Growth of Er-doped silicon using metalorganics by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Journal of Applied Physics

Volumn 80, Issue 1, 1996, Pages 551-558

  Andry, P S ^a   Varhue, W J ^a   Ladipo, F ^b   Ahmed, K ^b   Adams, E ^c   Lavoie, M ^c   Klein, P B ^d   Hengehold, R ^e   Hunter, J ^e  

^a University of Vermont   (United States)

^b UNIVERSITY OF VERMONT   (United States)

^c IBM   (United States)

^d NAVAL RESEARCH LABORATORY   (United States)

^e Air Force Institute of Technology   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0003686632     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.362759     Document Type: Article

References (29)

1. G. H. Dieke, Spectra and Energy Levels of Rare Earth Ions in Crystals (Wiley Interscience, New York, 1968).
2. H. Ennen, G. Pomrenke, A. Axmann, K. Eisele, W. Haydi, and J. Schneider, Appl. Phys. Lett. 46, 381 (1985).
3. J. Pankove and R. J. Feuerstein, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 287 (1993).
4. J. Michel, J. L. Benton, R. F. Ferrante, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, J. M. Poate, and L. C. Kimerling, J. Appl. Phys. 70, 2672 (1991).
5. D. J. Eaglesham, J. Michel, E. A. Fitzgerald, D. C. Jacobson, J. L. Benton, J. M. Poate, A. Polman, Y. H. Xie, and L. C. Kimerling, Appl. Phys. Lett. 58, 2797 (1991).
6. F. Priolo, S. Coffa, G. Franzo, C. Spinella, A. Camera, and V. Ballani, J. Appl. Phys. 74, 4936 (1993).
7. D. L. Adler, D. C. Jacobson, D. J. Eaglesham, M. A. Marcus, J. L. Benton, J. M. Poate, and P. H. Citrin, Appl. Phys. Lett. 61, 2181 (1992).
8. A. Polmam, J. S. Custer, E. Snoeks, and G. N. van den Hoven, Appl. Phys. Lett. 62, 509 (1993).
9. A. Polman, G. N. van den Hoven, J. S. Custer, J. H. Shin, R. Serna, and P. F. A. Alkemade J. Appl. Phys. 77, 1256 (1995).
10. P. Wetzel, L. Haderbache, C. Pirri, C. J. Peruchetii, D. Bolmont, and G. Gewinner, Phys. Rev. B 43, 6620 (1991).
11. T. Benyattou, D. Seghier, B. Guillot, R. Moncorge, P. Galtier, and M. N. Charasse, Appl. Phys. Lett. 60, 350 (1992).
12. F. A. D'Avitaya, Y. Campidelli, J. A. Chroboczek, P. N. Favennec, H. L. Haridon, D. Moutonnet, and A. Wasiela, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 97 (1993).
13. D. B. Beach, R. T. Collins, F. K. Legoues, and J. O. Chu, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 282, 397 (1992).
14. J. Nakata, M. Taniguchi, and K. Takahei, Appl. Phys. Lett. 61, 2665 (1992).
15. D. W. Langer, Y. Li, X. M. Fang, and V. Coon, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 15 (1993).
16. J. Michel, F. Y. G. Ren, B. Zheng, D. C. Jacobson, J. M. Pote, and L. C. Kimerling, Mater. Sci. Forum 143-147, 707 (1994).
17. F. Scholz, J. Weber, K. Pressel, and A. Dornen, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 3 (1993).
18. J. S. Custer, A. Polman, and H. M. van Pinxteren, J. Appl. Phys. 75, 2809 (1994).
19. T. Oestereich, C. Swiatkowski, and I. Broser, Appl. Phys. Lett. 56, 446 (1990).
20. H. K. Kim, C. C. Li, X. M. Fang, J. Solomon, G. Nykolak, and P. C. Becker, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 55 (1993).
21. K. Nakashima, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 61 (1993).
22. T. Asatsuma, P. Dodd, J. F. Donegan, J. G. Lunney, and J. Hegarty, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 301, 67 (1993).
23. M. Matsuoka and S. Tohno, J. Appl. Phys. 78, 2751 (1995).
24. J. L. Rogers, P. S. Andry, W. J. Varhue, P. McGaughnea, E. Adams, and R. Kontra, Appl. Phys. Lett. 67, 971 (1995).
25. W. J. Varhue, J. L. Rogers, and P. S. Andry, Appl. Phys. Lett. 68, 349 (1996).
26. J. L. Rogers, P. S. Andry, W. J. Varhue, E. Adams, M. Lavoie, and P. B. Klein, J. Appl. Phys. 78, 6241 (1995).
27. T. Shibata, Y. Nanishi, and M. Fujimoto, Jpn. J. Appl. Phys. 29, L1181 (1990).
28. G. E. Jellison and F. A. Modine, J. Appl. Phys. 53, 3745 (1982).
29. D. C. Montgomery, Design and Analysis of Experiments (Wiley, New York, 1991), p. 270.