Electrical characterization of the threshold fluence for extended defect formation in p-type silicon implanted with MeV Si ions

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 23, 1998, Pages 3044-3046

  Fatima, S ^a   Wong Leung, J ^a   Fitz Gerald, J ^a   Jagadish, C ^a  

^a AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000780069     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.121535     Document Type: Article

References (23)

1. P. A. Stolk, H. J. Gossmann, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, J. M. Poate, and H. S. Luftman, Appl. Phys. Lett. 66, 568 (1995).
2. H. J. Gossmann, C. S. Rafferty, H. S. Luftman, F. C. Unterwald, T. Boone, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 63, 639 (1993).
3. N. E. B. Cowern, K. T. F. Janssen, and H. F. F. Joss, J. Appl. Phys. 68, 6191 (1990).
4. M. Tamura, N. Natsuaki, Y. Wada, and E. Mitani, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 21, 438 (1987).
5. K. S. Jones, S. Prussin, and E. R. Weber, Appl. Phys. A: Solids Surf. 45, 1 (1988).
6. M. Jaraiz, G. H. Gilmer, J. M. Poate, and T. D. de la Rubia, Appl. Phys. Lett. 68, 409 (1996).
7. M. D. Giles, J. Electrochem. Soc. 138, 1160 (1991).
8. D. J. Eaglesham, P. A. Stolk, H.-J. Gossmann, T. E. Haynes, and J. M. Poate, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 106, 191 (1995).
9. S. Libertino, J. L. Benton, D. C. Jacobson, D. J. Eaglesham, J. M. Poate, S. Coffa, P. G. Fuochi, and M. Lavalle, Appl. Phys. Lett. 70, 3002 (1997).
10. J. L. Benton, S. Libertino, P. Kringhøj, D. J. Eaglesham, J. M. Poate, and S. Coffa, J. Appl. Phys. 82, 120 (1997).
11. P. Omling, E. R. Weber, L. Montelius, H. Alexander, and J. Michel, Phys. Rev. B 32, 6571 (1985).
12. P. Kringhøj, J. S. Williams, and C. Jagadish, Appl. Phys. Lett. 65, 17 (1994).
13. J. Lalita, Ph. D. thesis, Royal Institute of Technology, Sweden, 1997 (unpublished).
14. J. P. Biersack and L. G. Haggmark, Nucl. Instrum. Methods 174, 257 (1980).
15. C. A. Ferreira Lima and A. Howie, Philos. Mag. 34, 1057 (1976).
16. D. J. Eaglesham, P. A. Stolk, H. J. Gossmann, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 65, 2305 (1994).
17. B. G. Svensson, C. Jagadish, and J. S. Williams, Phys. Rev. Lett. 71, 1860 (1993).
18. B. G. Svensson, C. Jagadish, and J. S. Williams, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 80/81, 583 (1993).
19. B. G. Svensson, C. Jagadish, A. Hallen, and J. Lalita, Phys. Rev. B 55, 10498 (1997).
20. J. Lalita, N. Keskitalo, A. Hallen, C. Jagadish, and B. G. Svensson, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 120, 27 (1996).
21. J. Lalita, B. G. Svensson, C. Jagadish, and A. Hallen, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 127/128, 69 (1997).
22. R. J. Schreutelkamp, J. S. Custer, J. R. Liefting, W. X. Lu, and F. W. Saris, Mater. Sci. Rep. 6, 275 (1991).
23. R. G. Elliman and I. V. Mitchell, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 273, 469 (1995).