Atomic force microscopy studies of SnO2 thin film microstructures deposited by atomic layer epitaxy

Mikrochimica Acta

Volumn 133, Issue 1-4, 2000, Pages 119-123

  Utriainen, Mikko ^a   Lattu, Hanna ^a   Viirola, Heli ^a   Niinistö, Lauri ^a   Resch, Roland ^b   Friedbacher, Gernot ^b  

^a AALTO UNIVERSITY   (Finland)

^b VIENNA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Austria)

Author keywords

Atomic force microscopy (AFM); Atomic layer epitaxy (ALE); Cross sectional AFM (X AFM); Gas sensor; Heteroepitaxy; Tin dioxide

Indexed keywords

EID: 0000502719     PISSN: 00263672     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s006040070080     Document Type: Article

References (20)

1. S. Semancik, R. E. Cavacchi, Thin Solid Films 1991, 206, 81.
2. M. Fantini, I. Torriani, Thin Solid Films 1986, 138, 255.
3. H. S. Randhawa, M. D. Matthews, R. F. Bunshaw, Thin Solid Films 1981, 83, 267.
4. S. Kane, H. P. Schweitzer, W. Kern, J. Electrochem. Soc. 1976, 123, 270.
5. H. Viirola, L. Niinistö, Thin Solid Films 1994, 249, 144.
6. L. Niinistö, M. Ritala, M. Leskelä, Mater. Sci. Eng. B. 1996, 41, 23.
7. L. Niinistö, Curr. Opin. Solid State Mat. Sci. 1998, 3, 147.
8. H. Viirola, L. Niinistö, Thin Solid Films 1994, 251, 127.
9. S. Lehto, R. Lappalainen, H. Viirola, L. Niinistö, Fresenius J. Anal. Chem. 1996, 355, 129.
10. C. Dücsö, N. G. Khanh, Z. Horváth, I. Bársony, M. Utriainen, S. Lehto, M. Nieminen, L. Niinistö, J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 683.
11. M. Utriainen, K. Kovács, J. M. Campbell, L. Niinistö, F. Réti, J. Electrochem. Soc. 1999, 146, 189.
12. G. Friedbacher, P. K. Hansma, D. Schwarzbach, M. Grasserbauer, H. Nickel, Anal. Chem. 1992, 64, 1760.
13. T. Prohaska, G. Friedbacher, M. Grasserbauer, H. Nickel, R. Lösch, W. Schlapp, Anal. Chem. 1995, 67, 1530.
14. M. Ylilammi, T. Ranta-aho, Thin Solid Films 1993, 232, 56.
15. Joint Committee on Powder Diffraction Standards, Card 21 - 1250.
16. M. S. Abrahams, C. J. Buiocchi, J. Appl. Phys. 1974, 45, 3315.
17. K. A. Pischow, M. Adamik, P. B. Barna, A. S. Korhonen, J. Vac. Sci. Technol. B 1994, 12, 1716.
18. K. A. Pischow, A. S. Korhonen, M. Adamik, P. B. Barna, Surf. Coatings Technol. 1994, 67, 95.
19. A. Barna, P. B. Barna, A. Zalar, Vacuum 1990, 40, 115.
20. A. Barna, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1991, 254, 3.