Composition dependence of room temperature 1.54 μm Er3+ luminescence from erbium-doped silicon:oxygen thin films deposited by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 9, 1998, Pages 1092-1094

  Shin, Jung H ^a   Kim, Mun Jun ^a   Seo, Se Young ^a   Lee, Choochon ^a  

^a Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST)   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001468233     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.120974     Document Type: Article

References (14)

1. H. Ennen, J. Schneider, G. Pomrenke, and A. Axmann, Appl. Phys. Lett. 43, 943 (1983).
2. See, for example, Rare Earth Doped Semiconductors II, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 422 (1996).
3. G. Franzó, F. Priolo, S. Coffa, A. Polman, and A. Carnera, Appl. Phys. Lett. 64, 2235 (1993).
4. J. Stimmer, A. Reittinger, J. F. Nützel, G. Abstreiter, H. Holzbrecher, and Ch. Buchal, Appl. Phys. Lett. 68, 3290 (1996).
5. R. Serna, J. Shin, M. Lohmeier, E. Vlieg, and A. Polman, J. Appl. Phys. 79, 2658 (1996).
6. P. S. Andry, W. Varhue, F. Ladipo, K. Ahmed, E. Adams, M. Lavoie, P. B. Klein, R. Hengehold, and J. Hunter, J. Appl. Phys. 80, 551 (1996).
7. X. Y. Qian, M. H. Kiang, J. Huang, D. Carl, Nw. W. Cheung, M. A. Lieberman, I. G. Brown, K. M. Yu, and M. I. Current, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 55, 888 (1991).
8. G. N. van den Hoven, J. H. Shin, A. Polman, S. Lombardo, and S. U. Campisano, J. Appl. Phys. 78, 2642 (1995).
9. A. Polman, G. N. van den Hoven, J. S. Custer, J. H. Shin, R. Serna, and P. F. A. Alkemade, J. Appl. Phys. 77, 1256 (1995).
10. A. Polman, D. C. Jacobson, D. J. Eaglesham, R. C. Kistler, and J. M. Poate, J. Appl. Phys. 70, 3778 (1991).
11. J. H. Shin, R. Serna, G. N. van den Hoven, A. Polman, W. G. J. H. M. van Sark, and A. M. Vrednberg, Appl. Phys. Lett. 68, 46 (1996).
12. S. Hayashi and K. Yamamoto, J. Lumin. 70, 352 (1996).
13. L. Tsybeskov, S. P. Duttagupta, K. D. Hirschman, P. M. Fauchet, K. L. Moore, and D. G. Hall, Appl. Phys. Lett. 70, 1790 (1997).
14. P. N. Favennec, H. L'Haridon, D. Moutonnet, M. Salvi, and M. Ganneau, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 181 (1993).