Sharp edged silicon structures generated using atom lithography with metastable helium atoms

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 16, Issue 6, 1998, Pages 3846-3849

  Lu, Weijian ^a   Baldwin, Kenneth G H ^a   Hoogerland, Maarten D ^a   Buckman, Stephen J ^a   Senden, T J ^a   Sheridan, T E ^a   Boswell, R W ^a  

^a AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000205068     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.590421     Document Type: Article

References (23)

1. H. J. Levinson and W. H. Arnold, in Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, edited by P. Rai-Choudhury, Vol. 1, pp. 11-138.
2. M. A. McCord and M. J. Rooks, in Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, edited by P. Rai-Choudhury (SPIE, Bellingham, WA, 1997), Vol. 1, pp. 139-250.
3. G. Timp, R. E. Behringer, D. H. Tennant, J. E. Cunningham, M. Prentiss, and K. K. Berggren, Phys. Rev. Lett. 69, 1636 (1992).
4. J. J. McClelland, R. E. Scholten, E. C. Palm, and R. J. Celotta, Science 262, 877 (1993).
5. K. K. Berggren, A. Bard, J. L. Wilbur, J. D. Gillaspy, A. G. Helg, J. J. McClelland, S. L. Rolston, W. D. Phillips, M. Prentiss, and G. M. Whitesides, Science 269, 1255 (1995).
6. M. Kreis, F. Lison, D. Haubrich, D. Meschede, S. Nowak, T. Pfau, and J. Mlynek, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 63, 649 (1996).
7. K. S. Johnson, K. K. Berggren, A. Black, C. T. Black, A. P. Chu, N. H. Dekker, D. C. Ralph, J. H. Thywissen, R. Younkin, M. Tinkham, M. Prentiss, and G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 69, 2273 (1996).
8. See, for example, S. Nowak, T. Pfau, and J. Mlynek, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 63, 203 (1996).
9. F. Lison, H.-J. Adams, D. Haubrich, M. Kreis, S. Nowak, and D. Meschede, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 65, 419 (1997).
10. S. J. Rehse, A. D. Glueck, S. A. Lee, A. B. Goulakov, C. S. Menoni, D. C. Ralph, K. S. Johnson, and M. Prentiss, Appl. Phys. Lett. 71, 1427 (1997).
11. R. Younkin, K. K. Berggren, K. S. Johnson, M. Prentiss, D. C. Ralph, and G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 71, 1261 (1997).
12. A. Ulman, Langmuir-Blodgett to Self-Assembly (Academic, New York, 1991).
13. C. E. D. Chidsey, G.-Y. Liu, P. Rowntree, and G. J. Scoles, J. Chem. Phys. 91, 4421 (1989).
14. N. Camillone III, P. Eisenberger, T. Y. B. Leung, P. Swartz, G. Scoles, G. E. Poirier, and M. J. Tarlov, J. Chem. Phys. 101, 11031 (1994).
15. G. E. Poirier, M. J. Tarlov, and H. E. Rushmeier, Langmuir 10, 3383 (1994).
16. M. J. Lercel, R. C. Tiberio, P. F. Chapman, H. G. Craighead, C. W. Sheen, A. N. Parikh, and D. L. Allara, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 2823 (1993).
17. R. C. Tiberio, H. G. Craighead, M. Lercel, T. Lau, C. W. Sheen, and D. L. Allara, Appl. Phys. Lett. 62, 476 (1993).
18. M. J. Lercel, H. G. Craighead, A. N. Parikh, K. Seshadri, and D. L. Allara, Appl. Phys. Lett. 68, 1504 (1996).
19. K. G. H. Baldwin, W. Lu, D. Milic, R. M. S. Knops, M. D. Hoogerland, and S. J. Buckman, Proc. SPIE 2995, 11 (1997).
20. F. B. Dunning, R. D. Rundel, and R. F. Stebbings, Rev. Sci. Instrum. 46, 697 (1975).
21. A. J. Perry and R. W. Boswell, Appl. Phys. Lett. 55, 148 (1989).
22. A. J. Perry, D. Vender, and R. W. Boswell, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 310 (1991).
23. M. D. Hoogerland, D. Milic, W. Lu, H.-A. Bachor, K. G. H. Baldwin, and S. J. Buckman, Aust. J. Phys. 49, 567 (1996).