Patterning graphene with zigzag edges by self-aligned anisotropic etching

Advanced Materials

Volumn 23, Issue 27, 2011, Pages 3061-3065

  Shi, Zhiwen ^a   Yang, Rong ^a   Zhang, Lianchang ^a   Wang, Yi ^a   Liu, Donghua ^a   Shi, Dongxia ^a   Wang, Enge ^b   Zhang, Guangyu ^a  

^a INSTITUTE OF PHYSICS   (China)

^b PEKING UNIVERSITY   (China)

Author keywords

anisotropic etching; graphene nanostructures; zigzag edges

Indexed keywords

ARTIFICIAL DEFECTS; GRAPHENE DEVICES; HYDROGEN-PLASMA ETCHING; SELF-ALIGNED; TOP-DOWN APPROACH; ZIGZAG EDGES;

ANISOTROPY; GRAPHENE; NANOSTRUCTURES; PLASMA ETCHING;

ANISOTROPIC ETCHING;

GRAPHITE; HYDROGEN; NANOMATERIAL; POLY(METHYL METHACRYLATE);

ARTICLE; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CHEMISTRY; RAMAN SPECTROMETRY;

GRAPHITE; HYDROGEN; MICROSCOPY, ATOMIC FORCE; NANOSTRUCTURES; POLYMETHYL METHACRYLATE; SPECTRUM ANALYSIS, RAMAN;

EID: 79960459581     PISSN: 09359648     EISSN: 15214095     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.201100633     Document Type: Article

References (34)

1. Y. W. Son, M. M. Cohen, S. G. Louie, Nature 2006, 444, 347.
2. J. Fernandez-Rossier, J. J. Palacios, Phys. Rev. Lett. 2007, 99, 177204.
3. W. L. Wang, S. Meng, E. Kaxiras, Nano Lett. 2008, 8, 241.
4. Y. W. Son, M. L. Cohen, S. G. Louie, Phys. Rev. Lett. 2006, 97, 216803.
5. K. Nakada, M. Fujita, G. Dresselhaus, M. S. Dresselhaus, Phys. Rev. B 1996, 54, 17954.
6. X. L. Li, X. R. Wang, L. Zhang, S. W. Lee, H. J. Dai, Science 2008, 319, 1229.
7. L. Y. Jiao, L. Zhang, X. R. Wang, G. Diankov, H. J. Dai, Nature 2009, 458, 877.
8. D. V. Kosynkin, A. L. Higginbotham, A. Sinitskii, J. R. Lomeda, A. Dimiev, B. K. Price, J. M. Tour, Nature 2009, 458, 872.
9. M. Y. Han, B. Ozyilmaz, Y. B. Zhang, P. Kim, Phys. Rev. Lett. 2007, 98, 206805.
10. a) L. A. Ponomarenko, F. Schedin, M. I. Katsnelson, R. Yang, E. W. Hill, K. S. Novoselov, A. K. Geim, Science 2008, 320, 356
11. b) J. W. Bai, X. Zhong, S. Jiang, Y. Huang, X. F. Duan, Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 190
12. c) J. W. Bai, X. F. Duan, Y. Huang, Nano Lett. 2009, 9, 2083.
13. J. M. Cai, P. Ruffieux, R. Jaafar, M. Bieri, T. Braun, S. Blankenburg, M. Muoth, A. P. Seitsonen, M. Saleh, X. L. Feng, K. Mullen, R. Fasel, Nature 2010, 466, 470.
14. R. Yang, L. Zhang, Y. Wang, Z. Shi, D. Shi, H. Gao, E. Wang, G. Zhang, Adv. Mater. 2010, 22, 4014.
15. S. Neubeck, Y. M. You, Z. H. Ni, P. Blake, Z. X. Shen, A. K. Geim, K. S. Novoselov, Appl. Phys. Lett. 2010, 97, 053110.
16. Y. M. You, Z. H. Ni, T. Yu, Z. X. Shen, Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 163112.
17. a) F. Guinea, T. Low, Philos. Trans. R. Soc. A 2010, 368, 5391
18. b) C. H. Park, L. Yang, Y. W. Son, M. L. Cohen, S. G. Louie, Nat. Phys. 2008, 4, 213.
19. X. J. Wu, X. C. Zeng, Nano Res. 2008, 1, 40.
20. M. Fujita, K. Wakabayashi, K. Nakada, K. Kusakabe, J. Phys. Soc. Jpn 1996, 65, 1920.
21. a) M. Pumera, Chem. Soc. Rev. 2010, 39, 4146
22. b) A. Ambrosi, A. Bonanni, M. Pumera, Nanoscale 2011, 3, 2256.
23. L. Y. Jiao, X. R. Wang, G. Diankov, H. L. Wang, H. J. Dai, Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 321.
24. L. G. Cancado, M. A. Pimenta, B. R. A. Neves, M. S. S. Dantas, A. Jorio, Phys. Rev. Lett. 2004, 93, 247401.
25. a) Y. Kobayashi, K.-i. Fukui, T. Enoki, K. Kusakabe, Y. Kaburagi, Phys. Rev. B 2005, 71, 193406
26. b) Y. Niimi, T. Matsui, H. Kambara, K. Tagami, M. Tsukada, H. Fukuyama, Phys. Rev. B 2006, 73, 085421
27. c) K. A. Ritter, J. W. Lyding, Nat. Mater. 2009, 8, 235.
28. X. R. Wang, Y. J. Ouyang, X. L. Li, H. L. Wang, J. Guo, H. J. Dai, Phys. Rev. Lett. 2008, 100, 206803.
29. a) L. Yang, C.-H. Park, Y.-W. Son, M. L. Cohen, S. G. Louie, Phys. Rev. Lett. 2007, 99, 186801
30. b) S. Adam, S. Cho, M. S. Fuhrer, S. Das Sarma, Phys. Rev. Lett. 2008, 101, 046404
31. c) F. Sols, F. Guinea, A. H. C. Neto, Phys. Rev. Lett. 2007, 99, 166803
32. d) M. Evaldsson, I. V. Zozoulenko, H. Xu, T. Heinzel, Phys. Rev. B 2008, 78, 161407.
33. S. Kim, J. Nah, I. Jo, D. Shahrjerdi, L. Colombo, Z. Yao, E. Tutuc, S. K. Banerjee, Appl. Phys. Lett. 2009, 94, 062107.
34. Y. X. Yang, R. Murali, IEEE Electron. Device Lett. 2010, 31, 237.