A New Method to Fabricate Metal Tips for Scanning Probe Microscopy

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

Volumn 117, Issue 8, 1997, Pages 407-412

  Yagi, Takayuki ^a   Shimada, Yasuhiro ^a   Ikeda, Tsutomu ^a   Takamatsu, Osamu ^a   Takimoto, Kiyoshi ^a   Hirai, Yutaka ^b  

^a CANON INC   (Japan)

^b Canon Research Center America Inc   (Japan)

Author keywords

cantilever; mold; peeling; SPM; tip

Indexed keywords

EID: 85010165905     PISSN: 13418939     EISSN: 13475525     Source Type: Journal    
DOI: 10.1541/ieejsmas.117.407     Document Type: Article

References (23)

1. Y. Sugawara, T. Ishizaka, S. Morita, S. Imai, and Nobuo Mikoshiba, J. J. Appl. Phys. 29, L157 (1990)
2. T. R. Albrecht, S. Akamine, T. E. Carver, and C. F. Quate, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 3386 (1990)
3. S. Akamine, and C. F. Quate, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2307 (1992)
4. S. Akamine, R. C. Barrett, and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett. 57, 316 (1990)
5. O. Wolter, T. H. Bayer, and J. Greschner, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1353 (1991)
6. R. A. Buser, J. Brugger, C. Linder, and N. F. de Rooij, Transducers '91, pp. 249-252
7. Y. Xu, S. A. Miller, and N. C. MacDonald, Transducers '95-Eurosensors IX, pp. 640-643
8. A. Boisen, O. Hansen, and S. Bouwstra, J. Micromech. Microeng. 6, 58 (1996)
9. L. C. Kong, B. G. Orr, and K. D. WISE, J. Vac. Sci. Technol. B 11,634 (1993)
10. K. L. Lee, and M. Hatzakis, J. Vac. Sci. Technol. B7, 1941(1989)
11. K. L. Lee, D. W. Abraham, F. Secord, and L. Landstein, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3562 (1991)
12. C. A. Spindt, I. Brodie, L. Humphrey and E. R. Westerberg, J. Appl. Phys. 47, 5248 (1976)
13. T. Yagi, Y. Shimada, T. Ikeda, O. Takamatsu, H. Matsuda, K. Takimoto, and Y. Hirai, Proc. of MEMS'97, 129 (1997)
14. M. Tortonese, H. Yamada, R. C. Barrett, and C. F. Quate, Transducers '91, pp. 448-451
15. M. Tortonese, R. C. Barrett, and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett. 62, pp 834-836 (1993)
16. B. W. Chui, T. D. Stowe, and T. W. Kenny, Appl. Phys. Lett. 69, 2767 (1996)
17. T. Yonehara, K. Sakaguchi, and N. Sato, Appl. Phys. Lett. 64, 2108 (1994)
18. R. C. Barrett, and C. F. Quate, J. Appl. Phys. 70, 2725 (1991)
19. H. Kado, and T. Tohda, Appl. Phys. Lett. 66, 2961 (1995)
20. S. C. Minne, H. T. Soh, P. H. Flueckiger, and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett. 66, 703 (1995)
21. S. C. Minne, S. R. Manalis, A. Atalar, and C. F. Quate, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2456 (1996)
22. K. Yano, R. Kuroda, Y. Shimada, S. Shido, M. Kyogaku, H. Matsuda, K. Takimoto, K. Eguchi, and T. Nakagiri, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 1353 (1996)
23. K. Yano, M. Kyogaku, Y. Shimada, S. Shido, H. Matsuda, K. Takimoto, O. Albrecht, K. Eguchi, and T. Nakagiri, Appl. Phys. Lett. 68, 188 (1996)