Pattern generation with cesium atomic beams at nanometer scales

Applied Physics B: Lasers and Optics

Volumn 63, Issue 6, 1996, Pages 649-652

  Kreis, M ^a   Lison, F ^a   Haubrich, D ^a   Meschede, D ^a   Nowak, S ^b   Pfau, T ^b   Mlynek, J ^b  

^a INSTITUT FÜR ANGEWANDTE PHYSIK   (Germany)

^b UNIVERSITY OF KONSTANZ   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CESIUM; ETCHING; GOLD; MASKS; NANOTECHNOLOGY; PHOTOLITHOGRAPHY;

SELF ASSEMBLING MONOLAYERS (SAM);

ATOMIC BEAMS;

EID: 0030394717     PISSN: 09462171     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/BF01831007     Document Type: Article

References (14)

1. G. Timp, R. E. Behringer, D. M. Tennant, J. E. Cunnigham, M. Prentiss, K. K. Berggren, Phys. Key. Lett. 69, 1636 (1992)
2. J. J. McClelland, R. E. Scholten, E. C. Palm, R. J. Celotta, Science 262, 887 (1993)
3. R. W. McGowan, D. M. Giltner, S. A. Lee, Opt. Lett. 20, 2535 (1995)
4. U. Drodofsky, M. Drewsen, D. Krogman, G. Schreiber, Ch. Weber, B. Brezger, J. Stuhler, T. Pfau, J. Mlynek, JThA3 at CLEO/EQEC '96 Hamburg
5. K. K. Berggren, A. Bard, J. L. Wilbur, J. D. Gillaspy, A. G. Helg, J. J. McClelland, S. L. Rolston, W. D. Phillips, M. Prentiss, G. M. Whilesides, Science 269, 1255 (1995)
6. S. Nowak, T. Pfau, J. Mlynek, Appl. Phys. B, 63, 203 (1996)
7. M. Prentiss and K. K. Berggren, private communication
8. K. K. Berggren, R. Younkin, E. Cheung, M. Prentiss, A. Black, G. M. Whitesides, D. C. Ralph, C. T. Black, M. Tinkham, Advanced Materials, submitted for publication, 1996
9. C. D. Bain, E. B. Troughton, Y.-T. Tao, J. Evail, G. M. Whitesides, R. G. Nuzzo, J. Am. Chem. Soc. 111, 321 (1989)
10. M. D. Porter, T. B. Bright, D. L. Allara, C. E. D. Chidsey, J. Am. Chem. Soc. 109, 3559 (1987)
11. M. Buck, F. Eisert, J. Fischer, M. Grunze, F. Träger, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 926 (1992)
12. A. Ulman, Ultrathin Organic Films, Academic Press (1991)
13. J. Li, K. S. Liang, N. Camillone III, B. Leung, G. Scoles, J. Chem. Phys. 102, 5012 (1995)
14. 6 in aqua dest.