Oxygen-related defects in O+-implanted 6H-SiC studied by a monoenergetic positron beam

Journal of Applied Physics

Volumn 86, Issue 10, 1999, Pages 5392-5398

  Uedono, Akira ^a   Tanigawa, Shoichiro ^a   Ohshima, Takeshi ^b   Itoh, Hisayoshi ^b   Aoki, Yasushi ^b   Yoshikawa, Masahito ^b   Nashiyama, Isamu ^b  

^a UNIVERSITY OF TSUKUBA   (Japan)

^b JAPAN ATOMIC ENERGY AGENCY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0005107909     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.371536     Document Type: Article

References (28)

1. M. Bhatnagar and B. J. Baliga, IEEE Trans. Electron Devices 40, 645 (1993).
2. O. J. Marsh and H. L. Dunlap, Radiat. Eff. 6, 301 (1970).
3. T. R. Cass, Appl. Phys. Lett. 23, 268 (1973).
4. T. Hirao, G. Fuse, K. Inoue, S. Takayanagi, Y. Yaegashi, and S. Ichikawa, J. Appl. Phys. 50, 5251 (1979).
5. G. F. Kholuyanov, Y. A. Vodakov, E. E. Violin, G. A. Lomakina, and E. N. Mokhov, Sov. Phys. Semicond. 5, 32 (1971).
6. Y. M. Tairov and V. F. Tsvetkov, Sov. Phys. Semicond. 5, 268 (1971).
7. S. A. Podlasov and V. G. Sidyakin, Sov. Phys. Semicond. 20, 462 (1986).
8. T. Dalibor, G. Pensl, T. Yamamoto, T. Kimoto, H. Matsunami, S. Sridhara, D. G. Nizhner, R. P. Devaty, and W. J. Choyke, Mater. Sci. Forum 246-268, 553 (1998).
9. G. Pensl, in Proceedings of the Fifth International School on Physical Problems in Microelectronics, edited by J. Kassabov (World Scientific, Singapore, 1987), p. 155.
10. A. A. Rempel and H.-E. Schaefer, Appl. Phys. A: Solids Surf. 61, 51 (1995).
11. S. Dannefaer, D. Craigen, and D. Kerr, Phys. Rev. B 51, 1928 (1995).
12. A. Kawasuso, H. Itoh, S. Okada, and H. Okumura, J. Appl. Phys. 80, 5639 (1996).
13. R. N. West, in Positrons in Solids, edited by P. Hautojärvi (Springer, Berlin, 1979), p. 89.
14. P. Asoka-Kumar, K. G. Lynn, and D. O. Welch, J. Appl. Phys. 76, 4935 (1994).
15. G. Brauer, W. Anwand, P. G. Coleman, A. P. Knights, F. Plazaola, Y. Pacaud, W. Skorupa, J. Störmer, and P. Willutzki, Phys. Rev. B 54, 3084 (1996).
16. G. Brauer, W. Anwand, P. G. Coleman, J. Störmer, F. Plazaola, J. M. Campillo, Y. Pacaud, and W. Skorupa, J. Phys.: Condens. Matter 10, 1147 (1998).
17. A. Uedono, H. Itoh, T. Ohshima, R. Suzuki, T. Ohdaira, S. Tanigawa, Y. Aoki, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, T. Mikado, H. Okumura, and S. Yoshida, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 6650 (1997).
18. H. Itoh, T. Ohshima, Y. Aoki, K. Abe, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, H. Okumura, S. Yoshida, A. Uedono, and S. Tanigawa, J. Appl. Phys. 82, 5339 (1997).
19. A. Uedono, T. Ohshima, H. Itoh, R. Suzuki, T. Ohdaira, S. Tanigawa, Y. Aoki, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, and T. Mikado, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 37, 2422 (1998).
20. A. van Veen, H. Schut, M. Clement, J. M. M. de Nijs, A. Kruseman, and M. R. Ijpma, Appl. Surf. Sci. 85, 216 (1995).
21. J. Stömer, A. Goodyear, W. Anwand, G. Brauer, P. G. Coleman, and W. Triftshäuser, J. Phys.: Condens. Matter 8, L89 (1996).
22. J. P. Biersack and L. G. Haggmark, Nucl. Instrum. Methods 174, 257 (1980).
23. J. A. Spitznagel, S. Wood, W. J. Choyke, N. J. Doyle, J. Bradshaw, and S. G. Fishman, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 16, 237 (1986).
24. H. Itoh, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, S. Misawa, H. Okumura, and S. Yoshida, J. Electron. Mater, 21, 707 (1992).
25. H. Itoh, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, H. Okumura, S. Misawa, and S. Yoshida, J. Appl. Phys. 77, 837 (1996).
26. L. Patrick and W. J. Choyke, Phys. Rev. B 5, 3253 (1972).
27. J. W. Corbett, J. P. Karins, and T. Y. Tan, Nucl. Instrum. Methods 182/ 183, 457 (1981).
28. A. Uedono, T. Kitano, K. Hamada, T. Moriya, T. Kawano, S. Tanigawa, R. Suzuki, T. Ohdaira, and T. Mikado, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 35, 2000 (1996).