MoS2-Based Tactile Sensor for Electronic Skin Applications

Advanced Materials

Volumn 28, Issue 13, 2016, Pages 2556-2562

  Park, Minhoon ^a,b   Park, Yong Ju ^a   Chen, Xiang ^a   Park, Yon Kyu ^b   Kim, Min Seok ^b   Ahn, Jong Hyun ^a  

^a Yonsei University   (South Korea)

^b Korea Research Institute of Standards and Science   (South Korea)

Author keywords

conformal devices; MoS2; piezoresistive effect; tactile sensors; wearable electronics

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; ELECTROCHEMICAL ELECTRODES; GRAPHENE; GRAPHITE ELECTRODES; LAYERED SEMICONDUCTORS; SILICA; SILICON; STRAIN GAGES; SUBSTRATES; WEARABLE SENSORS; WEARABLE TECHNOLOGY;

ACTIVE MATRIX CIRCUITRY; CONFORMAL DEVICES; HIGH INTEGRATION DENSITY; MECHANICAL FLEXIBILITY; MOS2; PIEZORESISTIVE EFFECTS; TACTILE SENSING ARRAYS; TACTILE SENSORS;

MOLYBDENUM COMPOUNDS;

DISULFIDE; GRAPHITE; MOLYBDENUM; MOLYBDENUM DISULFIDE;

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CHEMISTRY; ELECTRODE; FUNCTIONS OF THE SKIN AND ITS APPENDAGES; HUMAN; RAMAN SPECTROMETRY; SEMICONDUCTOR; TOUCH; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

DISULFIDES; ELECTRODES; GRAPHITE; HUMANS; MICROSCOPY, ATOMIC FORCE; MOLYBDENUM; PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY; SEMICONDUCTORS; SKIN PHYSIOLOGICAL PHENOMENA; SPECTRUM ANALYSIS, RAMAN; TOUCH PERCEPTION;

EID: 84957573726     PISSN: 09359648     EISSN: 15214095     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.201505124     Document Type: Article

References (46)

1. X. Li, R. Zhang, W. Yu, K. Wang, J. Wei, D. Wu, A. Cao, Z. Li, Y. Cheng, Q. Zheng, R. S. Ruoff, H. Zhu, Sci. Rep. 2012, 2, 870.
2. S.-H. Bae, Y. Lee, B. K. Sharma, H.-J. Lee, J.-H. Kim, J.-H. Ahn, Carbon 2013, 51, 236.
3. T. Yamada, Y. Hayamizu, Y. Yamamoto, Y. Yomogida, A. Izadi-Najafabadi, D. N. Futaba, K. Hata, Nat. Nanotechnol. 2011, 6, 296.
4. S. Kim, J. Byun, S. Choi, D. Kim, T. Kim, S. Chung, Y. Hong, Adv. Mater. 2014, 26, 3094.
5. S. Jung, J. H. Kim, J. Kim, S. Choi, J. Lee, I. Park, T. Hyeon, D.-H. Kim, Adv. Mater. 2014, 26, 4825.
6. B. C. Tee, C. Wang, R. Allen, Z. Bao, Nat. Nanotechnol. 2012, 7, 825.
7. Y. Joo, J. Byun, N. Seong, J. Ha, H. Kim, S. Kim, T. Kim, H. Im, D. Kim, Y. Hong, Nanoscale 2015, 7, 6208.
8. K. Takei, Z. Yu, M. Zheng, H. Ota, T. Takahashi, A. Javey, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2014, 111, 1703.
9. M. Park, J. Im, M. Shin, Y. Min, J. Park, H. Cho, S. Park, M.-B. Shim, S. Jeon, D.-Y. Chung, J. Bae, J. Park, U. Jeong, K. Kim, Nat. Nanotechnol. 2012, 7, 803.
10. M. Park, J. Im, J. Park, U. Jeong, ACS Appl. Mater. Interfaces 2013, 5, 8766.
11. C. Pang, G.-Y. Lee, T.-i. Kim, S. M. Kim, H. N. Kim, S.-H. Ahn, K.-Y. Suh, Nat. Mater. 2012, 11, 795.
12. M. L. Hammock, A. Chortos, B. C. K. Tee, J. B. H. Tok, Z. Bao, Adv. Mater. 2013, 25, 5997.
13. V. Maheshwari, R. Saraf, Angew. Chem. Int. Ed. 2008, 47, 7808.
14. M. Park, M.-S. Kim, Y.-K. Park, J.-H. Ahn, Appl. Phys. Lett. 2015, 106, 043502.
15. S. M. Won, H.-S. Kim, N. Lu, D.-G. Kim, C. D. Solar, T. Duenas, A. Ameen, J. Rogers, IEEE Trans. Electron Devices 2011, 58, 4074.
16. M. Ying, A. P. Bonifas, N. Lu, Y. Su, R. Li, H. Cheng, A. Ameen, Y. Huang, J. A. Rogers, Nanotechnology 2012, 23, 344004.
17. S. Bertolazzi, J. Brivio, A. Kis, ACS Nano 2011, 5, 9703.
18. A. Castellanos-Gomez, M. Poot, G. A. Steele, H. S. van der Zant, N. Agraït, G. Rubio-Bollinger, Adv. Mater. 2012, 24, 772.
19. J.-W. Jiang, H. S. Park, Appl. Phys. Lett. 2014, 105, 033108.
20. G.-H. Lee, Y.-J. Yu, X. Cui, N. Petrone, C.-H. Lee, M. S. Choi, D.-Y. Lee, C. Lee, W. J. Yoo, K. Watanabe, T. Taniguchi, C. Nuckolls, P. Kim, J. Hone, ACS Nano 2013, 7, 7931.
21. J. Yoon, W. Park, G. Y. Bae, Y. Kim, H. S. Jang, Y. Hyun, S. K. Lim, Y. H. Kahng, W. K. Hong, B. H. Lee, H. C. Ko, Small 2013, 9, 3295.
22. L. Yu, Y.-H. Lee, X. Ling, E. J. Santos, Y. C. Shin, Y. Lin, M. Dubey, E. Kaxiras, J. Kong, H. Wang, T. Palacios, Nano Lett. 2014, 14, 3055.
23. W. Wu, L. Wang, Y. Li, F. Zhang, L. Lin, S. Niu, D. Chenet, X. Zhang, Y. Hao, T. F. Heinz, J. Hone, Z. L. Wang, Nature 2014, 514, 470.
24. Y. Yu, C. Li, Y. Liu, L. Su, Y. Zhang, L. Cao, Sci. Rep. 2013, 3, 1866.
25. K.-K. Liu, W. Zhang, Y.-H. Lee, Y.-C. Lin, M.-T. Chang, C.-Y. Su, C.-S. Chang, H. Li, Y. Shi, H. Zhang, C.-S. Lai, L.-J. Li, Nano Lett. 2012, 12, 1538.
26. Y. Lee, J. Lee, H. Bark, I.-K. Oh, G. H. Ryu, Z. Lee, H. Kim, J. H. Cho, J.-H. Ahn, C. Lee, Nanoscale 2014, 6, 2821.
27. R. Ganatra, Q. Zhang, ACS Nano 2014, 8, 4074.
28. Y. Liu, H. Nan, X. Wu, W. Pan, W. Wang, J. Bai, W. Zhao, L. Sun, X. Wang, Z. Ni, ACS Nano 2013, 7, 4202.
29. J. Zhang, H. Yu, W. Chen, X. Tian, D. Liu, M. Cheong, G. Xie, W. Yang, R. Yang, X. Bai, D. Shi, G. Zhang, ACS Nano 2014, 8, 6024.
30. J.-H. Ahn, B. H. Hong, Nat. Nanotechnol. 2014, 9, 737.
31. S. Bae, H. Kim, Y. Lee, X. Xu, J.-S. Park, Y. Zheng, J. Balakrishnan, T. Lei, H. R. Kim, Y. I. Song, Y.-J. Kim, K. S. Kim, B. Özyilmaz, J.-H. Ahn, B. H. Hong, S. Iijima, Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 574.
32. A. C. Ferrari, F. Bonaccorso, V. Fal'Ko, K. S. Novoselov, S. Roche, P. Bøggild, S. Borini, F. H. Koppens, V. Palermo, N. Pugno, J. A. Garrido, R. Sordan, A. Bianco, L. Ballerini, M. Prato, E. Lidorikis, J. Kivioja, C. Marinelli, T. Ryhänen, A. Morpurgo, J. N. Coleman, V. Nicolosi, L. Colombo, A. Fert, M. Garcia-Hernandez, A. Bachtold, G. F. Schneider, F. Guinea, C. Dekker, M. Barbone, Z. Sun, C. Galiotis, A. N. Grigorenko, G. Konstantatos, A. Kis, M. Katsnelson, L. Vandersypen, A. Loiseau, V. Morandi, D. Neumaier, E. Treossi, V. Pellegrini, M. Polini, A. Tredicucci, G. M. Williams, B. H. Hong, J.-H. Ahn, J. M. Kim, H. Zirath, B. J. van Wees, H. van der Zant, L. Occhipinti, A. Di Matteo, I. A. Kinloch, T. Seyller, E. Quesnel, X. Feng, K. Teo, N. Rupesinghe, P. Hakonen, S. R. Neil, Q. Tannock, T. Löfwander, J. Kinaret, Nanoscale 2015, 7, 4598.
33. S.-K. Lee, J.-B. Lee, J. Singh, K. Rana, J.-H. Ahn, Adv. Mater. 2015, 27, 4142.
34. K. Park, D.-K. Lee, B.-S. Kim, H. Jeon, N.-E. Lee, D. Whang, H.-J. Lee, Y. J. Kim, J.-H. Ahn, Adv. Funct. Mater. 2010, 20, 3577.
35. J. A. Fan, W.-H. Yeo, Y. Su, Y. Hattori, W. Lee, S.-Y. Jung, Y. Zhang, Z. Liu, H. Cheng, L. Falgout, M. Bajema, T. Coleman, D. Gregoire, R. J. Larsen, Y. Huang, J. A. Rogers, Nat. Commun. 2014, 5, 3266.
36. K. Rajanna, S. Mohan, M. Nayak, N. Gunasekaran, A. Muthunayagam, IEEE Trans. Electron Devices 1993, 40, 521.
37. P. French, A. Evans, Solid-State Electron. 1989, 32, 1.
38. S. A. Mascaro, H. H. Asada, IEEE Trans. Rob. Autom. 2001, 17, 5.
39. V. Maheshwari, R. F. Saraf, Science 2006, 312, 1501.
40. J. A. Dobrzynska, M. A. M. Gijs, J. Micromech. Microeng. 2013, 23, 015009.
41. D.-H. Kim, N. Lu, R. Ma, Y.-S. Kim, R.-H. Kim, S. Wang, J. Wu, S. M. Won, H. Tao, A. Islam, K. J. Yu, T.-I. Kim, R. Chowdhury, M. Ying, L. Xu, M. Li, H.-J. Chung, H. Keum, M. McCormick, P. Liu, Y.-W. Zhang, F. G. Omenetto, Y. Huang, T. Coleman, J. A. Rogers, Science 2011, 333, 838.
42. Y. J. Park, S.-K. Lee, M.-S. Kim, H. Kim, J.-H. Ahn, ACS Nano 2014, 8, 7655.
43. R. C. Webb, A. P. Bonifas, A. Behnaz, Y. Zhang, K. J. Yu, H. Cheng, M. Shi, Z. Bian, Z. Liu, Y.-S. Kim, W.-H Yeo, J. S. Park, J. Song, Y. Li, A. M. Gorbach, J. A. Rogers, Nat. Mater. 2013, 12, 938.
44. W. H. Yeo, Y. S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, J. A. Rogers, Adv. Mater. 2013, 25, 2773.
45. L. Viry, A. Levi, M. Totaro, A. Mondini, V. Mattoli, B. Mazzolai, L. Beccai, Adv. Mater. 2014, 26, 2659.
46. J. Park, Y. Lee, J. H, Y. Lee, M. Ha, Y. Jung, H. Lim, S. Y. Kim, H. Ko, ACS Nano 2014, 8, 12020.