi, Phys. Rev. Lett. 66, 2782 (1991).
160. M. Needles, M. Schlüter, and M. Lannoo, Phys. Rev. B 47, 15533 (1993).
161. I. N. Yassievich and L. C. Kimerling, Semicond. Sci. Technol. 8, 718 (1993).
162. C. Delerue and M. Lannoo, Mater. Sci. Forum 143-147, 699 (1994).
163. J. Stimmer, A. Reittinger, J. F. Nützel, G. Abstreiter, H. Holzbrecher, and Ch. Buchal, Appl. Phys. Lett. 68, 3290 (1996).
164. T. Oestereich, C. Swiatowski, and I. Broser, Appl. Phys. Lett. 56, 446 (1990).
165. M. Kechouane, N. Beldi, T. Mohammed-Brahim, H. L'Haridon, M. Salvi, and M. Gauneau, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 133 (1993).
166. M. S. Bresler, O. B. Gusev, V. Kh. Kudoyarova, A. N. Kuznetsov, P. E. Pak, E. I. Terukov, I. N. Yassievich, and B. P. Zakharchenya, Appl. Phys. Lett. 67, 3599 (1995).