Light sources for EUV lithography at the 22-nm node and beyond

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

Volumn 8322, Issue , 2012, Pages

  Fomenkov, Igor V ^a   Böwering, Norbert R ^a   Brandt, David C ^a   Brown, Daniel J ^a   Bykanov, Alexander N ^a   Ershov, Alex I ^a   La Fontaine, Bruno ^a   Lercel, Michael J ^a   Myers, David W ^a  

^a CYMER INC   (United States)

Author keywords

Collector; Droplet generator; EUV lithography; EUV source; Laser produced plasma

Indexed keywords

AUTOMATED CONTROL; COLLECTOR; COLLECTOR LIFETIME; CURRENT PERFORMANCE; DROPLET GENERATORS; DUTY CYCLES; EUV SOURCE; EXPERIMENTAL STUDIES; EXPERIMENTAL TEST; GAS MANAGEMENT; LASER POWER; PARALLEL TESTING; POWER LEVELS; PREPULSES; REPETITION RATE; USEFUL LIFE;

CARBON DIOXIDE; LASER PRODUCED PLASMAS; LIGHT SOURCES; PULSE REPETITION RATE;

EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY;

EID: 84861494742     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.916531     Document Type: Conference Paper

References (8)

1. D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, N. R. Farrar, G. O. Vaschenko,O. V. Khodykin, A. N. Bykanov, J. R. Hoffman, C. P. Chrobak, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, D.J. Golich, D. A. Vidusek, S. De Dea, R. R. Hou, Proc. SPIE 7271, 727103 (2009).
2. N. R. Böwering, I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Farrar, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, C. P. Chrobak, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, D.J. Golich, D. A. Vidusek, S. De Dea, R. R. Hou, Journal of Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 8(4), 041504 (2009).
3. D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, R. L. Sandstrom, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, A. N. Bykanov, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, D. J. Golich, S. De Dea, R. R. Hou, K. M. O'Brien, W. J. Dunstan, Proc. SPIE 7636, 76361I (2010).
4. I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, R. L. Sandstrom, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, A. N. Bykanov, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, D. J. Golich, S. De Dea, R. R. Hou, K. M. O'Brien, W. J. Dunstan, D. C. Brandt, Proc. SPIE 7636, 763639 (2010).
5. I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, D. Brown, R. L. Sandstrom, B. La Fontaine, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, N. R. Böwering, P. Das, V. B. Fleurov, K. Zhang, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, S. De Dea, R. R. Hou, W. J. Dunstan, P. Baumgart, T. Ishihara, R. D. Simmons, R. N. Jacques, R. A. Bergstedt, D. C. Brandt, Proc. SPIE 7969, 796933 (2011).
6. D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, M. J. Lercel, B. La Fontaine, D. W. Myers, D. J. Brown, A. I. Ershov, R. L. Sandstrom, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, N. R. Böwering, P. Das, V. B. Fleurov, K. Zhang, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, S. De Dea, W. J. Dunstan, P. Baumgart, T. Ishihara, R. D. Simmons, R. N. Jacques, R. A. Bergstedt, P. I. Porshnev, C. J. Wittak, M. R. Woolston, R. J. Rafac, J. Grava, A. A. Schafgans, Y. Tao, Proc. SPIE 8322-53 (2012).
7. T. Feigl, M. Perske, H. Pauer, S. Yulin, M. Trost, S. Schroeder, A. Duparré, N. Kaiser, A. Tünnermann, N. R. Böwering, A. I. Ershov, K. Hoffmann, B. M. La Fontaine, K. D. Cummings, Proc. SPIE 8322-42 (2012).
8. D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, R. L. Sandstrom, B. La Fontaine, M. J. Lercel, A. N. Bykanov, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, P. Das, V. B. Fleurov, K. Zhang, D. J. Golich, S. De Dea, R. R. Hou, W. J. Dunstan, C. J. Wittak, P. Baumgart, T. Ishihara, R. D. Simmons, R. N. Jacques, and R. A. Bergstedt, Proc. SPIE 7969, 79691H (2011).