Nanolithography with metastable neon atoms: Enhanced rate of contamination resist formation for nanostructure fabrication

Applied Physics Letters

Volumn 71, Issue 10, 1997, Pages 1427-1429

  Rehse, S J ^a   Glueck, A D ^a   Lee, S A ^a   Goulakov, A B ^b   Menoni, C S ^b   Ralph, D C ^c   Johnson, K S ^d   Prentiss, M ^d  

^a Department of Environmental and Radiological Health Sciences   (United States)

^b Engineering Research Center and Hydraulics Laboratory   (United States)

^c Cornell University   (United States)

^d HARVARD UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001025639     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.119914     Document Type: Article

References (21)

1. G. Timp, R. E. Behringer, D. M. Tonnant, J. H. Cunningham, M. Prentiss, and K. K. Berggren, Phys. Rev. Lett. 69. 1636 (1992): J. J. McClelland, R. E. Scholten, E. C. Palm, and R. J. Celotta. Science 262. 877 (1993): R. W. McGowan, D. M. Giltner, and S. A. Lee. Opt. Lett. 20. 2535 (1995): L. Drodofsky, J. Stuhler, B. Brezger, T. Schulze, M. Drewsen, T. Pfau, and J. Mlynek, Microelectron. Eng. 35, 285 (1997).
2. G. Timp, R. E. Behringer, D. M. Tonnant, J. H. Cunningham, M. Prentiss, and K. K. Berggren, Phys. Rev. Lett. 69. 1636 (1992): J. J. McClelland, R. E. Scholten, E. C. Palm, and R. J. Celotta. Science 262. 877 (1993): R. W. McGowan, D. M. Giltner, and S. A. Lee. Opt. Lett. 20. 2535 (1995): L. Drodofsky, J. Stuhler, B. Brezger, T. Schulze, M. Drewsen, T. Pfau, and J. Mlynek, Microelectron. Eng. 35, 285 (1997).
3. G. Timp, R. E. Behringer, D. M. Tonnant, J. H. Cunningham, M. Prentiss, and K. K. Berggren, Phys. Rev. Lett. 69. 1636 (1992): J. J. McClelland, R. E. Scholten, E. C. Palm, and R. J. Celotta. Science 262. 877 (1993): R. W. McGowan, D. M. Giltner, and S. A. Lee. Opt. Lett. 20. 2535 (1995): L. Drodofsky, J. Stuhler, B. Brezger, T. Schulze, M. Drewsen, T. Pfau, and J. Mlynek, Microelectron. Eng. 35, 285 (1997).
4. G. Timp, R. E. Behringer, D. M. Tonnant, J. H. Cunningham, M. Prentiss, and K. K. Berggren, Phys. Rev. Lett. 69. 1636 (1992): J. J. McClelland, R. E. Scholten, E. C. Palm, and R. J. Celotta. Science 262. 877 (1993): R. W. McGowan, D. M. Giltner, and S. A. Lee. Opt. Lett. 20. 2535 (1995): L. Drodofsky, J. Stuhler, B. Brezger, T. Schulze, M. Drewsen, T. Pfau, and J. Mlynek, Microelectron. Eng. 35, 285 (1997).
5. K. K. Berggren, A. Bard, J. L. Wilbur, J. D. Gillaspy, A. G. Helg, J. J. McClelland, S. L. Rolston, W. D. Phillips, M. Prentiss, and G. M. Whitesides, Science 269, 1255 (1995).
6. See, for example, M. Kreis, F. Lison, D. Haubrich, D. Meschede, S. Nowak, T. Pfau, and J. Mlynek, Appl. Phys. B 63, 649 (1996); see also K. K. Berggren, R. Younkin, E. Cheung, M. Prentiss, A. J. Black, G. M. Whitesides, D. C. Ralph, C. T. Black, and M. Tinkham, Adv. Mater. 9, 52 (1997).
7. See, for example, M. Kreis, F. Lison, D. Haubrich, D. Meschede, S. Nowak, T. Pfau, and J. Mlynek, Appl. Phys. B 63, 649 (1996); see also K. K. Berggren, R. Younkin, E. Cheung, M. Prentiss, A. J. Black, G. M. Whitesides, D. C. Ralph, C. T. Black, and M. Tinkham, Adv. Mater. 9, 52 (1997).
8. K. S. Johnson, K. K. Berggren, A. Black, C. T. Black, A. P. Chu, N. H. Dekker, D. C. Ralph, J. H. Thywissen, R. Younkin, M. Tinkham, M. Prentiss, and G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 69, 2773 (1996).
9. S. Nowak, T. Pfau, and J. Mlynek, Appl. Phys. B 63, 203 (1996).
10. W. W. Molzen, A. N. Broers, J. J. Cuomo, J. M. E. Harper, and R. B. Laibowitz, J. Vac. Sci. Technol. 16, 269 (1979); see also A. N. Broers, Philos. Trans. R. Soc. London, Ser. A 353, 291 (1995).
11. W. W. Molzen, A. N. Broers, J. J. Cuomo, J. M. E. Harper, and R. B. Laibowitz, J. Vac. Sci. Technol. 16, 269 (1979); see also A. N. Broers, Philos. Trans. R. Soc. London, Ser. A 353, 291 (1995).
12. H. Hotop, in Experimental Methods in the Physical Science, edited by F. B. Dunning and R. G. Hulet (Academic, San Diego, 1996), Vol. 29B. pp. 191-215.
13. See, tor example, D. R. Bates, in Dissociative Recombination: Theory. Experiment, and Applications, edited by B. R. Rowe, J. B. A. Mitchell, and A. Canosa (Plenum, New York, 1993), and references therein.
14. Our metastable beam source is similar to the one described by D. W. Fahey, W. F. Parks, and L. D. Schearer, J. Phys. E 13, 381 (1980).
15. The diffusion pump oil used was Neovac SY (alkyldiphenylether) from Varian Vacuum Products.
16. K. S. Ralls, R. A. Buhrman, and R. C. Tiberio, Appl. Phys. Lett. 55, 2459 (1989).
17. M. W. Geis, G. A. Lincoln, N. Efremow, and W. J. Piacentini, J. Vac. Sci. Technol. 19. 1390 (1981).
18. G. A. Lincoln, M. W. Geis, S. Pang, and N. N. Efremow, J. Vac. Sci. Technol. B 1, 1043 (1983).
19. A. P. Chu, K. K. Berggren, K. S. Johnson, and M. Prentiss. Quantum Opt. 8, 521 (1996).
20. F. Shimizu, K. Shimizu. and K. Takuma, Chem. Phys. 145. 327 (1990): M. D. Hoogerland, J. P. J. Driessen, E. J. D. Vredenbregt, H. J. L. Megens, M. P. Schuwer, H. C. W. Beijerinck, and K. A. H. van Leeuwen, Appl. Phys. B 62, 323 (1996).
21. F. Shimizu, K. Shimizu. and K. Takuma, Chem. Phys. 145. 327 (1990): M. D. Hoogerland, J. P. J. Driessen, E. J. D. Vredenbregt, H. J. L. Megens, M. P. Schuwer, H. C. W. Beijerinck, and K. A. H. van Leeuwen, Appl. Phys. B 62, 323 (1996).