Simulation of cluster evaporation and transient enhanced diffusion in silicon

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 17, 1996, Pages 2395-2397

  Rafferty, C S ^a   Gilmer, G H ^a   Jaraiz, M ^a   Eaglesham, D ^a   Gossmann, H J ^a  

^a LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000595313     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.116145     Document Type: Article

References (19)

1. C. S. Rafferty, H.-H. Vuong, S. A. Eshraghi, M. D. Giles, M. R. Pinto, and S. J. Hillenius, Proc. IEDM, p. 311 (1993).
2. J. Lutze and S. Venkatesan, Electron. Lett. INS 16, 373 (1995).
3. C. A. King, R. W. Johnson, M. R. Pinto, H. S. Luftman, and J. Munanka, Appl. Phys. Lett. 68, 226 (1996).
4. D. J. Eaglesham, P. A. Stolk, H.-J. Gossman, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 65, 2305 (1994).
5. P. A. Packan, Ph.D. dissertation, Dept. Elec. Eng., Stanford University (1991).
6. S. Solmi, F. Baruffaldi, and R. Canteri, J. Appl. Phys. AIP 69, 2135 (1991).
7. I/k); see for instance U. M. Gosele and T. Y. Tan, p. 42, MRS Bulletin, Nov. 1991, or reference 18.
8. M. D. Giles, J. Electrochem. Soc. INS 138, 1160 (1991).
9. D. R. Lim, C. S. Rafferty, and F. P. Klemens (unpublished).
10. H. Bracht N. A. Stolwijk, and H. Mehrer, Mater. Sci. Forum, INS 143-147, 785 (1994).
11. M. R. Pinto, D. M. Boulin, C. S. Rafferty, R. K. Smith, W. M. Coughran, Jr., I. C. Kizilyalli, and M. J. Thoma, Proc. IEDM 923 (1992).
12. G. H. Gilmer, T. Diaz de la Rubia, D. M. Stock, and M. Jaraiz, Nucl. Instrum. Methods B INS 102, 247 (1995).
13. H. Park and M. E. Law, Appl. Phys. Lett. AIP 58, 732 (1991).
14. H. Park and M. E. Law, J. Appl. Phys. AIP 72, 3431 (1992).
15. N. E. B. Cowern, K. T. F. Janssen, and H. F. F. Jos, J. Appl. Phys. AIP 68, 6191 (1990).
16. A. E. Michel, Nucl. Instrum. Methods B INS 37/38, 379 (1989).
17. P. M. Fahey, P. B. Griffin, and J. D. Plummer, Rev. Mod. Phys. AIP 61, 289 (1989).
18. J. Zhu, T. Diaz de la Rubia, L. H. Yang, and C. Mailhiot, private communication.
19. J. M. Poate, D. J. Eaglesham, G. H. Gilmer, H.-J. Gossmann, M. Jaraiz, C. S. Rafferty, and P. A. Stolk, Proc. IEDM (1995).