The fraction of substitutional boron in silicon during ion implantation and thermal annealing

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 21, 1998, Pages 2736-2738

  Caturla, Maria Jose ^a   Johnson, Mark D ^a   Diaz De La Rubia, T ^a  

^a LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000569193     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.121075     Document Type: Article

References (21)

1. A. E. Michel, Appl. Phys. Lett. 50, 416 (1987).
2. N. E. B. Cowern, J. Appl. Phys. 64, 4484 (1988).
3. S. Solmi and F. Baruffaldi, J. Appl. Phys. 69, 2135 (1991).
4. K. S. Jones, H. G. Robinson, J. Listebarger, J. Chen, J. Liu, B. Herner, H. Park, M. E. Law, D. Sieloff, and J. A. Slinkman, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 96, 196 (1995).
5. N. E. B. Cowern, H. F. F. Jos, and K. T. F. Janssen, J. Appl. Phys. 68, 6191 (1990).
6. P. A. Stolk, H. J. Gossmann, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 66, 568 (1995).
7. L. Pelaz, M. Jaraiz, G. H. Gilmer, H. J. Gossmann, C. S. Rafferty, D. J. Eaglesham, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 70, 2285 (1997).
8. C. S. Rafferty, G. H. Gilmer, M. Jaraiz, D. Eaglesham, and H.-J. Gossmann, Appl. Phys. Lett. 68, 2395 (1996).
9. H. L. Heinisch, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 102, 47 (1995).
10. N. Soneda and T. Diaz de la Rubia, Philos. Mag. A (to be published).
11. P. J. Bedrossian, M.-J. Caturla, and T. Diaz de la Rubia, Appl. Phys. Lett. 70, 176 (1997).
12. J. Zhu, T. Diaz de la Rubia, L. H. Yang, C. Mailhiot, and G. H. Gilmer, Phys. Rev. B 54, 4741 (1996).
13. J. Zhu, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 469, 151 (1997).
14. M. J. Caturla, A. Lilak, M. D. Johnson, J. Zhu, M. Giles, T. Diaz de la Rubia, and M. Law (unpublished).
15. J. Zhu (private communication).
16. M. D. Johnson, M.-J. Caturla, and T. Diaz de la Rubia (to be published).
17. G. H. Gilmer, T. Diaz de la Rubia, D. M. Stock, and M. Jaraiz, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 102, 247 (1995).
18. S. Tian, S. J. Morris, B. Obradovic, M. F. Morris, G. Wang, G. Balamurugan, A. F. Tasch, C. Snell, U. T. Marlowe Version 4.0 (1996).
19. D. J. Eaglesham, P. A. Stolk, H.-J. Gossmann, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 65, 2305 (1994).
20. H. G. A. Hizing, C. C. G. Visser, N. E. B. Cowern, P. A. Stolk, and R. C. de Kruif, Appl. Phys. Lett. 69, 1211 (1996).
21. L. H. Zhang, K. S. Jones, P. H. Chi, and D. S. Simons, Appl. Phys. Lett. 67, 2025 (1995).