Incorporation and optical activation of erbium in silicon using molecular beam epitaxy

Journal of Applied Physics

Volumn 79, Issue 5, 1996, Pages 2658-2662

  Serna, R ^a,c   Shin, Jung H ^a   Lohmeier, M ^a,d   Vlieg, E ^a   Polman, A ^a   Alkemade, P F A ^b  

^a FOM INSTITUTE AMOLF   (Netherlands)

^b DELFT UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Netherlands)

^c INSTITUTO DE ÓPTICA   (Spain)

^d PHILIPS RESEARCH LABORATORIES   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000545433     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.361136     Document Type: Article

References (20)

1. H. Ennen, J. Schneider, G. Pomrenke, and A. Axman, Appl. Phys. Lett. 43, 943 (1983).
2. H. Ennen, G. Pomrenke, A. Axman, K. Eisele, W. Haydl, and J. Schneider, Appl. Phys. Lett. 46, 381 (1985).
3. Y. H. Xie, E. A. Fitzgerald, and Y. J. Mu, J. Appl. Phys. 70, 3223 (1991).
4. P. N. Favenec, H. L'Haridon, D. Moutonnet, M. Salvi, and M. Gauneau, Jpn. J. Appl. Phys. 29, L521 (1990).
5. J. Michel, J. L. Benton, R. F. Ferrante, D. C. Jacobson, D. J. Eaglesham, E. A. Fitzgerald, Y. -H. Xie, J. M. Poate, and L. C. Kimerling, J. Appl. Phys. 70, 2672 (1991).
6. A. Polman, J. S. Custer, E. Snoeks, and G. N. van den Hoven, Appl. Phys. Lett. 62, 507 (1993).
7. J. S. Custer, A. Polman, and H. M. van Pinxteren, J. Appl. Phys. 75, 2809 (1994).
8. F. Priolo, S. Coffa, G. Franzó, C. Spinella, A. Camera, and V. Bellani, J. Appl. Phys. 74, 4936 (1993).
9. R. Serna, M. Lohmeier, P. M. Zagwijn, E. Vlieg, and A. Polman, Appl. Phys. Lett. 66, 1385 (1995).
10. S. Coffa, G. Franzó, F. Priolo, A. Polman, and R. Serna, Phys. Rev. B 49, 16313 (1994).
11. S. Lombardo, S. U. Campisano, G. N. van den Hoven, A. Cacciato, and A. Polman, Appl. Phys. Lett. 63, 1942 (1993).
12. G. N. van den Hoven, A. Polman, S. Lombardo, and S. U. Campisano, J. Appl. Phys. 78, 2642 (1995).
13. R. Serna, E. Snoeks, G. N. van den Hoven, and A. Polman, J. Appl. Phys. 75, 2644 (1994).
14. G. Franzó, F. Priolo, S. Coffa, A. Polman, and A. Carnera, Appl. Phys. Lett. 64, 2235 (1994).
15. S. Lombardo, S. U. Campisano, G. N. van den Hoven, and A. Polman, Nucl. Instrum. Methods B 96, 378 (1995).
16. R. G. Wilson, F. A. Stevie, and C. W. Magee, Secondary Ion Mass Spectrometry (Wiley, New York, 1989).
17. A. Polman, G. N. van den Hoven, J. S. Custer, J. H. Shin, R. Serna, and P. F. A. Alkemade, J. Appl. Phys. 77, 1256 (1995).
18. F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Polman, S. Libertino, R. Barklie, and D. Carey, J. Appl. Phys. 78, 3874 (1995).
19. S. Libertino, S. Coffa, G. Franzó, and F. Priolo, J. Appl. Phys. 78, 3867 (1995).
20. Jung H. Shin, G. N. van den Hoven, and A. Polman, Appl. Phys. Lett. 67, 377 (1995).