High-damping carbon nanotube hinged micromirrors

Small

Volumn 8, Issue 13, 2012, Pages 2006-2010

  De Volder, Michaël F L ^a   De Coster, Jeroen ^a   Reynaerts, Dominiek ^b   Van Hoof, Chris ^a   Kim, Sang Gook ^c  

^a IMEC   (Belgium)

^b UNIVERSITY OF LEUVEN   (Belgium)

^c Massachusetts Institute of Technology Cambridge   (United States)

Author keywords

carbon nanotubes; digital micromirror devices; micro electromechanical systems; micromirrors; nanotechnology

Indexed keywords

DIGITAL MICRO-MIRROR DEVICE; DIGITAL MIRROR DEVICES; HIGH TEMPERATURE STABILITY; MICRO MIRROR; Q-FACTORS;

DAMPING; DIGITAL DEVICES; HINGES; MEMS; NANOTECHNOLOGY;

CARBON NANOTUBES;

CARBON NANOTUBE;

ARTICLE; CHEMISTRY; METHODOLOGY; NANOTECHNOLOGY;

NANOTECHNOLOGY; NANOTUBES, CARBON;

EID: 84863640812     PISSN: 16136810     EISSN: 16136829     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/smll.201102683     Document Type: Article

References (30)

1. P. F. Van Kessel, L. J. Hornbeck, R. E. Meier, M. R. Douglass, P. IEEE 1998, 86, 1687.
2. A. B. Sontheimer, P. IEEE Int. Rel. Phys. Symp. 2002.
3. M. R. Douglass, P. IEEE Int. Rel. Phys. Symp. 1998, 9.
4. M. H. Kiang, O. Solgaard, K. Y. Lau, R. S. Muller, J. Microelectromech. S. 1998, 7, 27.
5. H. K. Xie, Y. T. Pan, G. K. Fedder, J. Microelectromech. S. 2003, 12, 450.
6. B. Bhushan, H. W. Liu, Nanotechnology 2004, 15, 1785.
7. A. Witvrouw, L. Haspeslagh, O. V. Pedreira, J. De Coster, I. De Wolf, H. A. C. Tilmans, T. Bearda, B. Schlatmann, M. van Bommel, M. C. de Nooijer, P. H. C. Magnee, E. J. Lous, M. Hagting, J. Lauria, R. Vanneer, B. van Drieenhuizen, J. Microelectromech. S. 2010, 19.
8. M. Xu, D. N. Futaba, T. Yamada, M. Yumura, K. Hata, Science 2010, 330, 1364.
9. M. Kireitseu, D. Hui, G. Tomlinson, Compos. Part B-Eng. 2008, 39, 128.
10. M. Xu, D. N. Futaba, M. Yumura, K. Hata, Adv. Mater. 2011, 23, 3686.
11. Y. Hayamizu, R. C. Davis, T. Yamada, D. N. Futaba, S. Yasuda, M. Yumura, K. Hata, Phys. Rev. Lett. 2009, 102.
12. B. Witkamp, M. Poot, H. Pathangi, A. K. Huttel, H. S. J. van der Zant, Appl. Phys. Lett. 2008, 93.
13. a) A. Y. Cao, P. L. Dickrell, W. G. Sawyer, M. N. Ghasemi-Nejhad, P. M. Ajayan, Science 2005, 310, 1307
14. b) M. F. L. De Volder, S. Tawfick, S. J. Park, A. J. Hart, ACS Nano 2011, 5, 7310.
15. M. Xu, D. N. Futaba, M. Yumura, K. Hata, Nano Lett. 2011, 11, 3279.
16. B. Tung, V. Dau, D. Dao, T. Yamada, K. Hata, S. Sugiyama, in IEEE-MEMS Int. Conf., IEEE, Mexico 2011, 688.
17. H. Takeuchi, A. Wung, X. Sun, R. T. Howe, T. J. King, IEEE T. Electron Dev. 2005, 52, 2081.
18. N. Chiodarelli, S. Masahito, Y. Kashiwagi, Y. Li, K. Arstila, O. Richard, D. J. Cott, M. Heyns, S. De Gendt, G. Groeseneken, P. M. Vereecken, Nanotechnology 2011, 22.
19. K. Hata, D. N. Futaba, K. Mizuno, T. Namai, M. Yumura, S. Iijima, Science 2004, 306, 1362.
20. M. F. L. De Volder, D. O. Vidaud, E. R. Meshot, S. Tawfick, A. J. Hart, Microelectron. Eng. 2010, 87, 1233.
21. M. De Volder, S. H. Tawfick, S. J. Park, D. Copic, Z. Z. Zhao, W. Lu, A. J. Hart, Adv. Mater. 2010, 22, 4384.
22. a) M. F. L. De Volder, S. J. Park, S. H. Tawfick, D. O. Vidaud, A. J. Hart, J. Micromech. Microeng. 2011, 21
23. b) D. N. Futaba, K. Hata, T. Yamada, T. Hiraoka, Y. Hayamizu, Y. Kakudate, O. Tanaike, H. Hatori, M. Yumura, S. Iijima, Nat. Mater. 2006, 5, 987.
24. a) H. Camon, F. Larnaudie, in IEEE-MEMS Int. Conf., IEEE, Japan 2000, 645
25. b) R. Conant, J. Nee, K. Lau, R. Muller, in Hilton Head Solid-State Sensor and Actuator Workshop, USA 2000, 6.
26. T. W. Tombler, C. W. Zhou, L. Alexseyev, J. Kong, H. J. Dai, L. Lei, C. S. Jayanthi, M. J. Tang, S. Y. Wu, Nature 2000, 405, 769.
27. M. De Volder, D. Reynaerts, C. Van Hoof, S. Tawfick, A. J. Hart, 2010 IEEE Sensors Conf. 2010, 2369.
28. a) D. R. Kauffman, A. Star, Angew. Chem. Int. Edt. 2008, 47, 6550
29. b) P. Offermans, M. Crego-Calama, S. H. Brongersma, Nano Lett. 2010, 10, 2412.
30. D. H. B. Wicaksono, J. F. V. Vincent, G. Pandraud, G. Craciun, P. J. French, J. Micromech. Microeng. 2005, 15, S72.