Directed assembly of lamellae forming block copolymer thin films near the order-disorder transition

Nano Letters

Volumn 14, Issue 1, 2014, Pages 148-152

  Kim, Sangwon ^a   Nealey, Paul F ^b   Bates, Frank S ^a  

^a University of Minnesota   (United States)

^b UNIVERSITY OF CHICAGO   (United States)

Author keywords

Block copolymer; directed self assembly; fluctuation; lithography; thin film

Indexed keywords

BLOCK COPOLYMER THIN FILMS; COMPOSITION FLUCTUATIONS; DIBLOCK COPOLYMER SYSTEMS; DIRECTED SELF-ASSEMBLY; FLUCTUATION; MINIMUM FEATURE SIZES; ORDER-DISORDER TRANSITION TEMPERATURE; TWO-DIMENSIONAL CONFINEMENT;

LITHOGRAPHY; SELF ASSEMBLY; STYRENE; THIN FILMS;

BLOCK COPOLYMERS;

EID: 84892143414     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl403628d     Document Type: Article

References (48)

1. Rockford, L.; Liu, Y.; Mansky, P.; Russell, T. P.; Yoon, M.; Mochrie, S. G. J. Phys. Rev. Lett. 1999, 82 (12) 2602-2605
2. Kim, S. O.; Solak, H. H.; Stoykovich, M. P.; Ferrier, N. J.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Nature 2003, 424 (6947) 411-414
3. Segalman, R. A.; Yokoyama, H.; Kramer, E. J. Adv. Mater. 2001, 13 (15) 1152-1155
4. Sundrani, D.; Darling, S. B.; Sibener, S. J. Nano Lett. 2004, 4 (2) 273-276
5. Matsen, M. W.; Bates, F. S. Macromolecules 1996, 29 (4) 1091-1098
6. Kim, S.; Nealey, P. F.; Bates, F. S. ACS Macro Lett. 2012, 1 (1) 11-14
7. Lin, Z. Q.; Kim, D. H.; Wu, X. D.; Boosahda, L.; Stone, D.; LaRose, L.; Russell, T. P. Adv. Mater. 2002, 14 (19) 1373-1376
8. Huang, E.; Rockford, L.; Russell, T. P.; Hawker, C. J. Nature 1998, 395 (6704) 757-758
9. Huang, E.; Russell, T. P.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Hawker, C. J.; Mays, J. Macromolecules 1998, 31 (22) 7641-7650
10. Bates, C. M.; Seshimo, T.; Maher, M. J.; Durand, W. J.; Cushen, J. D.; Dean, L. M.; Blachut, G.; Ellison, C. J.; Willson, C. G. Science 2012, 338 (6108) 775-779
11. Lee, S.; Gillard, T. M.; Bates, F. S. AIChE J. 2013, 59 (9) 3502-3513
12. Kennemur, J. G.; Hillmyer, M. A.; Bates, F. S. ACS Macro Lett. 2013, 2 (6) 496-500
13. Fredrickson, G. H.; Helfand, E. J. Chem. Phys. 1987, 87 (1) 697-705
14. Rosedale, J. H.; Bates, F. S. Macromolecules 1990, 23 (8) 2329-2338
15. Kennemur, J. G.; Hillmyer, M. A.; Bates, F. S. Macromolecules 2012, 45 (17) 7228-7236
16. Maurer, W. W.; Bates, F. S.; Lodge, T. P.; Almdal, K.; Mortensen, K.; Fredrickson, G. H. J. Chem. Phys. 1998, 108 (7) 2989-3000
17. Bates, F. S.; Rosedale, J. H.; Fredrickson, G. H. J. Chem. Phys. 1990, 92 (10) 6255-6270
18. Almdal, K.; Rosedale, J. H.; Bates, F. S.; Wignall, G. D.; Fredrickson, G. H. Phys. Rev. Lett. 1990, 65 (9) 1112-1115
19. Matsen, M. W.; Bates, F. S. J. Chem. Phys. 1997, 106, 2436-2448
20. Bates, F. S.; Fredrickson, G. H. Annu. Rev. Phys. Chem. 1990, 41, 525-557
21. Mader, S. Thin Solid Films 1976, 35 (2) 195-200
22. Sirota, E. B.; Pershan, P. S.; Sorensen, L. B.; Collett, J. Phys. Rev. A 1987, 36 (6) 2890-2901
23. Stein, G. E.; Kramer, E. J.; Li, X. F.; Wang, J. Macromolecules 2007, 40 (7) 2453-2460
24. Ji, S. X.; Nagpal, U.; Liao, W.; Liu, C. C.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Adv. Mater. 2011, 23 (32) 3692-3697
25. Rouault, Y.; Baschnagel, J.; Binder, K. J. Stat. Phys. 1995, 80 (5-6) 1009-1031
26. Li, H.; Paczuski, M.; Kardar, M.; Huang, K. Phys. Rev. B 1991, 44 (15) 8274-8283
27. Nakanishi, H.; Fisher, M. E. J. Chem. Phys. 1983, 78 (6) 3279-3293
28. Ellison, C. J.; Torkelson, J. M. Nat. Mater. 2003, 2 (10) 695-700
29. Jones, R. L.; Kumar, S. K.; Ho, D. L.; Briber, R. M.; Russell, T. P. Nature 1999, 400 (6740) 146-149
30. Hu, H. W.; Granick, S. Science 1992, 258 (5086) 1339-1342
31. Ma, S.-k. Modern Theory of Critical Phenomena; Benjamin Inc.: Reading, MA, 1976.
32. Angelescu, D. E.; Harrison, C. K.; Trawick, M. L.; Register, R. A.; Chaikin, P. M. Phys. Rev. Lett. 2005, 95 (2) 025702
33. Hammond, M. R.; Cochran, E.; Fredrickson, G. H.; Kramer, E. J. Macromolecules 2005, 38 (15) 6575-6585
34. Segalman, R. A.; Hexemer, A.; Hayward, R. C.; Kramer, E. J. Macromolecules 2003, 36 (9) 3272-3288
35. Alexander-Katz, A.; Fredrickson, G. H. Macromolecules 2007, 40 (11) 4075-4087
36. Miao, B.; Yan, D. D.; Han, C. C.; Shi, A. C. J. Chem. Phys. 2006, 124 (14) 144902
37. Kim, E.; Choi, S.; Guo, R.; Ryu, D. Y.; Hawker, C. J.; Russell, T. R. Polymer 2010, 51 (26) 6313-6318
38. Peierls, R. E. Quantum Theory of Solids. Oxford University Press: New York, 1955; p 108.
39. Liu, C. C.; Han, E.; Onses, M. S.; Thode, C. J.; Ji, S. X.; Gopalan, P.; Nealey, P. F. Macromolecules 2011, 44 (7) 1876-1885
40. Ruiz, R.; Kang, H. M.; Detcheverry, F. A.; Dobisz, E.; Kercher, D. S.; Albrecht, T. R.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Science 2008, 321 (5891) 936-939
41. Edwards, E. W.; Montague, M. F.; Solak, H. H.; Hawker, C. J.; Nealey, P. F. Adv. Mater. 2004, 16 (15) 1315-1319
42. Liu, C. C.; Ramirez-Hernandez, A.; Han, E.; Craig, G. S. W.; Tada, Y.; Yoshida, H.; Kang, H. M.; Ji, S. X.; Gopalan, P.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Macromolecules 2013, 46 (4) 1415-1424
43. Edwards, E. W.; Muller, M.; Stoykovich, M. P.; Solak, H. H.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Macromolecules 2007, 40 (1) 90-96
44. Mishra, V.; Fredrickson, G. H.; Kramer, E. J. ACS Nano 2012, 6 (3) 2629-2641
45. Foster, M. D.; Sikka, M.; Singh, N.; Bates, F. S.; Satija, S. K.; Majkrzak, C. F. J. Chem. Phys. 1992, 96 (11) 8605-8615
46. Anastasiadis, S. H.; Russell, T. P.; Satija, S. K.; Majkrzak, C. F. Phys. Rev. Lett. 1989, 62 (16) 1852-1855
47. Koppi, K. A.; Tirrell, M.; Bates, F. S. Phys. Rev. Lett. 1993, 70 (10) 1449-1452
48. Segalman, R. A.; Hexemer, A.; Kramer, E. J. Phys. Rev. Lett. 2003, 91 (19) 196101