Relative atomic chlorine density in inductively coupled chlorine plasmas

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 2, 1997, Pages 578-581

  Hebner, G A ^a  

^a SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001292777     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.364192     Document Type: Article

References (24)

1. G. L. Rogoff, J. M. Kramer, and R. B. Pliejak, IEEE Trans. Plasma Sci. PS-14, 103 (1986).
2. A. D. Richards and H. H. Sawin, J. Appl. Phys. 62, 799 (1987).
3. R. J. Hoekstra and M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 79, 2275 (1996).
4. R. S. Wise, D. P. Lymberopoulos, and D. J. Economou, Appl. Phys. Lett. 68, 2499 (1996).
5. J. E. Johannes, T. Bartel, G. A. Hebner, R. Wise, and D. J. Economou, American Vacuum Society Fall Meeting, Minneapolis, MN, 1995.
6. E. Meeks, A. Ting, J. W. Shon, and C. Moen, American Vacuum Society Fall Meeting, Minneapolis, MN, 1995.
7. S. C. Deshmukh and D. J. Economou, J. Appl. Phys. 72, 4597 (1992).
8. A. D. Richards, B. E. Thompson, K. D. Allen, and H. H. Sawin, J. Appl. Phys. 62, 792 (1987).
9. A. C. Stanton, Chem. Phys. Lett. 122, 385 (1985).
10. R. M. Forrister and H. M. Anderson, 48th Gaseous Electronics Conference, Berkeley, CA, October 9-13, 1995, paper EA-8.
11. P. A. Miller, G. A. Hebner, K. E. Greenberg, P. D. Pochan, and B. P. Aragon, J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol. 100, 427 (1995).
12. L. J. Maboney, A. E. Wendt, E. Barrios, C. J. Richards, and J. L. Shobet, J. Appl. Phys. 76, 2041 (1994).
13. G. S. Selwyn, L. D. Baston, and H. H. Sawin, Appl. Phys. Lett. 51, 898 (1987).
14. A. Mandl, Phys. Rev. A 14, 345 (1976).
15. S. Arepalli, N. Presser, D. Robie, and R. J. Gordon, Chem. Phys. Lett. 118, 88 (1985).
16. P. J. Hargis, Jr., K. E. Greenberg, P. A. Miller, J. B. Gerardo, J. R. Torczynski, M. E. Riley, G. A. Hebner, J. R. Roberts, J. K. Olthoff, J. R. Whetstone, R. J. van Brunt, M. A. Sobolewski, H. M. Anderson, M. P. Splichal, J. L. Mock, P. Bletzinger, A. Garscadden, R. A. Gottscho, G Selwyn, M. Dalvie, J. E. Heidenreich, J. W. Butterbaugh, M. L. Brake, M. L. Passow, J. Pender, A. Lujan, M. E. Elta, D. B. Graves, H. H. Sawin, M. J. Kushner, J. T. Verdeyen, R. Horwath, and T. R. Turner, Rev. Sci. Instrum. 65, 140 (1994).
17. G. A. Hebner, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2158 (1996).
18. S. Baskin and J. O. Stoner, Atomic Energy level and Grotrian Diagrams (North-Holland, New York, 1978), Vol. 2, pp. 58-82.
19. W. L. Weise, M. W. Smith, and B. M. Barnes, Atomic Transition Probabilities, NSRDS-NBS 22 (U.S. Department of Commerce, National Institute for Standards and Technology, 1969), pp. 185-162.
20. J. A. O'Neill, M. S. Barnes, and J. H. Keller, J. Appl. Phys. 73, 1621 (1993).
21. T. Nakano, N. Sadeghi, and R. A. Gottscho, Appl. Phys. Lett. 58, 458 (1991).0
22. G. A. Hebner, J. Appl. Phys. 80, 2624 (1996).
23. G. A. Hebner, J. Appl. Phys. 80, 3215 (1996).
24. V. M. Donnelly, D. L. Flamm, and G. Collins, J. Vac. Sci. Technol. 21, 817 (1982).